一種集成模板制備裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術公開了一種集成模板制備裝置，包括加工機體以及設置在所述加工機體內左右貫通的輸送腔，所述加工機體內自左而右依次設有開口向下且與所述輸送腔連通的金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽，所述加工機體內設有開口向上且與所述輸送腔連通的第二導滑槽，所述第二導滑槽前后內壁內連通設有相對稱且沿所述第二導滑槽延伸的導軌槽，所述第二導滑槽后端內壁上設有位于所述金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽中心線正下方的第一位移感應器；本發明專利技術結構簡單，操作方便，加工精準，同時，提高了集成芯片加工效率以及效果。

An Integrated Template Fabrication Device

The invention discloses an integrated template preparation device, which comprises a processing body and a conveying chamber arranged in the processing body to run through left and right. The processing body is provided with a metal sputtering chamber, a coating photoresist chamber, a photolithography chamber and a first sliding groove connected with the conveying chamber from left to right in turn. The processing body is provided with an opening up and connected with the conveying chamber. Through the second guide chute, the inner wall of the second guide chute is connected with a relatively symmetrical guide chute extending along the second guide chute, and the inner wall of the rear end of the second guide chute is provided with a first displacement inductor positioned directly below the metal sputtering cavity, the coated photoresist cavity, the photoetching cavity and the center line of the first guide chute. At the same time, the efficiency and effect of integrated chip processing are improved.

【技術實現步驟摘要】
一種集成模板制備裝置
本專利技術涉及集成芯片加工
，具體是一種集成模板制備裝置。
技術介紹
目前集成芯片已經成為全球電子產品必備核心電子元件，對于集成芯片的加工也具有一定的嚴格要求，一般的、傳統的集成芯片封裝設備采用粗糙的加工程序，操作復雜，會造成不可挽回的效果，各個工藝之間配合不恰當，影響芯片性能，同時，由于加工位置不穩定，導致各個工藝效果不佳，各層電路之間斷裂或者短路等現象，因此，目前急需一種集成模板制備裝置。
技術實現思路
本專利技術所要解決的技術問題是提供一種集成模板制備裝置，其能夠解決上述現在技術中的問題。本專利技術是通過以下技術方案來實現的：本專利技術的一種集成模板制備裝置，包括加工機體以及設置在所述加工機體內左右貫通的輸送腔，所述加工機體內自左而右依次設有開口向下且與所述輸送腔連通的金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽，所述加工機體內設有開口向上且與所述輸送腔連通的第二導滑槽，所述第二導滑槽前后內壁內連通設有相對稱且沿所述第二導滑槽延伸的導軌槽，所述第二導滑槽后端內壁上設有位于所述金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽中心線正下方的第一位移感應器，所述第二導滑槽內滑動配合連接有芯片基底固定臺，所述芯片基底固定臺頂部設有開口向上的固件槽，所述芯片基底固定臺內設有第一空腔，所述第一空腔內設有窩動驅動機構，所述芯片基底固定臺后端端面上設有用以與所述第一位移感應器相感應的第二位移感應器，所述金屬濺鍍腔內周向連通設有環形槽，所述環形槽內滑動配合連接有內齒空心轉輪，所述金屬濺鍍腔頂部內壁內嵌設有第一電動機，所述第一電動機底部末端動力連接有用以與所述內齒空心轉輪齒合連接的齒轉輪，所述內齒空心轉輪內固定連接有位于所述齒轉輪底部的固定塊，所述固定塊內設有開口向下的第三導滑槽，所述第三導滑槽內滑動配合連接有第一導滑塊，所述第一導滑塊內螺紋配合連接有左右延伸的調節螺紋桿，所述調節螺紋桿右端延伸末端與所述第三導滑槽右端內壁轉動配合連接，所述調節螺紋桿左端延伸末端動力連接有第二電動機，所述第二電動機外表面嵌設于所述第三導滑槽左端內壁內且與之固定連接，所述第一導滑塊內嵌設有第一液壓機，所述第一液壓機底部末端動力連接有向下延伸的第一液壓伸縮桿，所述第一液壓伸縮桿底部固定連接有金屬濺鍍頭組件，所述涂布光阻腔頂部內壁內嵌設有第二液壓機，所述第二液壓機底部末端動力連接有向下延伸的第二液壓伸縮桿，所述第二液壓伸縮桿底部延伸末端固定連接有光阻材料儲存體，所述光阻儲存體底部端面設有毛刷，所述光刻腔內頂部內壁內上設有光源，所述光刻腔內設有位于所述光源底部的石英玻璃片，所述石英玻璃片上自下而上依次鍍有金屬鉻和感光膠，所述第一導滑槽內滑動配合連接有離子束刻蝕機體，所述離子束刻蝕機體頂部端面內嵌設有第三電動機，所述第一導滑槽頂部內壁體內螺紋配合連接有上下延伸的升降螺紋桿，所述升降螺紋桿底部延伸末端伸進所述第一導滑槽內并與所述第三電動機頂部末端動力連接，所述離子束刻蝕機體內設有開口向下的離子束腔，所述離子束腔頂部內壁內嵌設有噴射口向下的離子束發射機，所述離子束腔左右內壁上設有相對應的引出加速系統所述離子束腔內設有位于所述引出加速系統底部的自動定位刻蝕系統，所述離子束刻蝕機體內設有位于所述離子束腔左端內壁內的抽氣泵，所述抽氣泵右端末端與所述離子束腔連通，所述加工機體左側端面還設置有照明裝置。作為優選地技術方案，窩動驅動機構包括設置在所述第一空腔內前后延伸且與渦輪固定連接的第一轉動軸以及嵌設在所述第一空腔左端內壁內的第四電動機，所述第四電動機右端末端動力連接向右延伸的渦桿，所述渦桿右端延伸末端與所述第一空腔右端內壁轉動配合連接，所述渦桿位于所述渦輪頂部并與之動力連接，所述第一轉動軸前后延伸末端貫穿并伸出所述芯片基底固定臺前后端面，所述第一轉動軸前后延伸末端固定連接有用以與所述軌道槽動力連接且相對稱的齒輪，所述芯片基底固定臺內設有位于所述第四電動機左端的位移控制器，所述位移控制器與所述第四電動機和位移感應器電聯。作為優選地技術方案，金屬濺鍍頭組件包括固定連接在所述第一液壓伸縮桿底部末端的金屬粉末儲存體以及與設置在所述金屬粉末儲存體左端且上下延伸的噴射管，所述金屬粉末儲存體內設有金屬粉末儲存腔，所述第一液壓伸縮桿內設有上下延伸并與所述金屬粉末腔連通的第一吸附管，所述第一液壓伸縮桿內設有與所述第一吸附管連通且向左延伸第二吸附管，所述第二吸附管左端延伸末端與所述噴射管右端連通，所述噴射管頂部末端設有第五電動機，所述第五電動機底部末端動力連接有位于所述噴射管內的出氣葉片。作為優選地技術方案，自動定位刻蝕系統包括固定連接在所述離子束腔內壁上的支撐板以及設置在所述支撐板內的開口向下的圓形凹槽，所述圓形凹槽頂部內壁上設有永磁鐵，所述永磁鐵底部磁力連接有永磁塊，所述圓形凹槽周向內壁上設有間隔相等若干電磁鐵，所述電磁鐵與所述永磁塊動力連接，所述離子束刻蝕機體內設有位于所述支撐板右端的電磁智能控制器，所述電磁智能控制器與所述電磁鐵電聯，所述永磁塊內設有噴口向下的離子束噴水頭，所述離子束噴水頭右端連通設有金屬軟管，所述圓形凹槽頂部內內壁內貫通設有連通管，所述連通管與所述金屬軟管另一端連通連接。作為優選地技術方案，所述照明裝置包括固定安裝在所述加工機體左側端面上側位置處的燈架體，所述燈架體左側端面固設有照明燈體。本專利技術的有益效果是：由于本專利技術設備在初始狀態時，所述芯片基底固定臺位于所述輸送槽最左端，所述第一導滑塊位于所述第三導滑槽中部，所述第一液壓伸縮桿收縮至最短狀態，使所述金屬濺鍍頭組件完全位于所述金屬濺渡腔內，所述第二液壓伸縮桿收縮至最短狀態，使所述光阻材料儲存體完全位于光阻涂布腔內，所述光源關閉狀態，所述離子束蝕刻機體位于所述第一導滑槽最頂部，所述永磁塊位于所述圓形凹槽中心，從而利于裝置的維護和保養。當需要用本專利技術設備加工集成芯片工作時，在所述固件槽內放置半導體集成圓片，啟動所述第四電動機，所述第四電動機帶動所述渦桿轉動，所述渦桿帶動所述渦輪轉動，所述渦輪帶動所述第一轉動軸轉動，所述第一轉動軸帶動所述齒輪轉動，從而驅動芯片基底固定座右移，當所述第二位移感應器與位于所述金屬濺渡腔下方的所述第一位移感應器相抵接時，所述位移控制器控制所述第四電動機停止運轉，同時，啟動所述第一液壓機使所述第一液壓桿伸長，所述第一液壓桿帶動所述金屬濺渡頭接近所述半導體集成圓片，控制所述第一液壓機停止運轉，此時，啟動所述第一電動機、所述第二電動機和所述第五電動機，使所述金屬濺渡頭組件在半導體集成圓片上方空間內最大范圍濺渡金屬，從而增加金屬材料的濺渡效率和效果。當完成金屬濺渡后需要涂布光阻時，啟動所述第四電動機急需帶動所述芯片基底固定座右移，當位于光阻涂布腔正下方時，控制所述第四電動機停止轉動，同時，啟動所述第二液壓機運轉使光阻材料儲存體下移當所述毛刷接觸到所述半導體半圓片時，開始涂刷光阻，從而提高了光阻涂布的效果和效率。當完成光阻涂布需要光罩時，所述第四電動機帶動所述芯片基底固定座繼續移動至所述光罩腔正下方時，啟動所述光源開始光刻，將不需要的光阻材料破壞，從而提高了提高了光阻材料的去除精準度。當完成光罩需要離子束刻蝕時，所述第四電動機帶動所述芯片基底固定座繼續移動至所述第一導滑槽本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種集成模板制備裝置，包括加工機體以及設置在所述加工機體內左右貫通的輸送腔，其特征在于：所述加工機體內自左而右依次設有開口向下且與所述輸送腔連通的金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽，所述加工機體內設有開口向上且與所述輸送腔連通的第二導滑槽，所述第二導滑槽前后內壁內連通設有相對稱且沿所述第二導滑槽延伸的導軌槽，所述第二導滑槽后端內壁上設有位于所述金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽中心線正下方的第一位移感應器，所述第二導滑槽內滑動配合連接有芯片基底固定臺，所述芯片基底固定臺頂部設有開口向上的固件槽，所述芯片基底固定臺內設有第一空腔，所述第一空腔內設有窩動驅動機構，所述芯片基底固定臺后端端面上設有用以與所述第一位移感應器相感應的第二位移感應器，所述金屬濺鍍腔內周向連通設有環形槽，所述環形槽內滑動配合連接有內齒空心轉輪，所述金屬濺鍍腔頂部內壁內嵌設有第一電動機，所述第一電動機底部末端動力連接有用以與所述內齒空心轉輪齒合連接的齒轉輪，所述內齒空心轉輪內固定連接有位于所述齒轉輪底部的固定塊，所述固定塊內設有開口向下的第三導滑槽，所述第三導滑槽內滑動配合連接有第一導滑塊，所述第一導滑塊內螺紋配合連接有左右延伸的調節螺紋桿，所述調節螺紋桿右端延伸末端與所述第三導滑槽右端內壁轉動配合連接，所述調節螺紋桿左端延伸末端動力連接有第二電動機，所述第二電動機外表面嵌設于所述第三導滑槽左端內壁內且與之固定連接，所述第一導滑塊內嵌設有第一液壓機，所述第一液壓機底部末端動力連接有向下延伸的第一液壓伸縮桿，所述第一液壓伸縮桿底部固定連接有金屬濺鍍頭組件，所述涂布光阻腔頂部內壁內嵌設有第二液壓機，所述第二液壓機底部末端動力連接有向下延伸的第二液壓伸縮桿，所述第二液壓伸縮桿底部延伸末端固定連接有光阻材料儲存體，所述光阻儲存體底部端面設有毛刷，所述光刻腔內頂部內壁內上設有光源，所述光刻腔內設有位于所述光源底部的石英玻璃片，所述石英玻璃片上自下而上依次鍍有金屬鉻和感光膠，所述第一導滑槽內滑動配合連接有離子束刻蝕機體，所述離子束刻蝕機體頂部端面內嵌設有第三電動機，所述第一導滑槽頂部內壁體內螺紋配合連接有上下延伸的升降螺紋桿，所述升降螺紋桿底部延伸末端伸進所述第一導滑槽內并與所述第三電動機頂部末端動力連接，所述離子束刻蝕機體內設有開口向下的離子束腔，所述離子束腔頂部內壁內嵌設有噴射口向下的離子束發射機，所述離子束腔左右內壁上設有相對應的引出加速系統所述離子束腔內設有位于所述引出加速系統底部的自動定位刻蝕系統，所述離子束刻蝕機體內設有位于所述離子束腔左端內壁內的抽氣泵，所述抽氣泵右端末端與所述離子束腔連通，所述加工機體左側端面還設置有照明裝置。...

【技術特征摘要】
1.一種集成模板制備裝置，包括加工機體以及設置在所述加工機體內左右貫通的輸送腔，其特征在于：所述加工機體內自左而右依次設有開口向下且與所述輸送腔連通的金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽，所述加工機體內設有開口向上且與所述輸送腔連通的第二導滑槽，所述第二導滑槽前后內壁內連通設有相對稱且沿所述第二導滑槽延伸的導軌槽，所述第二導滑槽后端內壁上設有位于所述金屬濺鍍腔、涂布光阻腔、光刻腔和第一導滑槽中心線正下方的第一位移感應器，所述第二導滑槽內滑動配合連接有芯片基底固定臺，所述芯片基底固定臺頂部設有開口向上的固件槽，所述芯片基底固定臺內設有第一空腔，所述第一空腔內設有窩動驅動機構，所述芯片基底固定臺后端端面上設有用以與所述第一位移感應器相感應的第二位移感應器，所述金屬濺鍍腔內周向連通設有環形槽，所述環形槽內滑動配合連接有內齒空心轉輪，所述金屬濺鍍腔頂部內壁內嵌設有第一電動機，所述第一電動機底部末端動力連接有用以與所述內齒空心轉輪齒合連接的齒轉輪，所述內齒空心轉輪內固定連接有位于所述齒轉輪底部的固定塊，所述固定塊內設有開口向下的第三導滑槽，所述第三導滑槽內滑動配合連接有第一導滑塊，所述第一導滑塊內螺紋配合連接有左右延伸的調節螺紋桿，所述調節螺紋桿右端延伸末端與所述第三導滑槽右端內壁轉動配合連接，所述調節螺紋桿左端延伸末端動力連接有第二電動機，所述第二電動機外表面嵌設于所述第三導滑槽左端內壁內且與之固定連接，所述第一導滑塊內嵌設有第一液壓機，所述第一液壓機底部末端動力連接有向下延伸的第一液壓伸縮桿，所述第一液壓伸縮桿底部固定連接有金屬濺鍍頭組件，所述涂布光阻腔頂部內壁內嵌設有第二液壓機，所述第二液壓機底部末端動力連接有向下延伸的第二液壓伸縮桿，所述第二液壓伸縮桿底部延伸末端固定連接有光阻材料儲存體，所述光阻儲存體底部端面設有毛刷，所述光刻腔內頂部內壁內上設有光源，所述光刻腔內設有位于所述光源底部的石英玻璃片，所述石英玻璃片上自下而上依次鍍有金屬鉻和感光膠，所述第一導滑槽內滑動配合連接有離子束刻蝕機體，所述離子束刻蝕機體頂部端面內嵌設有第三電動機，所述第一導滑槽頂部內壁體內螺紋配合連接有上下延伸的升降螺紋桿，所述升降螺紋桿底部延伸末端伸進所述第一導滑槽內并與所述第三電動機頂部末端動力連接，所述離子束刻蝕機體內設有開口向下的離子束腔，所述離子束腔頂部內壁內嵌設有噴射口向下的離子束發射機，所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張葉莎，
申請(專利權)人：寧海利航機電設備設計有限公司，
類型：發明
國別省市：浙江,33