一種光刻機掩模臺橫梁制造技術

本實用新型專利技術公開了一種光刻機掩模臺橫梁，包括：水平設置的主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁，所述主梁的兩平行表面之間設有多個主梁加強肋板，所述側梁的兩平行側面之間設有多個側梁加強肋板，所述側梁的底部固接有可固定于工作臺面的底板。本實用新型專利技術的一種光刻機掩模臺橫梁采用主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁所組成的一種拓撲結構，所述主梁及側梁內部均設有多個加強肋板，具備高模態、低質量的結構特征，制造工藝和裝配較簡單、容易制造且成本較低。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及光刻
，尤其是涉及一種光刻機掩模臺橫梁。
技術介紹
掩模臺橫梁是光刻機外部世界中框架的結構件之一，起到支撐掩模臺重量的作用。掩模臺橫梁一般由不銹鋼焊接制造而成，需要滿足掩模臺支持的靜力學指標和框架整體動力學的模態需求。由于光刻機內部結構復雜，集成密度高，掩模臺橫梁需要避開較多的既有部件和分系統，在空間上有較多的約束條件，需要合理設計掩模臺橫梁并盡可能的少占用整機內部空間。此外，由于掩模臺和橫梁置于基礎框架上是外部世界和地基的有效載荷，在保證結構強度的前提下，需要將橫梁質量盡可能的控制的較小。傳統的掩模臺橫梁為兩段式分體結構，頂部為由一根垂直肋板加強的工字梁，底 部模塊為有整塊鋼料銑削成形的底座，底座帶有垂向和水平向的加強肋板。頂部橫梁和底部底座之間以螺栓緊固連接，預留兩處掩模臺接口，這樣的橫梁裝配時橫梁會穿越內部世界的測量支架，故其結構、制造工藝和裝配復雜、制造周期長、成本較高。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是掩模臺橫梁結構的制造工藝和裝配復雜、制造周期長、成本較高。為解決上述技術問題，本技術采用如下技術方案一種光刻機掩模臺橫梁，包括水平設置的主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁，所述主梁的兩平行表面之間設有多個主梁加強肋板，所述側梁的兩平行側面之間設有多個側梁加強肋板，所述側梁的底部固接有可固定于工作臺面的底板。進一步地，所述多個主梁加強肋板包括多個平行的第一方向主梁加強肋板及多個平行的第二方向主梁加強肋板，所述第一方向主梁加強肋板與第二方向主梁加強肋板相互交錯設置。進一步地，所述多個主梁加強肋板與主梁的兩平行表面的夾角范圍為30° 60。。進一步地，所述側梁為一斜梁。進一步地，所述多個側梁加強肋板包括多個平行的第一方向側梁加強肋板及多個平行的第二方向側梁加強肋板，所述第一方向側梁加強肋板與第二方向側梁加強肋板相互交錯設置。進一步地，所述斜梁的兩平行側面與主梁的兩平行表面的夾角范圍為20° 80° ;所述多個側梁加強肋板與斜梁的兩平行側面的夾角范圍為20° 80°。進一步地，所述側梁包括一斜梁部及與之相連的豎梁部，所述豎梁部固接于所述底板。進一步地，所述側梁加強肋板包括多個平行設置于斜梁部兩表面之間的斜梁加強肋板及設置于豎梁部兩表面之間的豎梁加強肋板。進一步地，所述斜梁加強肋板與斜梁部兩表面的夾角范圍為80° 100°。進一步地，所述豎梁加強肋板與豎梁部兩表面的夾角范圍為30° 60°。本技術的一種光刻機掩模臺橫梁采用主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁所組成的一種拓撲結構，所述主梁及側梁內部均設有多個加強肋板，具備高模態、低質量的結構特征，制造工藝和裝配較簡單、容易制造且成本較低。附圖說明圖I為本技術一種光刻機掩模臺橫梁一實施例的結構意圖；圖2為圖I的側視·圖3為本技術一種光刻機掩模臺橫梁另一實施例的結構意圖；圖4為圖3的側視圖；圖5為圖4的分解結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖詳細說明本技術的優選實施例。請參閱圖I及圖2，本技術一種光刻機掩模臺橫梁包括水平設置的主梁I及分別對稱固接于所述橫梁I兩端的側梁2，所述主梁I的兩平行表面11、12之間設有多個主梁加強肋板13，所述側梁2的兩平行側面21、22之間設有多個側梁加強肋板23，所述側梁2的底部固接有可固定于工作臺面的底板3。所述主梁I為工字鋼結構，其兩平行表面11、12對稱穿設有支撐柱14，所述支撐柱14的上端設有掩模臺接口 15，用于將所述光刻機掩模臺橫梁固定連接于掩模臺(圖未示)。所述多個主梁加強肋板13包括多個平行的第一方向主梁加強肋板132及多個平行的第二方向主梁加強肋板134，所述第一方向主梁加強肋板132與第二方向主梁加強肋板134相互交錯設置，即每兩個相鄰的所述第一方向主梁加強肋板132之間設置一個第二方向主梁加強肋板134，或每兩個相鄰的所述第二方向主梁加強肋板134之間設置一個第一方向主梁加強肋板132，形成V形或W形的結構。所述多個主梁加強肋板13與主梁I的兩平行表面11、12的夾角α范圍為30° 60。。本實施例中，所述側梁2為一斜梁，所述斜梁為工字鋼結構。所述多個側梁加強肋板23包括多個平行的第一方向側梁加強肋板232及多個平行的第二方向側梁加強肋板234，所述第一方向側梁加強肋板232與第二方向側梁加強肋板234相互交錯設置，即每兩個相鄰的所述第一方向側梁加強肋板232之間設置一個第二方向側梁加強肋板234，或每兩個相鄰的所述第二方向側梁加強肋板234之間設置一個第一方向側梁加強肋板232，形成V形或W形的結構。所述斜梁的兩平行側面21、22與主梁I的兩平行表面11、12的夾角β范圍為20° 80° ;所述多個側梁加強肋板23與斜梁的兩平行側面21、22的夾角Y范圍為20。 80°。所述主梁I采用不銹鋼作為原材料，其與斜梁通過整體焊接而成，有效定義落料斷面和焊接焊縫，提高了工藝性并保證結構強度。請參閱圖3及圖4，圖3及圖4示出的是本技術一種光刻機掩模臺橫梁另一實施例的結構示意圖及側視圖。與上述實施例結構的區別是，所述側梁2包括一斜梁部22及與之相連的豎梁部24，所述豎梁部24固接于所述底板3。所述側梁加強肋板23包括多個平行設置于斜梁部22兩表面222、224之間的斜梁加強肋板226及設置于豎梁部24兩表面242、244之間的豎梁加強肋板246，本實施例中，所述斜梁加強肋板226的數量為兩個，所述斜梁加強肋板226與斜梁部22兩表面222、224的夾角Θ范圍為20° 80° ;所述豎梁加強肋板246的數量為一個，所述豎梁加強肋板246與豎梁部24兩表面242、244的夾角ε范圍為30° 60°。所述斜梁部22兩表面222、224與主梁I的兩平行表面11、12之間的夾角ω范圍為 30° 60°。 請參閱圖5，所述主梁I預先開設有第一落料破口 16，所述斜梁部22預先開設有第二落料破口 26，所述豎梁部24預先開設有第三落料破口 28，通過對第一落料破口 16、第二落料破口 26及第三落料破口 28的拼接焊接，形成本實施例光刻機掩模臺橫梁的整體結構。本實施例中所述主梁I、斜梁部22及豎梁部24均為標準工字鋼。相比于現有技術，本技術的一種光刻機掩模臺橫梁采用主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁所組成的一種拓撲結構，所述主梁及側梁內部均設有多個加強肋板，具備高模態、低質量的結構特征，制造工藝和裝配較簡單、容易制造且成本較低。這里本技術的描述和應用是說明性的，并非想將本技術的范圍限制在上述實施例中。這里所披露的實施例的變形和改變是可能的，對于那些本領域的普通技術人員來說實施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領域技術人員應該清楚的是，在不脫離本技術的精神或本質特征的情況下，本技術可以以其它形式、結構、布置、比例，以及用其它組件、材料和部件來實現。在不脫離本技術范圍和精神的情況下，可以對這里所披露的實施例進行其它變形和改變。權利要求1.一種光刻機掩模臺橫梁，其特征在于，其包括水平設置的主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁，所述主梁的兩平行表面之間設有多個主梁加強肋板，所述側梁的兩平行側面之間設有多個側梁加強肋板，所述側本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光刻機掩模臺橫梁，其特征在于，其包括：水平設置的主梁及分別對稱固接于所述橫梁兩端的側梁，所述主梁的兩平行表面之間設有多個主梁加強肋板，所述側梁的兩平行側面之間設有多個側梁加強肋板，所述側梁的底部固接有可固定于工作臺面的底板。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：吳飛，王茜，周瑞良，劉劍，魏巍，
申請(專利權)人：上海微電子裝備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：