本實用新型專利技術公開了一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，包括箱體，所述箱體左側壁靠近頂部的位置從上到下依次設置有液泵和電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的右端設置有噴淋管，所述箱體左側壁靠近頂部的位置設置有三通閥，所述三通閥的外側設置有進液管，且進液管設有兩個，兩個所述進液管遠離三通閥的一端貫穿箱體左側壁靠近底部的位置并延伸至箱體的內部，使液泵工作通過三通閥、進液管和噴淋管將研磨液噴灑在物品的上表面，通過研磨裝置對物品進行研磨，觀察物品研磨表面的研磨情況能夠對研磨液的效果進行判斷，通過三通閥能夠改變進液管的進液位置，能夠對研磨液進行循環使用，得知研磨液多次使用后的研磨情況。研磨液多次使用后的研磨情況。研磨液多次使用后的研磨情況。
【技術實現步驟摘要】
一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置
[0001]本技術屬于研磨液加工設備
，具體涉及一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置。
技術介紹
[0002]研磨液主要適用于超硬材料、硬質合金等硬質材料的研磨拋光，既可以提高磨削速率，又可以將磨削過程中產生的大量熱量迅速排走，從而避免工件表面被燒傷。
[0003]納米晶圓研磨液在加工完成后，通常需要對研磨液的使用效果進行測試，從而能夠對研磨液的效果有準確的了解，目前市面上的研磨液測試裝置對研磨液進行測試時，工作效率較低，且測試功能較為單一，對研磨液進行單次研磨測試，為此我們提出一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置。
技術實現思路
[0004]本技術的目的在于提供一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
[0005]為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，包括箱體，所述箱體左側壁靠近頂部的位置從上到下依次設置有液泵和電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的右端設置有噴淋管，所述箱體左側壁靠近頂部的位置設置有三通閥，所述液泵均與噴淋管和三通閥相連通，所述三通閥的外側設置有進液管，且進液管設有兩個，兩個所述進液管遠離三通閥的一端貫穿箱體左側壁靠近底部的位置并延伸至箱體的內部，所述箱體內側壁靠近中的位置設置有安裝桿，且安裝桿設有六個，六個所述安裝桿相互靠近的一端設置有安裝板，所述安裝板的上表面設有夾緊機構，所述箱體的內部設有過濾機構和振動機構，所述箱體內頂壁的中部設置有研磨裝置主體。
[0006]優選的，所述夾緊機構包括安裝塊，且安裝塊設有兩個，兩個所述安裝塊分別設置在安裝板上表面的兩側，兩個所述安裝塊相互靠近的表面均設置有套桿，且套桿設有六個，六個所述套桿的內部均設置有夾緊彈簧，六個所述夾緊彈簧遠離安裝塊的一端均設置有夾緊桿，每三個所述夾緊桿遠離安裝塊的一端設置有夾緊板，兩個所述夾緊板遠離安裝塊的表面均設置有防滑墊。
[0007]優選的，所述過濾機構包括固定塊，且固定塊設有四個，四個所述固定塊設置在箱體內中部的四角處，四個所述固定塊的內底壁均設置有復位彈簧，四個所述復位彈簧的頂端均設置有連接塊，且四個連接塊的底部分別滑動連接在四個固定塊的內部，四個所述連接塊的頂部設置有過濾網。
[0008]優選的，所述振動機構包括電機，且電機通過機箱設置在箱體后表面靠近中部的位置，所述電機的輸出軸通過聯軸器傳動連接有轉動軸，且轉動軸的前端貫穿箱體的后表面并延伸至箱體的內部，所述轉動軸位于過濾網的下方，所述轉動軸外表面靠近兩端的位置均設置有橢圓塊，且兩個橢圓塊的外表面均設置有緩沖墊。
[0009]優選的，所述箱體內靠近底部的位置設置有隔板，下方所述進液管的下端位于隔板的上方，所述箱體右側壁靠近底部的位置設置有排液管，且兩個排液管分別位于隔板的上方和下方，兩個所述排液管內部的左端設置有密封閥。
[0010]優選的，所述箱體正表面的頂部轉動連接有密封門，所述密封門正表面的左側設置有把手，所述密封門正表面的中部設置有觀察窗，所述安裝板上表面的邊緣處開設有漏液口，且漏液口設有多個。
[0011]與現有技術相比，本技術的有益效果是：
[0012](1)、該納米晶圓研磨液加工用測試裝置，通過設置的夾緊機構將物品固定在安裝板上表面，使液泵工作通過三通閥、進液管和噴淋管將研磨液噴灑在物品的上表面，通過研磨裝置對物品進行研磨，觀察物品研磨表面的研磨情況能夠對研磨液的效果進行判斷，通過三通閥能夠改變進液管的進液位置，能夠對研磨液進行循環使用，得知研磨液多次使用后的研磨情況。
[0013](2)、該納米晶圓研磨液加工用測試裝置，通過設置的過濾機構對研磨液使用后的研磨液進行過濾，使電機工作，通過轉動軸能夠帶動橢圓塊轉動，配合復位彈簧能夠使過濾網進行往復振動，對使用后的研磨液進行過濾，避免研磨液中的雜質和碎屑對后續研磨液的測試造成影響。
附圖說明
[0014]圖1為本技術的立體結構示意圖；
[0015]圖2為本技術中夾緊機構的立體爆炸圖；
[0016]圖3為本技術的正剖視圖；
[0017]圖4為本技術的圖3中A處的結構放大圖；
[0018]圖5為本技術的側剖視圖。
[0019]圖中：1、箱體；2、安裝桿；3、安裝板；4、夾緊機構；401、安裝塊；402、套桿；403、夾緊彈簧；404、夾緊桿；405、夾緊板；5、過濾機構；501、固定塊；502、復位彈簧；503、連接塊；504、過濾網；6、振動機構；601、電機；602、轉動軸；603、橢圓塊；7、隔板；8、液泵；9、電動伸縮桿；10、噴淋管；11、三通閥；12、進液管；13、密封門；14、排液管。
具體實施方式
[0020]下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0021]請參閱圖1
?
圖5，本技術提供一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，包括箱體1，箱體1左側壁靠近頂部的位置從上到下依次設置有液泵8和電動伸縮桿9，電動伸縮桿9的右端設置有噴淋管10，箱體1左側壁靠近頂部的位置設置有三通閥11，液泵8均與噴淋管10和三通閥11相連通，三通閥11的外側設置有進液管12，且進液管12設有兩個，兩個進液管12遠離三通閥11的一端貫穿箱體1左側壁靠近底部的位置并延伸至箱體1的內部，箱體1內側壁靠近中的位置設置有安裝桿2，且安裝桿2設有六個，六個安裝桿2相互靠近的一端設置有
安裝板3，安裝板3的上表面設有夾緊機構4，箱體1的內部設有過濾機構5和振動機構6，箱體1內頂壁的中部設置有研磨裝置主體。
[0022]本實施例中，優選的，夾緊機構4包括安裝塊401，且安裝塊401設有兩個，兩個安裝塊401分別設置在安裝板3上表面的兩側，兩個安裝塊401相互靠近的表面均設置有套桿402，且套桿402設有六個，六個套桿402的內部均設置有夾緊彈簧403，六個夾緊彈簧403遠離安裝塊401的一端均設置有夾緊桿404，每三個夾緊桿404遠離安裝塊401的一端設置有夾緊板405，兩個夾緊板405遠離安裝塊401的表面均設置有防滑墊，通過設置的安裝塊401對套桿402進行安裝，當需要對物品進行安裝時，通過夾緊彈簧403的彈力能夠帶動夾緊桿404移動，從而能夠帶動夾緊板405向著靠近物品的方向進行移動，對物品進行夾緊固定，增加物品的穩定性。
[0023]本實施例中，優選的，過濾機構5包括固定塊501，且固定塊501設有四個，四個固定塊501設置在箱體1內中部的四角處，四個固定塊501的內底壁均設置有復位彈簧502，四個復位彈簧502的頂端均設置有連接塊503，且四個連接塊503的底部分別滑動連接在四個固定塊本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)左側壁靠近頂部的位置從上到下依次設置有液泵(8)和電動伸縮桿(9)，所述電動伸縮桿(9)的右端設置有噴淋管(10)，所述箱體(1)左側壁靠近頂部的位置設置有三通閥(11)，所述液泵(8)均與噴淋管(10)和三通閥(11)相連通，所述三通閥(11)的外側設置有進液管(12)，且進液管(12)設有兩個，兩個所述進液管(12)遠離三通閥(11)的一端貫穿箱體(1)左側壁靠近底部的位置并延伸至箱體(1)的內部，所述箱體(1)內側壁靠近中的位置設置有安裝桿(2)，且安裝桿(2)設有六個，六個所述安裝桿(2)相互靠近的一端設置有安裝板(3)，所述安裝板(3)的上表面設有夾緊機構(4)，所述箱體(1)的內部設有過濾機構(5)和振動機構(6)，所述箱體(1)內頂壁的中部設置有研磨裝置主體。2.根據權利要求1所述的一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，其特征在于：所述夾緊機構(4)包括安裝塊(401)，且安裝塊(401)設有兩個，兩個所述安裝塊(401)分別設置在安裝板(3)上表面的兩側，兩個所述安裝塊(401)相互靠近的表面均設置有套桿(402)，且套桿(402)設有六個，六個所述套桿(402)的內部均設置有夾緊彈簧(403)，六個所述夾緊彈簧(403)遠離安裝塊(401)的一端均設置有夾緊桿(404)，每三個所述夾緊桿(404)遠離安裝塊(401)的一端設置有夾緊板(405)，兩個所述夾緊板(405)遠離安裝塊(401)的表面均設置有防滑墊。3.根據權利要求1所述的一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，其特征在于：所述過濾機構(5)包括...
【專利技術屬性】
技術研發人員：謝長義，
申請(專利權)人：合肥長天化學技術有限公司，
類型：新型
國別省市：
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