掩模、顯示裝置以及制造顯示裝置的方法制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及掩模、顯示裝置以及制造顯示裝置的方法。一種掩模，包括基底基板，以及在基底基板上的包括透光部和遮光部的遮光圖案，其中，遮光部包括第三源電極部、與第三源電極部間隔開并且包括平行于第三源電極部的至少一部分的第三漏電極部、在第三源電極部的面向第三漏電極部的端部處的第一輔助遮光部、以及在第三漏電極部的面向第三源電極部的端部處的第二輔助遮光部。

【技術實現步驟摘要】
本申請要求于2015年6月23日提交的韓國專利申請第10-2015-0089105號的優先權以及由此產生的所有權益，通過引用將其全部內容結合在此。
本專利技術的示例性實施方式涉及用于形成圖案的曝光掩模以及使用掩模制造顯示裝置的方法。
技術介紹
基于顯示裝置的發光方案，顯示裝置被分類為包括液晶顯示(“LCD”)裝置、有機發光二極管(“OLED”)顯示裝置、等離子體顯示面板(“PDP”)裝置、電泳顯示(“EPD”)裝置等的類型。在這些顯示裝置中，LCD裝置通常包括彼此相對的兩個基板以及介于兩個基板之間的液晶層。LCD裝置的兩個基板之一包括多個薄膜晶體管(“TFT”)以及布置在其上的像素電極，并且像素電極由TFT驅動。隨著對具有高分辨率的顯示裝置的需要日益增長，像素可以包括三個以上的TFT，并且TFT可具有明顯小的尺寸。
技術實現思路
在制造這樣小尺寸的薄膜晶體管(“TFT”)的情況下，由于在它的制造處理過程中的誤差，TFT中可能會出現缺陷。本專利技術的示例性實施方式涉及可用于制造包括小尺寸的TFT的顯示裝置的掩模。本專利技術的示例性實施方式還涉及使用掩模制造顯示裝置的方法。根據本專利技術的示例性實施方式，一種掩模，包括基底基板以及在基底基板上的包括透光部和遮光部的遮光圖案，其中，遮光部包括第一源電極部、與第一源電極部間隔開的第一漏電極部、連接至第一源電極部的第二源電極部、與第二源電極部間隔開的第二漏電極部、連接至第二漏電極部的第三源電極部、與第三源電極部間隔開并且包括平行于第三源電極部的至少一部分的第三漏電極部、在第三源電極部的面向第三漏電極部的端部處的第一輔助遮光部、以及在第三漏電極部的面向第三源電極部的端部處的第二輔助遮光部。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可以接觸第三源電極部并且可以朝向第三漏電極部突出。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可以在第三源電極部與第三漏電極部之間同時與第三源電極部間隔開。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可具有條形。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可具有圓形和多邊形之一。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可以接觸第三漏電極部并且可以朝向第三源電極部突出。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可以在第三源電極部與第三漏電極部之間同時與第三漏電極部間隔開。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可具有條形。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可具有圓形和多邊形之一。在示例性實施方式中，掩模可以進一步包括第三源電極部與第三漏電極部之間的溝道部。在示例性實施方式中，溝道部可以是半透射部。在示例性實施方式中，第三源電極部和第三漏電極部可以分別在溝道部的兩側被布置為彼此平行，并且第三源電極部和第三漏電極部中的每一個可具有條形。在示例性實施方式中，第三源電極部和第三漏電極部可以分別在溝道部的兩側被布置為彼此平行，并且第三源電極部和第三漏電極部中的每一個可具有彎曲條形。在示例性實施方式中，在第一源電極部的端部、第一漏電極部的端部、第二源電極部的端部、以及第二漏電極部的端部處可以不存在輔助遮光部。根據本專利技術的另一示例性實施方式，一種顯示裝置，包括第一基板；第一基板上的第一柵電極、第二柵電極以及第三柵電極；第一柵電極、第二柵電極和第三柵電極上的柵極絕緣層；柵極絕緣層上的第一半導體層，第一半導體層包括與第一柵電極重疊的至少一部分；第一源電極，包括與第一半導體層重疊的至少一部分；第一漏電極，與第一源電極間隔開，第一漏電極包括與第一半導體層重疊的至少一部分；柵極絕緣層上的第二半導體層，第二半導體層包括與第二柵電極重疊的至少一部分；第二源電極，連接至第一源電極，第二源電極包括與第二半導體層重疊的至少一部分；第二漏電極，與第二源電極間隔開，第二漏電極包括與第二半導體層重疊的至少一部分；柵極絕緣層上的第三半導體層，第三半導體層包括與第三柵電極重疊的至少一部分；第三源電極，連接至第二漏電極，第三源電極包括與第三半導體層重疊的至少一部分；以及第三漏電極，與第三源電極間隔開，第三漏電極包括與第三半導體層重疊的至少一部分；其中，朝向第三漏電極突出的第一突起布置在第三源電極的端部處，以及朝向第三源電極突出的第二突起布置在第三漏電極的端部處。在示例性實施方式中，第三源電極和第三漏電極中的每一個可具有在大約3微米(μm)至大約5μm的范圍內的寬度，并且第一突起和第二突起中的每一個可具有在大約0.1μm至大約0.5μm的范圍內的突出長度。在示例性實施方式中，第三源電極和第三漏電極可以在第三半導體層上被布置為彼此平行，并且第三源電極和第三漏電極中的每一個可具有條形。在示例性實施方式中，第三源電極和第三漏電極可以在第三半導體層上被布置為彼此平行，并且第三源電極和第三漏電極中的每一個可具有彎曲條形。在示例性實施方式中，在第一源電極的端部、第一漏電極的端部、第二源電極的端部、以及第二漏電極的端部處可以不存在第一突起和第二突起。在示例性實施方式中，顯示裝置可以進一步包括與第一基板相對的第二基板，以及第一基板與第二基板之間的液晶層。根據本專利技術的又一個示例性實施方式，一種制造顯示裝置的方法，該方法包括：在第一基板上形成第一柵電極、第二柵電極以及第三柵電極；在第一柵電極、第二柵電極和第三柵電極上形成柵極絕緣層；在柵極絕緣層上涂覆半導體材料；在半導體材料上涂覆導電材料以形成導電層；在導電層上涂覆光致抗蝕劑；在光致抗蝕劑上方布置掩模；向掩模照射光以對光致抗蝕劑執行選擇性曝光；圖案化光致抗蝕劑；以及使用圖案化的光致抗蝕劑圖案化半導體材料和導電層，并且掩模包括基底基板以及在基底基板上的包括透光部和遮光部的遮光圖案，并且遮光部包括：第一源電極部；第一漏電極部，與第一源電極部間隔開；第二源電極部，連接至第一源電極部；第二漏電極部，與第二源電極部間隔開；第三源電極部，連接至第二漏電極部；第三漏電極部，與第三源電極部間隔開，第三漏電極部包括平行于第三源電極部的至少一部分；第一輔助遮光部，在第三源電極部的端部處；以及第二輔助遮光部，在第三漏電極部的端部處。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可以接觸第三源電極部并且可以朝向第三漏電極部突出。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可以在第三源電極部與第三漏電極部之間同時與第三源電極部間隔開。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可具有條形。在示例性實施方式中，第一輔助遮光部可具有圓形和多邊形之一。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可以接觸第三漏電極部并且可以朝向第三源電極部突出。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可以在第三源電極部與第三漏電極部之間同時與第三漏電極部間隔開。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可具有條形。在示例性實施方式中，第二輔助遮光部可具有圓形和多邊形之一。在示例性實施方式中，圖案化半導體材料和導電層可以包括：形成包括與第三柵電極重疊的至少一部分的第三半導體層，包括與第三半導體層重疊的至少一部分的第三源電極，以及與第三源電極間隔開并且包括與第三半導體層重疊的至少一部分的第三漏電極，并且掩模進一步包括第三源電極部與第三漏電極部之間的溝道部，溝道部用于形成第三半導體層的溝道。在示例性實施方式中，溝道部可以是半透射部。在示例性實施方式中，第三源電極部和第三漏電極部可以分別在溝道部的兩側被布置為彼此平行，并且第三源電極本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種掩模，包括：基底基板；以及遮光圖案，在所述基底基板上，包括透光部和遮光部，其中，所述遮光部包括：第一源電極部；第一漏電極部，與所述第一源電極部間隔開；第二源電極部，連接至所述第一源電極部；第二漏電極部，與所述第二源電極部間隔開；第三源電極部，連接至所述第二漏電極部；第三漏電極部，與所述第三源電極部間隔開并且包括平行于所述第三源電極部的至少一部分；第一輔助遮光部，在所述第三源電極部的面向所述第三漏電極部的端部處；以及第二輔助遮光部，在所述第三漏電極部的面向所述第三源電極部的端部處。

【技術特征摘要】
2015.06.23 KR 10-2015-00891051.一種掩模，包括：基底基板；以及遮光圖案，在所述基底基板上，包括透光部和遮光部，其中，所述遮光部包括：第一源電極部；第一漏電極部，與所述第一源電極部間隔開；第二源電極部，連接至所述第一源電極部；第二漏電極部，與所述第二源電極部間隔開；第三源電極部，連接至所述第二漏電極部；第三漏電極部，與所述第三源電極部間隔開并且包括平行于所述第三源電極部的至少一部分；第一輔助遮光部，在所述第三源電極部的面向所述第三漏電極部的端部處；以及第二輔助遮光部，在所述第三漏電極部的面向所述第三源電極部的端部處。2.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第一輔助遮光部接觸所述第三源電極部并且朝向所述第三漏電極部突出。3.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第一輔助遮光部在所述第三源電極部與所述第三漏電極部之間并且與所述第三源電極部間隔開。4.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第一輔助遮光部具有條形。5.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第一輔助遮光部具有圓形和多邊形之一。6.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第二輔助遮光部接觸所述第三漏電極部并且朝向所述第三源電極部突出。7.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第二輔助遮光部在所述第三源電極部與所述第三漏電極部之間并且與所述第三漏電極部間隔開。8.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第二輔助遮光部具有條形。9.根據權利要求1所述的掩模，其中，所述第二輔助遮光部具有圓形和多邊形之一。10.根據權利要求1所述的掩模，進一步包括在所述第三源電極部與所述第三漏電極部之間的溝道部。11.根據權利要求10所述的掩模，其中，所述溝道部是半透射部。12.根據權利要求10所述的掩模，其中，所述第三源電極部和所述第三漏電極部分別在所述溝道部的兩側被布置為彼此平行，并且所述第三源電極部和所述第三漏電極部中的每一個具有條形。13.根據權利要求10所述的掩模，其中，所述第三源電極部和所述第三漏電極部分別在所述溝道部的兩側被布置為彼此平行，并且所述第三源電極部和所述第三漏電極部中的每一個具有彎曲條形。14.根據權利要求1所述的掩模，其中，在所述第一源電極部的端部、所述第一漏電極部的端部、所述第二源電極部的端部以及所述第二漏電極部的端部處不存在輔助遮光部。15.一種顯示裝置，包括：第一基板；所述第一基板上的第一柵電極、第二柵電極以及第三柵電極；所述第一柵電極、所述第二柵電極和所述第三柵電極上的柵極絕緣層；所述柵極絕緣層上的第一半導體層，所述第一半導體層包括與所述第一柵電極重疊的至少一部分；第一源電極，包括與所述第一半導體層重疊的至少一部分；第一漏電極，與所述第一源電極間隔開，所述第一漏電極包括與所述第一半導體層重疊的至少一部分；所述柵極絕緣層上的第二半導體層，所述第二半導體層包括與所述第二柵電極重疊的至少一部分；第二源電極，連接至所述第一源電極，所述第二源電極包括與所述第二半導體層重疊的至少一部分；第二漏電極，與所述第二源電極間隔開，所述第二漏電極包括與所述第二半導體層重疊的至少一部分；所述柵極絕緣層上的第三半導體層，所述第三半導體層包括與所述第三柵電極重疊的至少一部分；第三源電極，連接至所述第二漏電極，所述第三源電極包括與所述第三半導體層重疊的至少一部分；以及第三漏電極，與所述第三源電極間隔開，所述第三漏電極包括與所述第三半導體層重疊的至少一部分；其中，朝向所述第三漏電極突出的第一突起布置在所述第三源電極的端部處，以及朝向所述第三源電極突出的第二突起布置在所述第三漏電極的端部處。16.根據權利要求15所述的顯示裝置，其中，所述第三源電極和所述第三漏電極中的每一個具有在3微米至5微米的范圍內的寬度，并...

【專利技術屬性】
技術研發人員：樸仁浩，柳世桓，金京準，孫智賢，
申請(專利權)人：三星顯示有限公司，
類型：發明
國別省市：韓國;KR