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    下載一種聚合物納米通道的制作方法的技術資料

    文檔序號:8296081

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    本發明公開了一種聚合物納米通道的制作方法,包括以下步驟:(1)在清洗后的襯底上旋轉涂覆抗蝕劑,獲得抗蝕劑層;(2)烘烤除去抗蝕劑溶劑;(3)通過曝光和顯影,獲得成對的納米線條結構;(4)用清洗液清洗納米線條結構,待清洗液在空氣中完全揮發后,...
    該專利屬于中國電子科技集團公司第三十八研究所;合肥公共安全技術研究院所有,僅供學習研究參考,未經過中國電子科技集團公司第三十八研究所;合肥公共安全技術研究院授權不得商用。

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