一種旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，能抑制塵埃產(chǎn)生及噪聲產(chǎn)生。對(duì)能相對(duì)支承體（5）旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)（31）包括：能擺動(dòng)地安裝于支承體的擺動(dòng)構(gòu)件（45）；與擺動(dòng)構(gòu)件（45）抵接以限制擺動(dòng)構(gòu)件（45）朝一側(cè)的擺動(dòng)范圍的第一限制構(gòu)件（46）；與擺動(dòng)構(gòu)件（45）抵接以限制擺動(dòng)構(gòu)件（45）朝另一側(cè)的擺動(dòng)范圍的第二限制構(gòu)件（47）；卡合構(gòu)件（48），其固定于旋轉(zhuǎn)體且與擺動(dòng)構(gòu)件（45）卡合以使擺動(dòng)構(gòu)件（45）在第一限制位置與第二限制位置間擺動(dòng)，在第一限制位置上擺動(dòng)構(gòu)件（45）與第一限制構(gòu)件（46）抵接，在第二限制位置上擺動(dòng)構(gòu)件（45）與第二限制構(gòu)件（47）抵接；利用磁吸引力將擺動(dòng)構(gòu)件（45）保持于第一限制位置的第一磁力保持機(jī)構(gòu)（51）；以及利用磁吸引力將擺動(dòng)構(gòu)件（45）保持于第二限制位置的第二磁力保持機(jī)構(gòu)（52）。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)。此外，本專利技術(shù)涉及包括上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)的工業(yè)用機(jī)器人。
技術(shù)介紹
以往，作為對(duì)半導(dǎo)體晶片等工件進(jìn)行搬運(yùn)的工業(yè)用機(jī)器人，已知有如下工業(yè)用機(jī)器人，該工業(yè)用機(jī)器人包括基部，該基部固定在地板上；主體，該主體能旋轉(zhuǎn)地安裝在基部上；第一臂，該第一臂的基端部固定在主體上；第二臂，該第二臂的基端部能旋轉(zhuǎn)地安裝在第一臂的前端部；以及手部，該手部的基端部能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂的前端部(例如參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I記載的工業(yè)用機(jī)器人中，基部包括可升降的升降臺(tái)，主體包括供第一臂的基端部固定的主體框。在上述工業(yè)用機(jī)器人中，主體框能相對(duì)于升降臺(tái)旋轉(zhuǎn)360°以上，在升降臺(tái)與主體框之間設(shè)置有對(duì)主體框的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制的限位部。限位部包括L字形的限位構(gòu)件，該限位構(gòu)件能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在升降臺(tái)上；限位銷，該限位銷固定在主體框上；兩個(gè)限位件，這兩個(gè)限位件對(duì)限位構(gòu)件的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍進(jìn)行限制；以及限位輥，該限位輥用于保持限位構(gòu)件與限位件抵接的狀態(tài)。在對(duì)限位構(gòu)件進(jìn)行支承的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上形成有與限位輥卡合的兩個(gè)軸線方向槽，限位輥被彈簧朝向轉(zhuǎn)動(dòng)軸施力。在限位部中，若限位輥與一方的軸線方向槽卡合，則可保持限位構(gòu)件與一方的限位件抵接的狀態(tài)，若限位輥與另一方的軸線方向槽卡合，則可保持限位構(gòu)件與另一方的限位件抵接的狀態(tài)。在專利文獻(xiàn)I記載的工業(yè)用機(jī)器人中，當(dāng)主體框旋轉(zhuǎn)而使限位銷從L字形的限位構(gòu)件的內(nèi)側(cè)與限位構(gòu)件抵接時(shí)，限位銷推倒限位構(gòu)件而使主體框旋轉(zhuǎn)。另一方面，當(dāng)主體框旋轉(zhuǎn)而使限位銷從L字形的限位構(gòu)件的外側(cè)與限位構(gòu)件抵接時(shí)，限位銷與抵接在限位件上的限位構(gòu)件抵接,而使主體框停止。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特開(kāi)2003 - 170384號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問(wèn)題在專利文獻(xiàn)I記載的工業(yè)用機(jī)器人中，用于保持限位構(gòu)件與限位件抵接的狀態(tài)的限位輥被朝向?qū)ο尬粯?gòu)件進(jìn)行支承的轉(zhuǎn)動(dòng)軸施力，限位輥始終與轉(zhuǎn)動(dòng)軸接觸。因此，在該工業(yè)用機(jī)器人中，伴隨著轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，可能在限位輥與轉(zhuǎn)動(dòng)軸的接觸部分處產(chǎn)生塵埃。此夕卜，在該工業(yè)用機(jī)器人中，伴隨著轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，可能在限位輥與轉(zhuǎn)動(dòng)軸的接觸部分處產(chǎn)生噪聲。因此，本專利技術(shù)的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，其對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制，并能抑制塵埃的產(chǎn)生或噪聲的產(chǎn)生。此外，本專利技術(shù)的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種包括上述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)的工業(yè)用機(jī)器人。 解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本專利技術(shù)的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制，其特征是，包括擺動(dòng)構(gòu)件，該擺動(dòng)構(gòu)件能擺動(dòng)地安裝在支承體上；第一限制構(gòu)件，該第一限制構(gòu)件固定或形成于支承體，且與擺動(dòng)構(gòu)件抵接來(lái)對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件朝一方側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制；第二限制構(gòu)件，該第二限制構(gòu)件固定或形成于支承體，且與擺動(dòng)構(gòu)件抵接來(lái)對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件朝另一方側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制；卡合構(gòu)件，該卡合構(gòu)件固定或形成于旋轉(zhuǎn)體，且與擺動(dòng)構(gòu)件卡合來(lái)使擺動(dòng)構(gòu)件在第一限制位置與第二限制位置之間擺動(dòng)，其中，在上述第一限制位置上，擺動(dòng)構(gòu)件與第一限制構(gòu)件抵接，在上述第二限制位置上，擺動(dòng)構(gòu)件與第二限制構(gòu)件抵接；第一磁力保持機(jī)構(gòu)，該第一磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第一限制位置上；以及第二磁力保持機(jī)構(gòu)，該第二磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第二限制位置上。在本專利技術(shù)的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)中，利用第一磁力保持機(jī)構(gòu)的磁吸引力或磁斥力，來(lái)將擺動(dòng)構(gòu)件保持在擺動(dòng)構(gòu)件與第一限制構(gòu)件抵接的第一限制位置上，利用第二磁力保持機(jī)構(gòu)的磁吸引力或磁斥力，來(lái)將擺動(dòng)構(gòu)件保持在擺動(dòng)構(gòu)件與第二限制構(gòu)件抵接的第二限制位置上。因此，即便為了使旋轉(zhuǎn)體相對(duì)于支承體適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)360°以上，而需要將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第一限制位置或第二限制位置上，也不需要使用于將擺動(dòng)構(gòu)件保持在第一限制位置或第二限制位置處的構(gòu)件與擺動(dòng)構(gòu)件接觸。因此，在本專利技術(shù)中，能抑制伴隨著在第一限制位置與第二限制位置間擺動(dòng)的擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。在本專利技術(shù)中，例如，第一磁力保持機(jī)構(gòu)及第二磁力保持機(jī)構(gòu)包括固定在擺動(dòng)構(gòu)件和支承體中的一方上的永磁體；以及固定在擺動(dòng)構(gòu)件和支承體中的另一方上的磁性構(gòu)件或永磁體。在本專利技術(shù)中，較為理想的是，從旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)軸的軸向觀察時(shí)，擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)中心配置在與旋轉(zhuǎn)體一起旋轉(zhuǎn)的卡合構(gòu)件的軌跡即假想圓的外側(cè)。若這樣構(gòu)成，則與從旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)軸的軸向觀察時(shí)擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)中心配置在假想圓的內(nèi)側(cè)的情況相比，即便縮短了從旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)中心到卡合構(gòu)件的距離，也能利用卡合構(gòu)件使擺動(dòng)構(gòu)件適當(dāng)?shù)財(cái)[動(dòng)。因此，能減小卡合構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)半徑，其結(jié)果是，能使旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)小型化。在本專利技術(shù)中，在擺動(dòng)構(gòu)件上形成有卡合槽，當(dāng)擺動(dòng)構(gòu)件在第一限制位置與第二限制位置之間擺動(dòng)時(shí)，上述卡合槽與卡合構(gòu)件卡合，卡合構(gòu)件形成為大致圓柱狀，在卡合槽的側(cè)面形成有大致半圓弧狀的凹曲面，該凹曲面的內(nèi)徑與卡合構(gòu)件的外徑大致相等。若在擺動(dòng)構(gòu)件位于第一限制位置與第二限制位置間時(shí)旋轉(zhuǎn)體停止，則第一磁力保持機(jī)構(gòu)對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件的保持力及第二磁力保持機(jī)構(gòu)對(duì)擺動(dòng)構(gòu)件的保持力不發(fā)揮作用，因此，盡管旋轉(zhuǎn)體停止，擺動(dòng)構(gòu)件也可能會(huì)晃動(dòng)，但若這樣構(gòu)成，則在擺動(dòng)構(gòu)件位于第一限制位置與第二限制位置之間時(shí)，能使卡合構(gòu)件的外周面與大致半圓弧狀的凹曲面的較寬范圍接觸，因此，即便在擺動(dòng)構(gòu)件位于第一限制位置與第二限制位置間時(shí)旋轉(zhuǎn)體停止，也可以使用卡合構(gòu)件來(lái)防止擺動(dòng)構(gòu)件的晃動(dòng)。本專利技術(shù)的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)能用于包括主體部、基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主體部上的第一臂、基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第一臂的前端側(cè)的第二臂、基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂的前端側(cè)的第三臂以及基端側(cè)能旋轉(zhuǎn)地安裝在第三臂的前端側(cè)的手部的工業(yè)用機(jī)器人，其中，例如，旋轉(zhuǎn)體是第三臂，支承體是第二臂。在上述工業(yè)用機(jī)器人中，能抑制伴隨著擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。專利技術(shù)效果如上所述，在本專利技術(shù)的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)及工業(yè)用機(jī)器人中，能抑制伴隨著擺動(dòng)構(gòu)件的擺動(dòng)而導(dǎo)致塵埃的產(chǎn)生及噪聲的產(chǎn)生。附圖說(shuō)明圖1是本專利技術(shù)實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人的示意側(cè)視圖。圖2是使用圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的示意俯視圖。圖3是用于對(duì)圖1所示的第三臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的縱剖視圖。圖4是用于從圖3的E — E方向?qū)Φ谌垓?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖5是用于對(duì)圖3所示的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖6是用于對(duì)使用圖3所示的非接觸式傳感器檢測(cè)到磁性構(gòu)件時(shí)的第三臂的狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明的圖。具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本專利技術(shù)的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。(工業(yè)用機(jī)器人的示意結(jié)構(gòu))圖1是本專利技術(shù)實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人I的示意側(cè)視圖。圖2是使用圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人I的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)16的示意俯視圖。本實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人I是用于對(duì)半導(dǎo)體晶片2 (參照?qǐng)D2)進(jìn)行搬運(yùn)的多關(guān)節(jié)型機(jī)器人。如圖1所示，該工業(yè)用機(jī)器人I包括主體部3 ;第一臂4，該第一臂4能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主體部3上；第二臂5，該第二臂5能轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第一臂4上；第三臂6，該第三臂6能旋轉(zhuǎn)地安裝在第二臂5上；以及手部7、8，該手部7、8能旋轉(zhuǎn)地安裝在第三臂6上。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】2011.04.27 JP 2011-0989371.一種旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，對(duì)能相對(duì)于支承體旋轉(zhuǎn)360°以上的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍進(jìn)行限制，其特征在于，包括: 擺動(dòng)構(gòu)件，該擺動(dòng)構(gòu)件能擺動(dòng)地安裝在所述支承體上； 第一限制構(gòu)件，該第一限制構(gòu)件固定或形成于所述支承體，且與所述擺動(dòng)構(gòu)件抵接來(lái)對(duì)所述擺動(dòng)構(gòu)件朝一側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制； 第二限制構(gòu)件，該第二限制構(gòu)件固定或形成于所述支承體，且與所述擺動(dòng)構(gòu)件抵接來(lái)對(duì)所述擺動(dòng)構(gòu)件朝另一側(cè)的擺動(dòng)范圍進(jìn)行限制； 卡合構(gòu)件，該卡合構(gòu)件固定或形成于所述旋轉(zhuǎn)體，且與所述擺動(dòng)構(gòu)件卡合，以使所述擺動(dòng)構(gòu)件在第一限制位置與第二限制位置之間擺動(dòng)，其中，在所述第一限制位置上，所述擺動(dòng)構(gòu)件與所述第一限制構(gòu)件抵接，在所述第二限制位置上，所述擺動(dòng)構(gòu)件與所述第二限制構(gòu)件抵接； 第一磁力保持機(jī)構(gòu)，該第一磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將所述擺動(dòng)構(gòu)件保持在所述第一限制位置上；以及 第二磁力保持機(jī)構(gòu)，該第二磁力保持機(jī)構(gòu)利用磁吸引力或磁斥力將所述擺動(dòng)構(gòu)件保持在所述第二限制位置上。2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)范圍限制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁力保持機(jī)構(gòu)及...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：北原康行，改野重幸，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社，
類型：
國(guó)別省市：
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