一種聚合物納米通道的制作方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種聚合物納米通道的制作方法，包括以下步驟：（1）在清洗后的襯底上旋轉(zhuǎn)涂覆抗蝕劑，獲得抗蝕劑層；（2）烘烤除去抗蝕劑溶劑；（3）通過曝光和顯影，獲得成對(duì)的納米線條結(jié)構(gòu)；（4）用清洗液清洗納米線條結(jié)構(gòu)，待清洗液在空氣中完全揮發(fā)后，納米通道制作完成。本發(fā)明專利技術(shù)利用液體表面張力進(jìn)行通道密封，無需現(xiàn)有技術(shù)的鍵合工藝，從而不會(huì)出現(xiàn)流體在通道中的堵塞等現(xiàn)象，與電子束光刻技術(shù)相比，降低了加工成本。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種聚合物納米通道的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：（1）在清洗后的襯底上旋轉(zhuǎn)涂覆抗蝕劑，獲得抗蝕劑層；（2）烘烤除去抗蝕劑溶劑；（3）通過曝光和顯影，獲得成對(duì)的納米線條結(jié)構(gòu)；（4）用清洗液清洗納米線條結(jié)構(gòu)，待清洗液在空氣中完全揮發(fā)后，納米通道制作完成。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：周杰，郭進(jìn)，馮俊波，滕婕，王俊，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所，合肥公共安全技術(shù)研究院，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：