一種觸摸傳感器的制作方法技術

本發明專利技術提供一種觸摸傳感器的制作方法，所述方法包括以下步驟：S11、在ITO-Cu膜上形成一層耐酸油墨，該耐酸油墨覆蓋預留的傳感器Cu線區；S12、將形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通過氯化鐵溶液，蝕刻掉未被耐酸油墨覆蓋的Cu區；S13、通過堿性溶液將耐酸油墨脫膜處理，并清洗；S14、在經過步驟S13處理后的ITO-Cu膜上形成一層保護膠，該保護膠覆蓋觸摸傳感器的可視區；S15、采用激光干刻儀蝕刻傳感器Cu線區中多余的Cu、以及該多余的Cu所覆蓋的ITO，以形成Cu膜走線；S16、去除所述保護膠，采用激光干刻儀蝕刻傳感器可視區內的ITO，以形成ITO圖案走線。本發明專利技術提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走線和ITO圖案走線，實現了TPSensor窄邊的設計要求，可在窄邊制作線寬較小的走線。

【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于觸摸領域，尤其涉及一種觸摸傳感器的制作方法。
技術介紹
在現有觸摸屏的結構中，觸摸傳感器(TP Sensor)的制作一般是白光制程采用絲印工藝，具體地先在具有銦錫氧化物(ITO)的膜上絲印耐酸油墨，將需要的ITO部分用耐酸油墨保護起來，然后通過酸性的溶液將不需要的ITO蝕刻掉，接著通過堿性溶液脫去耐酸油墨，最后在TP Sensor的周邊緣絲印銀漿走線，從而與蝕刻后的ITO部分進行電連接；其中，所述絲印銀漿走線的線寬一般在100微米左右。但是,現有觸摸屏的結構已趨向于全屏，TP Sensor的結構也趨向于窄邊設計,從而留給銀漿走線的邊框越來越少，所以銀漿走線的線寬也越來越小，如果銀漿走線的線寬 小于50微米，想要通過絲印的方式來完成銀漿走線的制作已無法實現。因此，白光制程的絲印工藝已跟不上時代的步伐，亟需一種新的制作工藝來滿足窄邊走線的形成。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種觸摸傳感器的制作方法，實現了 TP Sensor窄邊的設計要求，可以在TP Sensor的窄邊制作線寬較小的走線，降低制作難度，節省了成本。本專利技術的目的是通過以下技術方案實現的 一種觸摸傳感器的制作方法，所述方法包括以下步驟 511、在ITO-Cu膜上形成一層耐酸油墨，該耐酸油墨覆蓋預留的傳感器Cu線區； 512、將形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通過氯化鐵溶液，蝕刻掉未被耐酸油墨覆蓋的Cu區； 513、通過堿性溶液將耐酸油墨脫膜處理，并清洗； 514、在經過步驟S13處理后的ITO-Cu膜上形成一層保護膠，該保護膠覆蓋觸摸傳感器的可視區； 515、采用激光干刻儀蝕刻傳感器Cu線區中多余的Cu、以及該多余的Cu所覆蓋的ΙΤ0，以形成Cu膜走線； 516、去除所述保護膠，采用激光干刻儀蝕刻傳感器可視區內的ΙΤ0，以形成ITO圖案走線。本專利技術提供的觸摸傳感器的制作方法，先在ITO-Cu膜上將除預留的傳感器Cu線區蝕刻掉，然后在傳感器的可視區形成保護膠，接著采用激光干刻儀刻蝕Cu線區和ITO圖案區，以形成Cu膜走線和ITO圖案走線。本專利技術提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走線和ITO圖案走線，實現了 TP Sensor窄邊的設計要求,可以在TP Sensor的窄邊制作線寬較小(小于50微米)的走線，降低制作難度，節省了成本。附圖說明圖I是本專利技術實施例提供的觸摸傳感器制作方法的流程示意圖。圖2是本專利技術實施例提供的上線觸摸傳感器的走線結構示意圖。圖3是本專利技術實施例提供的下線觸摸傳感器的走線結構示意圖。具體實施例方式為了使本專利技術所解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合實施例，對本專利技術進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本專利技術，并不用于限定本專利技術。請參考圖I所示，一種觸摸傳感器的制作方法，所述方法包括以下步驟 511、在ITO-Cu膜上形成一層耐酸油墨，該耐酸油墨覆蓋預留的傳感器Cu線區； 512、將形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通過氯化鐵溶液，蝕刻掉未被耐酸油墨覆蓋的Cu區； 513、通過堿性溶液將耐酸油墨脫膜處理，并清洗； 514、在經過步驟S13處理后的ITO-Cu膜上形成一層保護膠，該保護膠覆蓋觸摸傳感器的可視區； 515、采用激光干刻儀蝕刻傳感器Cu線區中多余的Cu、以及該多余的Cu所覆蓋的ΙΤ0，以形成Cu膜走線； 516、去除所述保護膠，采用激光干刻儀蝕刻傳感器可視區內的ΙΤ0，以形成ITO圖案走線。本專利技術提供的觸摸傳感器的制作方法，先在ITO-Cu膜上將除預留的傳感器Cu線區蝕刻掉，然后在傳感器的可視區形成保護膠，接著采用激光干刻儀刻蝕Cu線區和ITO圖案區，以形成Cu膜走線和ITO圖案走線。本專利技術提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走線和ITO圖案走線，實現了 TP Sensor窄邊的設計要求,可以在TP Sensor的窄邊制作線寬較小(小于50微米)的走線，降低制作難度，節省了成本。作為具體的實施方式，所述步驟Sll具體為，在ITO-Cu膜(是一種在氧化銦錫表面整面鍍銅的膜)上絲印一層8-12微米厚的耐酸油墨，覆蓋預留的傳感器Cu線區，并經過光積量為700-900mj/cm2的紫外光固化，具體固化時可在紫外固化機中進行；所述耐酸油墨具體可選用臺灣祥太科技公司提供的型號為ER-110B的油墨。其中，所述耐酸油墨的厚度為8-12微米，可以防止后續制作步驟中過蝕或蝕刻不凈，同時，耐酸油墨的圖案邊緣要平整；當然，本領域的技術人員應當明白，所述耐酸油墨的厚度并不局限于此，可以根據實際的制作工藝進行相應調整，只要能夠保證未被耐酸油墨覆蓋的Cu層被有效蝕刻即可。作為具體的實施方式，所述步驟S12具體為，將形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通過質量百分比為1%_5%氯化鐵溶液噴淋，蝕刻掉未被耐酸油墨覆蓋的Cu線區域，其氯化鐵溶液對ITO層的影響很小；進一步，所述噴淋的時間為50-60秒，壓力為O. 2-0. 3MPa。當然，對所述蝕刻液/噴淋液的具體要求并不局限于此，只要保證不與ITO反應、而只與Cu反應即可，最好是PH值大于6. 5而小于7的溶液；同時，所述噴淋的條件也可以根據制作工藝的實際需要，進行相應的調整，只要能夠保證有效蝕刻即可。作為具體的實施方式，在所述步驟S12之后，進一步包括用純水清洗蝕刻后的ITO-Cu膜，并用風刀吹干，所述風刀的壓力為O. 2-0. 3MPa，以有效去除清洗后ITO-Cu膜上的水。較佳地，還可用方阻測試儀測量被蝕刻區域內ITO的方阻，與膜材產品中介紹的ITO方阻對比，以評估蝕刻的效果。作為具體的實施方式，所述步驟S13具體為，將風干后的ITO-Cu膜通過氫氧化鈉溶液噴淋去除耐酸油墨，所述氫氧化鈉溶液的摩爾濃度為7. 5-8. 5mol/L，噴淋持續的時間為50-60秒，噴淋的壓力為O. 2-0. 3MPa ;其中，所述堿性溶液并不局限于氫氧化鈉，也可以為氫氧化鉀等其它的硬性溶液，所述噴淋的時間和壓力也可以根據制作的實際工藝來進行調整，只要能夠將耐酸油墨有效去除即可。進一步，也可用純水清洗脫膜后的ITO-Cu膜，并用風刀吹干，所述風刀的壓力為O. 2-0. 3MPa，以有效去除清洗后ITO-Cu膜上的水。至此，可以觀察并測量ITO-Cu膜材上Cu線區域的蝕刻尺寸，評估蝕刻效果，氯化鐵溶液一般會出現側蝕現象，只要側蝕的尺寸不超過5微米就行。作為具體的實施方式，所述步驟S14具體為，在經過步驟S13處理后的ITO-Cu膜上形成一層保護膠，該保護膠覆蓋觸摸傳感器的可視區(該區域步驟Sll中所述預留的傳感器Cu線區〃互補，兩者加起來剛好構成一個整面)，避免可視區內的ITO被劃傷或臟污，保 護膠的材料要求具有熱固化性，且容易剝離，并不易留下膠痕。作為一種具體地的實施例，在ITO-Cu膜上絲印一層可剝離保護藍膠，所述可剝離保護藍膠的厚度為30-50微米，由此保護Sensor的可視區。作為具體的實施方式，所述步驟S15具體為，設計Cu線區域的激光干刻走線圖案，根據該走線圖案，采用激光干刻儀蝕刻掉多余的Cu，具體為1、先打開激光器下方的水冷機電源，水冷機的標準溫度為18. 7-19. 3°C，水冷系統打開后等待約20分鐘，待水本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：S11、在ITO？Cu膜上形成一層耐酸油墨，該耐酸油墨覆蓋預留的傳感器Cu線區；S12、將形成有耐酸油墨的ITO？Cu膜通過氯化鐵溶液，蝕刻掉未被耐酸油墨覆蓋的Cu區；S13、通過堿性溶液將耐酸油墨脫膜處理，并清洗；S14、在經過步驟S13處理后的ITO？Cu膜上形成一層保護膠，該保護膠覆蓋觸摸傳感器的可視區；S15、采用激光干刻儀蝕刻傳感器Cu線區中多余的Cu、以及該多余的Cu所覆蓋的ITO，以形成Cu膜走線；S16、去除所述保護膠，采用激光干刻儀蝕刻傳感器可視區內的ITO，以形成ITO圖案走線。

【技術特征摘要】
1.一種觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟 511、在ITO-Cu膜上形成一層耐酸油墨，該耐酸油墨覆蓋預留的傳感器Cu線區； 512、將形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通過氯化鐵溶液，蝕刻掉未被耐酸油墨覆蓋的Cu區； 513、通過堿性溶液將耐酸油墨脫膜處理，并清洗； 514、在經過步驟S13處理后的ITO-Cu膜上形成一層保護膠，該保護膠覆蓋觸摸傳感器的可視區； 515、采用激光干刻儀蝕刻傳感器Cu線區中多余的Cu、以及該多余的Cu所覆蓋的ΙΤ0，以形成Cu膜走線； 516、去除所述保護膠，采用激光干刻儀蝕刻傳感器可視區內的ΙΤ0，以形成ITO圖案走線。2.根據權利要求I所述的觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，所述步驟Sll具體為，在ITO-Cu膜上絲印一層8-12微米厚的耐酸油墨，并經紫外光固化。3.根據權利要求I所述的觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，所述步驟S12具體為，將形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通過質量百分比為1%_5%氯化鐵溶液噴淋。4.根據權利要求3所述的觸摸傳感器的制作方法，其特征在于，所述噴淋的時間為50-60 秒，壓力為 O. 2-0. 3MPa。5.根據權利要求I所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：步歡歡，
申請(專利權)人：比亞迪股份有限公司，
類型：發明
國別省市：