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本實用新型公開了一種納米晶圓研磨液加工用測試裝置，包括箱體，所述箱體左側壁靠近頂部的位置從上到下依次設置有液泵和電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的右端設置有噴淋管，所述箱體左側壁靠近頂部的位置設置有三通閥，所述三通閥的外側設置有進液管，且進液管設...
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