用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)涉及氣體密封技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置。該裝置包括主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內(nèi)圈端面密封連接有沿所述軸承內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封環(huán)，所述通氣軸承座上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽，所述圓環(huán)形油脂槽中填充油脂，所述圓環(huán)形密封環(huán)浸入在所述油脂中并在驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使圓環(huán)形密封環(huán)在圓環(huán)形油脂槽中轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)提供一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，其能夠有效解決主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封的問(wèn)題，保證不漏氣；并且不會(huì)產(chǎn)生大量雜質(zhì)和油液對(duì)工藝環(huán)境造成破壞，保證工藝環(huán)境的潔凈。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專(zhuān)利技術(shù)涉及氣體密封
，特別涉及一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置。
技術(shù)介紹
目前，在多種設(shè)備中安裝有旋轉(zhuǎn)主軸低速旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，同時(shí)需要有氣體通過(guò)旋轉(zhuǎn) 主軸中間通氣孔到達(dá)頂部進(jìn)行工藝試驗(yàn)的結(jié)構(gòu)。根據(jù)不同工藝的要求，通過(guò)旋轉(zhuǎn)主軸的氣 體壓力需要有一定的保證，同時(shí)如果通過(guò)旋轉(zhuǎn)主軸的氣體是有害氣體，必須保證該氣體不 可外漏；比如現(xiàn)階段清洗機(jī)旋轉(zhuǎn)主軸就需要有氮?dú)馔ㄟ^(guò)主軸中間通氣孔，對(duì)晶片背面進(jìn)行 噴氣清潔處理。但是，而現(xiàn)階段類(lèi)似的結(jié)構(gòu)都不能夠完全解決漏氣問(wèn)題，即使能解決漏氣問(wèn) 題也會(huì)造成工藝環(huán)境的極度惡化。對(duì)于磁懸浮密封會(huì)在空氣中產(chǎn)生大量金屬粒子的聚集而 惡化環(huán)境，對(duì)于一般的油液密封采取循環(huán)填充油液的方式保證油液的量，填充過(guò)程中有油 液的泄漏和飛濺等現(xiàn)象出現(xiàn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本專(zhuān)利技術(shù)要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，以克服 現(xiàn)有技術(shù)中主軸在低速旋轉(zhuǎn)時(shí)氣體在旋轉(zhuǎn)處外漏的缺陷。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本專(zhuān)利技術(shù)提供一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，包 括主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，其特征在于，所述軸承與所述 主軸密封連接，所述軸承的內(nèi)圈端面密封連接有沿所述軸承內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封 環(huán)，所述通氣軸承座上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽，所述圓環(huán)形油脂槽中填充高密度油脂， 所述圓環(huán)形密封環(huán)浸入在所述油脂中并在所述驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使軸承的圓環(huán)形密封環(huán) 在圓環(huán)形油脂槽中轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步地，所述軸承與所述主軸過(guò)渡配合或過(guò)盈配合。進(jìn)一步地，所述圓環(huán)形密封環(huán)采用焊接或粘接方式與所述軸承的端部連接。進(jìn)一步地，所述通氣軸承座的底部設(shè)有底部通氣孔。(三)有益效果本專(zhuān)利技術(shù)提供的用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，通過(guò)在軸承的內(nèi)圈端面密封連 有圓環(huán)形密封環(huán)，同時(shí)在通氣軸承座上設(shè)置相應(yīng)的圓環(huán)形油脂槽，使得氣體被阻擋在旋轉(zhuǎn) 防漏氣腔室內(nèi)；又在圓環(huán)形油脂槽中設(shè)有油脂，采用油液密封將氣體徹底阻擋在旋轉(zhuǎn)防漏 氣腔室內(nèi)而無(wú)法外漏，同時(shí)通氣軸承座上直接設(shè)置底部通氣孔，減少了單獨(dú)設(shè)計(jì)通氣孔裝 置再與軸承座連接的過(guò)程，保證了氣體密封性。因此其能有效解決主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密 封的問(wèn)題，保證工藝環(huán)境的潔凈。附圖說(shuō)明 圖1為本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置的剖面示意圖；圖2為本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例主軸的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例軸承連接圓環(huán)形密封環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例通氣軸承座的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4的剖視示意圖。圖中，1:通氣軸承座；2 :軸承；3 :主軸；4 :圓環(huán)形密封環(huán)；5 :底部通氣孔；6 :旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室；7 :圓環(huán)形油脂槽；8 :主軸通氣孔。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本專(zhuān)利技術(shù)的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施 例用于說(shuō)明本專(zhuān)利技術(shù)，但不用來(lái)限制本專(zhuān)利技術(shù)的范圍。在本專(zhuān)利技術(shù)的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、 “后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本專(zhuān)利技術(shù)和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指 的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本專(zhuān)利技術(shù) 的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。在本專(zhuān)利技術(shù)的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相 連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可 以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是 兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本 專(zhuān)利技術(shù)中的具體含義。此外，在本專(zhuān)利技術(shù)的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”、“多根”、“多組”的含義是兩個(gè)或 兩個(gè)以上。參見(jiàn)圖1-圖5，該密封裝置包括主軸3及與其連接的軸承2，軸承2固定在通氣軸 承座I上，其中，軸承2與主軸3密封連接，軸承2的內(nèi)圈端面密封連接有沿軸承2內(nèi)圈圓 周方向的圓環(huán)形密封環(huán)4，通氣軸承座I上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽7，圓環(huán)形油脂槽7 中填充油脂，圓環(huán)形密封環(huán)4可在驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)下使軸承2上面的圓環(huán)形密封環(huán)4在圓環(huán) 形油脂槽7中轉(zhuǎn)動(dòng)。軸承2由內(nèi)圈、外圈以及中間的滾珠組成，滾珠會(huì)導(dǎo)致漏氣，因此將環(huán) 形密封環(huán)4設(shè)在軸承2的內(nèi)圈端面。其中，主軸3的中央設(shè)有主軸通氣孔8，通氣軸承座I的底部設(shè)有底部通氣孔5，氣 體從底部通氣孔5進(jìn)入該密封裝置，然后通過(guò)主軸3上的主軸通氣孔8到達(dá)主軸3的頂部 進(jìn)行工藝。在通氣軸承座I的圓環(huán)形油脂槽7中填充適量的油脂，將密封連接的主軸3與 軸承2固定在通氣軸承座I上,此時(shí)圓環(huán)形密封環(huán)4正好位于圓環(huán)形油脂槽7中，此時(shí)由圓 環(huán)形密封環(huán)4浸入到圓環(huán)形油脂槽7中而形成了一個(gè)旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室6，利用軸承2與主 軸3的配合可以使主軸3能夠順暢轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)由于是低速轉(zhuǎn)動(dòng)且油脂的密度很大，不會(huì)產(chǎn)生 油液飛濺的現(xiàn)象。同時(shí)，底部通氣孔5設(shè)計(jì)在通氣軸承座I上面，既形成一體的通氣軸承座 1，避免了單獨(dú)設(shè)計(jì)通氣孔裝置，減少了通氣孔裝置與軸承座連接的一個(gè)環(huán)節(jié)，可以更加有效的防止漏氣現(xiàn)象出現(xiàn)。并且由于沒(méi)有油液的飛濺以及循環(huán)填充油液時(shí)油液泄漏的現(xiàn)象出現(xiàn)，以及像磁流體密封中產(chǎn)生的大量金屬粒子聚集的現(xiàn)象出現(xiàn)，因而保證了在低速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中該裝置所在的工藝環(huán)境的潔凈。此時(shí)對(duì)于除上下通氣孔的位置，中間的旋轉(zhuǎn)防漏氣腔室6為封閉狀態(tài)，油脂密封又保證不會(huì)有氣體泄漏，因而達(dá)到了最佳的密封效果。其中，主軸3與軸承2密封配合，保證了旋轉(zhuǎn)主軸3與軸承2之間沒(méi)有間隙，是緊密配合的。防止氣體從主軸3與軸承2的配合處漏出，同時(shí)保證主軸3的旋轉(zhuǎn)順暢以及主軸3與軸承2的同軸度。其中，軸承2內(nèi)圈底部的圓環(huán)形密封環(huán)4，可采用粘接或焊接方式與軸承2的內(nèi)圈端面連接，例如無(wú)縫焊接方式。從工藝和實(shí)現(xiàn)的效果角度來(lái)講，采用焊接方式較好。當(dāng)然也可以采用佩帶密封圈的機(jī)械連接方式將圓環(huán)形密封環(huán)4與軸承2的內(nèi)圈端面連接，例如，在圓環(huán)形密封環(huán)4和軸承2之間設(shè)置密封圈，再采用螺釘連接方式將圓環(huán)形密封環(huán)4、軸承2和密封圈連接成一個(gè)整體。無(wú)論采用哪種方式都可以保證軸承2和圓環(huán)形密封環(huán)4之間沒(méi)有縫隙，從而保證了氣體的密封性，使氣體不能通過(guò)焊接的縫隙漏氣。其中，圓環(huán)形密封環(huán)4浸入到密封油脂中。密封油脂為高密度油脂，其性能可以根據(jù)具體工藝需求選定，其性能為優(yōu)良的高低溫性、熱穩(wěn)定性和化學(xué)安定性，耐水密封性，良好的潤(rùn)滑性能和粘附性能，其在高溫下稠度變化小，本身粘稠度大。采用高密度油脂密封，使氣體不能通過(guò)圓環(huán)形密封環(huán)4與圓環(huán)形油脂槽7的縫隙漏出，對(duì)保證氣壓穩(wěn)定以及防止有害氣體的外漏有很好的效果；同時(shí)低速旋轉(zhuǎn)的主軸3端部的圓環(huán)形密封環(huán)4在填充了適量高密度油脂的圓環(huán)形油脂槽7內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，油脂不僅達(dá)到密封氣體的作用，并且不會(huì)產(chǎn)生油液飛濺的現(xiàn)象，也不會(huì)產(chǎn)生大量雜質(zhì)和油液對(duì)工藝環(huán)境造成破壞，保證了該裝置所在的工藝環(huán)境的的潔凈。該密封裝置采用主軸3與軸承2的密封配合的方式如過(guò)渡配合或過(guò)盈配合來(lái)防止氣體外漏；并且采用密封焊接或粘貼或佩帶密封圈的機(jī)械連接，保證氣體不能通過(guò)連接處的縫隙漏出；同時(shí)采用圓環(huán)形密封環(huán)浸入高密度油脂中的本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于主軸低速旋轉(zhuǎn)的氣體密封裝置，包括：主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，其特征在于，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內(nèi)圈端面密封連接有沿所述軸承內(nèi)圈圓周方向的圓環(huán)形密封環(huán)，所述通氣軸承座上相應(yīng)的設(shè)置有圓環(huán)形油脂槽，所述圓環(huán)形油脂槽中填充油脂，所述圓環(huán)形密封環(huán)浸入在所述油脂中并在驅(qū)動(dòng)裝置的帶動(dòng)下使圓環(huán)形密封環(huán)在圓環(huán)形油脂槽中轉(zhuǎn)動(dòng)。

【技術(shù)特征摘要】

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王浩，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：