一種改進型的半導體材料生產技術設備制造技術

本發明專利技術公開了一種改進型的半導體材料生產技術設備，包括主機體，所述主機體內設有清洗腔，所述主機體左側端面內設有與所述清洗腔連通設置的開口槽，所述清洗腔上側的所述主機體內設有第一空腔，所述第一空腔右側的所述主機體內設有第二空腔，所述清洗腔右側的所述主機體內設有第三空腔，所述第三空腔位于所述第二空腔下側位置，所述清洗腔內滑動配合連接有升降架體，所述第一空腔內轉動配合連接有上下延伸設置的內螺紋套，所述內螺紋套底部末端與所述清洗腔頂部相通設置，所述內螺紋套內螺紋配合連接有向下延伸設置的升降螺桿，所述升降螺桿底部延伸末端與所述升降架體頂部端面固定配合連接。

An Improved Semiconductor Material Production Technology and Equipment

The invention discloses an improved semiconductor material production technical equipment, including a main body, which is provided with a cleaning chamber, an opening groove connected with the cleaning chamber on the left end face of the main body, a first cavity in the main body on the upper side of the cleaning chamber, a second cavity in the main body on the right side of the first cavity, and the cleaning. The main body on the right side of the cavity is provided with a third cavity, the third cavity is located at the lower side of the second cavity, the sliding fit of the cleaning cavity is connected with a lifting frame, the rotation fit of the first cavity is connected with an inner thread sleeve with an upper and lower extension, the bottom end of the inner thread sleeve is connected with the top of the cleaning cavity, and the inner thread sleeve is connected with each other. The bottom extension end of the lifting screw is fixed and matched with the top end face of the lifting frame body.

【技術實現步驟摘要】
一種改進型的半導體材料生產技術設備
本專利技術涉及半導體清洗加工
，具體為一種改進型的半導體材料生產技術設備。
技術介紹
隨著高科技時代進步，計算機及筆記本電腦等可攜式電子裝置廣為社會大眾應用，而半導體制造不論是在硅晶圓、集成電路制造還是IC芯片構裝等，生產制造過程均相當繁雜，并在制造過程中所使用的化學物質種類亦相當多，而這些化學物質或溶劑的殘留不僅會于生產制造過程中對空氣造成污染，而且還會對硅晶圓、集成電路或IC芯片的合格率產生巨大影響，為了提高半導體制造的產品合格率，在半導體的清洗過程中,即必須確保半導體上面的化學物質已清洗干凈，不能有任何的化學物質殘留，傳統的清洗設備價格昂貴，占地面積大，不利于中小企業生產使用，且高額維護成本會對半導體工廠獲利產生巨大的影響。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種改進型的半導體材料生產技術設備，用于克服現有技術中的上述缺陷。根據本專利技術的一種改進型的半導體材料生產技術設備，包括主機體，所述主機體內設有清洗腔，所述主機體左側端面內設有與所述清洗腔連通設置的開口槽，所述清洗腔上側的所述主機體內設有第一空腔，所述第一空腔右側的所述主機體內設有第二空腔，所述清洗腔右側的所述主機體內設有第三空腔，所述第三空腔位于所述第二空腔下側位置，所述清洗腔內滑動配合連接有升降架體，所述第一空腔內轉動配合連接有上下延伸設置的內螺紋套，所述內螺紋套底部末端與所述清洗腔頂部相通設置，所述內螺紋套內螺紋配合連接有向下延伸設置的升降螺桿，所述升降螺桿底部延伸末端與所述升降架體頂部端面固定配合連接，所述第一空腔內的所述內螺紋套外壁上周向固設有第一錐輪，所述第一空腔與所述第二空腔之間的部分內轉動配合連接有左右延伸設置的轉動軸，所述轉動軸左側延伸末端伸入所述第一空腔內且左側延伸末端處固設有用以與所述第一錐輪動力配合連接的第二錐輪，所述轉動軸右側延伸末端伸入所述第二空腔內且右側延伸末端處固設有第三錐輪，所述第二空腔與所述第三空腔之間的部分內轉動配合連接有上下延伸設置的內花鍵轉套，所述內花鍵轉套頂部延伸末端伸入所述第二空腔內且頂部延伸末端處固設有用以與所述第三錐輪動力配合連接的第四錐輪，所述第三空腔內滑動配合連接調節滑塊，所述調節滑塊內螺紋配合連接有上下延伸設置的調節螺桿，所述調節螺桿底部延伸末端與調節電機動力配合連接，所述調節滑塊左側端面內固設有齒條部，所述內花鍵轉套底部端面內滑動配合連接有向下延伸設置的外花鍵軸，所述外花鍵軸底部延伸末端伸入所述第三空腔內且末端處動力連接有驅動電機，所述驅動電機外表面固嵌于所述調節滑塊頂部端面內，所述清洗腔與所述第三空腔之間連通設有貫通槽，所述貫通槽內轉動配合連接有調節齒輪，所述調節齒輪右側末端與所述齒條部動力配合連接，所述調節齒輪上固設有頂壓凸塊，所述主機體頂端還設置有照明裝置。進一步的技術方案，所述調節電機外表面嵌于所述第三空腔內底壁內，且與之固定配合連接，所述調節螺桿頂部延伸末端與所述第三空腔內頂壁轉動配合連接。進一步的技術方案，所述升降架體左側端面內設有容納槽，所述容納槽右側內壁內設有沉槽，所述容納槽內滑動配合連接有儲納框，所述儲納框內設有多組等距排布設置的安接座，所述儲納框右側末端固設有斜面鎖滑塊，所述斜面鎖滑塊頂部端面內設有鎖緊槽，所述沉槽內頂壁內連通設有鎖滑槽，所述鎖滑槽內滑動配合連接有斜面鎖定塊，所述斜面鎖定塊頂部端面與所述鎖滑槽內頂壁之間固設有頂壓彈簧，所述升降架體的右側端面內嵌入凹槽，所述嵌入凹槽與所述鎖滑槽之間的部分連通設有導滑槽，所述導滑槽內滑動配合連接有左右延伸設置的導滑塊，所述導滑塊左側延伸末端伸入所述鎖滑槽內且與所述斜面鎖定塊右側端面固定配合連接，所述導滑塊右側延伸末端伸入所述嵌入凹槽內，且與之滑動配合連接。進一步的技術方案，所述升降架體頂部端面內左右對稱設有與所述容納槽連通設置的孔槽，所述清洗腔內頂壁左右對稱設有與所述孔槽相對設置的噴氣頭。進一步的技術方案，所述照明裝置包括固定安裝在所述主機體頂部端面左側處的燈座體，所述燈座體上設有照明燈體。本專利技術的有益效果是：本專利技術結構簡單，操作方便，通過主機體內設清洗腔，主機體左側端面內設與清洗腔連通設置的開口槽，清洗腔上側的主機體內設第一空腔，第一空腔右側的主機體內設第二空腔，清洗腔右側的主機體內設第三空腔，第三空腔位于第二空腔下側位置，清洗腔內滑動配合連接升降架體，第一空腔內轉動配合連接上下延伸設置的內螺紋套，內螺紋套底部末端與清洗腔頂部相通設置，內螺紋套內螺紋配合連接向下延伸設置的升降螺桿，升降螺桿底部延伸末端與升降架體頂部端面固定配合連接，第一空腔內的內螺紋套外壁上周向固設第一錐輪，第一空腔與第二空腔之間的部分內轉動配合連接左右延伸設置的轉動軸，轉動軸左側延伸末端伸入第一空腔內且左側延伸末端處固設用以與第一錐輪動力配合連接的第二錐輪，轉動軸右側延伸末端伸入第二空腔內且右側延伸末端處固設第三錐輪，第二空腔與第三空腔之間的部分內轉動配合連接上下延伸設置的內花鍵轉套，內花鍵轉套頂部延伸末端伸入第二空腔內且頂部延伸末端處固設用以與第三錐輪動力配合連接的第四錐輪，第三空腔內滑動配合連接調節滑塊，調節滑塊內螺紋配合連接上下延伸設置的調節螺桿，調節螺桿底部延伸末端與調節電機動力配合連接，調節滑塊左側端面內固設齒條部，內花鍵轉套底部端面內滑動配合連接向下延伸設置的外花鍵軸，外花鍵軸底部延伸末端伸入第三空腔內且末端處動力連接驅動電機，驅動電機外表面固嵌于調節滑塊頂部端面內，清洗腔與第三空腔之間連通設貫通槽，貫通槽內轉動配合連接調節齒輪，調節齒輪右側末端與齒條部動力配合連接，調節齒輪上固設頂壓凸塊，從而實現實現自動控制快速安裝以及鎖定工作，方便高效穩固的清洗工作，同時，能實現自動控制解鎖工作以及自動控制快速烘干工作，大大提高了工作效率，且制造和維護成本低。附圖說明圖1是本專利技術中一種改進型的半導體材料生產技術設備外部整體結構示意圖；圖2是本專利技術中一種改進型的半導體材料生產技術設備內部整體結構示意圖；圖3是本專利技術中升降架體內部結構示意圖。具體實施方式下面結合圖1-3對本專利技術進行詳細說明。參照圖1-3，根據本專利技術的實施例的一種改進型的半導體材料生產技術設備，包括主機體6，所述主機體6內設有清洗腔61，所述主機體6左側端面內設有與所述清洗腔61連通設置的開口槽66，所述清洗腔61上側的所述主機體6內設有第一空腔62，所述第一空腔62右側的所述主機體6內設有第二空腔63，所述清洗腔61右側的所述主機體6內設有第三空腔64，所述第三空腔64位于所述第二空腔63下側位置，所述清洗腔61內滑動配合連接有升降架體7，所述第一空腔62內轉動配合連接有上下延伸設置的內螺紋套621，所述內螺紋套621底部末端與所述清洗腔61頂部相通設置，所述內螺紋套621內螺紋配合連接有向下延伸設置的升降螺桿622，所述升降螺桿622底部延伸末端與所述升降架體7頂部端面固定配合連接，所述第一空腔62內的所述內螺紋套621外壁上周向固設有第一錐輪623，所述第一空腔62與所述第二空腔63之間的部分內轉動配合連接有左右延伸設置的轉動軸625，所述轉動軸625左側延伸末端伸入所述第一空腔62內且左側延伸末端處固設有用以與所述第一錐輪623動力配本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種改進型的半導體材料生產技術設備，包括主機體，其特征在于：所述主機體內設有清洗腔，所述主機體左側端面內設有與所述清洗腔連通設置的開口槽，所述清洗腔上側的所述主機體內設有第一空腔，所述第一空腔右側的所述主機體內設有第二空腔，所述清洗腔右側的所述主機體內設有第三空腔，所述第三空腔位于所述第二空腔下側位置，所述清洗腔內滑動配合連接有升降架體，所述第一空腔內轉動配合連接有上下延伸設置的內螺紋套，所述內螺紋套底部末端與所述清洗腔頂部相通設置，所述內螺紋套內螺紋配合連接有向下延伸設置的升降螺桿，所述升降螺桿底部延伸末端與所述升降架體頂部端面固定配合連接，所述第一空腔內的所述內螺紋套外壁上周向固設有第一錐輪，所述第一空腔與所述第二空腔之間的部分內轉動配合連接有左右延伸設置的轉動軸，所述轉動軸左側延伸末端伸入所述第一空腔內且左側延伸末端處固設有用以與所述第一錐輪動力配合連接的第二錐輪，所述轉動軸右側延伸末端伸入所述第二空腔內且右側延伸末端處固設有第三錐輪，所述第二空腔與所述第三空腔之間的部分內轉動配合連接有上下延伸設置的內花鍵轉套，所述內花鍵轉套頂部延伸末端伸入所述第二空腔內且頂部延伸末端處固設有用以與所述第三錐輪動力配合連接的第四錐輪，所述第三空腔內滑動配合連接調節滑塊，所述調節滑塊內螺紋配合連接有上下延伸設置的調節螺桿，所述調節螺桿底部延伸末端與調節電機動力配合連接，所述調節滑塊左側端面內固設有齒條部，所述內花鍵轉套底部端面內滑動配合連接有向下延伸設置的外花鍵軸，所述外花鍵軸底部延伸末端伸入所述第三空腔內且末端處動力連接有驅動電機，所述驅動電機外表面固嵌于所述調節滑塊頂部端面內，所述清洗腔與所述第三空腔之間連通設有貫通槽，所述貫通槽內轉動配合連接有調節齒輪，所述調節齒輪右側末端與所述齒條部動力配合連接，所述調節齒輪上固設有頂壓凸塊，所述主機體頂端還設置有照明裝置。...

【技術特征摘要】
1.一種改進型的半導體材料生產技術設備，包括主機體，其特征在于：所述主機體內設有清洗腔，所述主機體左側端面內設有與所述清洗腔連通設置的開口槽，所述清洗腔上側的所述主機體內設有第一空腔，所述第一空腔右側的所述主機體內設有第二空腔，所述清洗腔右側的所述主機體內設有第三空腔，所述第三空腔位于所述第二空腔下側位置，所述清洗腔內滑動配合連接有升降架體，所述第一空腔內轉動配合連接有上下延伸設置的內螺紋套，所述內螺紋套底部末端與所述清洗腔頂部相通設置，所述內螺紋套內螺紋配合連接有向下延伸設置的升降螺桿，所述升降螺桿底部延伸末端與所述升降架體頂部端面固定配合連接，所述第一空腔內的所述內螺紋套外壁上周向固設有第一錐輪，所述第一空腔與所述第二空腔之間的部分內轉動配合連接有左右延伸設置的轉動軸，所述轉動軸左側延伸末端伸入所述第一空腔內且左側延伸末端處固設有用以與所述第一錐輪動力配合連接的第二錐輪，所述轉動軸右側延伸末端伸入所述第二空腔內且右側延伸末端處固設有第三錐輪，所述第二空腔與所述第三空腔之間的部分內轉動配合連接有上下延伸設置的內花鍵轉套，所述內花鍵轉套頂部延伸末端伸入所述第二空腔內且頂部延伸末端處固設有用以與所述第三錐輪動力配合連接的第四錐輪，所述第三空腔內滑動配合連接調節滑塊，所述調節滑塊內螺紋配合連接有上下延伸設置的調節螺桿，所述調節螺桿底部延伸末端與調節電機動力配合連接，所述調節滑塊左側端面內固設有齒條部，所述內花鍵轉套底部端面內滑動配合連接有向下延伸設置的外花鍵軸，所述外花鍵軸底部延伸末端伸入所述第三空腔內且末端處動力連接有驅動電機，所述驅動電機外表面固嵌于所述調節滑塊頂部端面內，所述清洗腔...

【專利技術屬性】
技術研發人員：何冠閱，
申請(專利權)人：何冠閱，
類型：發明
國別省市：天津,12