【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
201610041128
【技術(shù)保護點】
一種基板頂起裝置,用于在第一基板和第二基板對合時頂起第一基板;其特征在于,包括:旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)桿、噴嘴、氣體提供機構(gòu);其中:所述旋轉(zhuǎn)桿能夠圍繞所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)轉(zhuǎn)動;所述噴嘴設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)桿上;所述氣體提供機構(gòu)通過所述噴嘴吹送氣體以頂起第一基板。
【技術(shù)特征摘要】 【專利技術(shù)屬性】
1.一種基板頂起裝置,用于在第一基板和第二基板對合時頂起第一基板;
其特征在于,包括:旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)桿、噴嘴、氣體提供機構(gòu);其中:
所述旋轉(zhuǎn)桿能夠圍繞所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)轉(zhuǎn)動;所述噴嘴設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)桿上;
所述氣體提供機構(gòu)通過所述噴嘴吹送氣體以頂起第一基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述噴嘴設(shè)置有多
個;所述旋轉(zhuǎn)桿上設(shè)置有氣路管道;所述噴嘴與所述氣路管道連接并沿著所述
氣路管道設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述氣路管道為柔
性氣路管道;所述基板頂起裝置還包括沿所述旋轉(zhuǎn)桿滑動的滑塊,所述噴嘴設(shè)
置于所述滑塊上,并能夠隨著噴嘴滑動而移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述氣體提供機構(gòu)
通過所述噴嘴吹送保護氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述保護氣體包括
氮氣。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述
旋轉(zhuǎn)桿上設(shè)有刻度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)桿設(shè)置有
至少兩個。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板頂起裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)桿上的噴
嘴設(shè)置有1-6個。
9.一種基板封裝設(shè)備,用于對第一基板和第二基板進行封裝,所述基板
技術(shù)研發(fā)人員:孫中元,周翔,
申請(專利權(quán))人:京東方科技集團股份有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:北京;11
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