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    下載一種基板頂起裝置、基板封裝設備及方法的技術資料

    文檔序號:13367046

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    本發明提供一種基板頂起裝置、基板封裝設備及方法。所述基板頂起裝置,用于在第一基板和第二基板對合時頂起第一基板;包括:旋轉機構、旋轉桿、噴嘴、氣體提供機構;旋轉桿能夠圍繞旋轉機構轉動;噴嘴設置于旋轉桿上;氣體提供機構通過噴嘴吹送氣體以頂起第一...
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