可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置制造方法及圖紙

一種可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，包含：一濺射腔；其包含有一腔門，用于取出或置入被鍍物于該濺射腔內；一受鍍轉盤，其上設有至少一個穿孔，穿孔用于安置濺射所需要的被鍍物；一濺鍍槍，受鍍轉盤位于被鍍物及濺鍍槍之間；被鍍物安裝在受鍍轉盤的穿孔內，且對齊濺鍍槍的靶材；一個推送軸，推送軸的軸向位置指向腔門；推送軸通過軸向移動，將被鍍物頂出受鍍轉盤，并向該腔門移動；以及一個輸送裝置，輸送裝置用于將被鍍物從濺射腔取出。通過推送軸將該鍍物推出濺射腔至該輸送裝置內，其輸送裝置也為抽真空的狀態，因此并不會破壞原先濺射腔的真空狀態，以至于整體的操作難度降低，時間也減短。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置
本技術是有關于一種濺射機裝置，尤其是一種可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置。
技術介紹
請參考圖1，現有技術中的濺射腔I’其外側有一腔門100’，用于置入或取出靶材；如欲同時在一被鍍物上濺鍍數種靶材，則必須有數個濺鍍槍4’，各濺鍍槍的前端安裝有靶材40’，該濺鍍槍將會令靶材的分子游離濺射到被鍍物3’上。該濺鍍槍的投射端在該濺射腔內，而另一端則延伸到該濺射腔I’外，已使得操作人員可以進行所需要的操作。另外設有一轉盤2’，該轉盤2’為一盤體,位于該派射腔I’之內，該盤體可乘載一被鍍物3’，該轉盤2’還包含驅動機構，該驅動機構包含:一轉動軸，該轉動軸的一端固定在該轉盤的中心部位，另一端延伸出該濺射腔之外，并連結一驅動器(圖中沒顯示，其位于該濺射腔外)，該驅動器可以進行徑向轉動而使得該轉盤旋轉。其中該腔門100’的門體略垂直于該轉盤的盤面，以便于抓取轉盤上的被鍍物3’。一抓取裝置400’，該抓取裝置用于由該腔門100’置入或取出該被鍍物3’。使用時，該抓取裝置靠近該腔門，并深入腔門內取出或置入該被鍍物。一輸送裝置5’，該輸送裝置用于將該被鍍物3’從該濺射腔取出，其中，該輸送裝置包含:—前輸送腔50’，其為一腔體,該腔體可密閉態抽真空。使用時，將該前輸送腔靠近該濺射腔的腔門，將該前輸送腔抽取呈真空狀態，將該濺射腔的腔門打開，由于該前輸送腔以抽真空，所以兩者連通時，并不會破壞濺射腔的真空態。然后該抓取裝置將濺鍍完成的該被鍍物取出，并經該腔門送入該前輸送腔。以便于取出該被鍍物，隨后再將該濺射腔的腔門關閉。一隔離閥51’，該隔離閥位于該前輸送腔的后方，可以隔離該前輸送腔與該輸送裝置的其余部位，而保持該前輸送腔的真空態。一后輸送腔52’，該后輸送腔位于該隔離閥的后方，而與該前輸送腔形成一完整的腔體，兩者用該隔離閥隔離。當該被鍍物已被取出并至于該前輸送腔內時，將該隔離閥打開，便可將該被鍍物移至該后輸送腔，再將該后輸送腔的腔門打開，以夾爪取出該被鍍物。在上述的現有技術中，濺射腔的外側設有一腔門，該腔門100’的門體略垂直于該轉盤的盤面，以抓取轉盤上的被鍍物3’。所以必須配置該抓取裝置。只要該抓取裝置為機動結構，其后方必須有電控裝置，以控制該抓取機構的動作。但是，上述裝置成本高昂，結構復雜。而且整體的結構有部分必須伸出該前輸送腔，所以有可能破壞原濺射腔的真空態，以至于整體的操作難度變高，時間也拉長。由于該抓取裝置在抓取被鍍物時，需耗費較多的時間，因此反復打開該濺射腔，破壞其真空度，再建立真空，整體操作時間拉長，而且此一過程又會造成對被鍍物鍍膜的損害，而影響整個濺鍍品質。因此，若能提出一種能夠簡省成本及空間的濺射結構，必能帶來更高的經濟效益，且增進濺鍍的品質。因此本案的專利技術人鑒于對于對現有技術的了解，所以希望能提出一嶄新的結構，因此構思具新穎性的本案以解決上述現有技術中的缺點。
技術實現思路
為解決上述現有技術上的問題，本技術中提出一種可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，其目的為提供一種能夠簡省成本及空間的濺射機裝置。為達到上述目的本技術中提出一種可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，包含:一個濺射腔，該濺射腔為一個高真空的腔體；該濺射腔包含有一個腔門，該腔門用于取出或置入被鍍物于該濺射腔內；其中所述濺射機裝置還包含:一個受鍍轉盤，該受鍍轉盤包含一個位于該濺射腔之內的盤體，該盤體上設有至少一個穿孔，所述穿孔分別用于安置被鍍物；其中該腔門朝向于該受鍍轉盤的位置；一個濺鍍槍，靶材安裝在該濺鍍槍的投射端，該投射端位于該濺射腔內，而該濺鍍槍的另一端則延伸到該濺射腔外，該受鍍轉盤位于該被鍍物及該濺鍍槍之間；該被鍍物安裝在該受鍍轉盤的所述穿孔內，且對齊該濺鍍槍的靶材；該受鍍轉盤轉動，令該被鍍物隨該盤體轉動依次對齊該該濺鍍槍中的靶材；一個推送軸，推送軸安裝在該濺射腔的一側，該推送軸相對于該受鍍轉盤，且該推送軸與該濺鍍槍位于同一側；該推送軸的軸向位置指向該腔門；該推送軸前后軸向移動，以便將該被鍍物向前推出該受鍍轉盤，并向該腔門移動從而移出至腔體外；以及一個輸送裝置，連接于該腔門，該輸送裝置用于將該被鍍物從該濺射腔取出。優選的，該腔門的門體平行于該受鍍轉盤，以利于從該受鍍轉盤上攫取該被鍍物并送出該濺射腔外。優選的，該輸送裝置包含:—個前輸送腔，該前輸送腔為一個可密閉態抽真空的腔體，該前輸送腔能夠連通該濺射腔的腔門；一個隔離閥，該隔離閥位于該前輸送腔的后方；以及一個后輸送腔，該后輸送腔位于該隔離閥的后方，通過該隔離閥與該前輸送腔隔離，該后輸送腔與該前輸送腔形成一個完整的腔體。優選的，該受鍍轉盤設有四個穿孔，所述穿孔分別用于安置一個該被鍍物。優選的，該受鍍轉盤還包含驅動機構，該驅動機構驅動該受鍍轉盤旋轉，該驅動機構包含一個轉動軸，該轉動軸的一端固定在該受鍍轉盤的中心部位，另一端延伸出該濺射腔之外，并連結一個位于濺射腔外的驅動器，該驅動器使該轉動軸徑向轉動而帶動該受鍍轉盤旋轉。優選的，該靶材為金屬或玻璃材料，該靶材受熱源驅動后，其粒子脫離該靶材而射出至該被鍍物。本技術的有益效果在于，通過該推送軸將該被鍍物推出該濺射腔至該輸送裝置內，其輸送裝置也為抽真空的狀態，因此并不會破壞原先該濺射腔的真空狀態，以至于整體的操作難度降低，時間也減短，相對于現有設備為為一能夠簡省成本及空間的濺射機裝置。由下文的說明可更進一步了解本技術的特征及其優點，閱讀時并請參考附圖。【附圖說明】圖1為現有技術的結構示意圖。圖2為本技術的立體圖結構示意圖。圖3為本技術的一狀態示意圖。圖4為本技術的另一狀態示意圖。【符號標記】<現有技術>I’、灘射腔 100’、腔門 2’、轉盤3’、被鍍物 4’、濺鍍槍 40’、革巴材400’、抓取裝置5 ’、輸送裝置 50 ’、前輸送腔51’、隔離閥 52’、后輸送腔〈本技術〉1、濺射腔100、腔門2、受鍍轉盤 20、穿孔 21、轉動軸201、靶材3、被鍍物4、濺鍍槍 5、推送軸6、輸送裝置60、前輸送腔 61、隔離閥 62、后輸送腔。【具體實施方式】茲謹就本技術的結構組成，及所能產生的有益效果與優點，配合附圖，舉本技術的一較佳實施例詳細說明如下。請參考圖2至圖4所示，為本技術的可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，包含下列元件:一濺射腔1，該濺射腔I為一腔體結構，用于容納本技術的其他元件；該濺射腔I為一高真空的腔體。主要是因為濺射程序必須在高度真空下進行。該濺射腔有一腔門100，該腔門100用于取出或置入一被鍍物3于該濺射腔I內。一受鍍轉盤2，該受鍍轉盤2包含一位于該濺射腔I之內盤體，該盤體上包含至少兩穿孔20，所述穿孔20用于安置濺射所需要的被鍍物3 ;如，圖中顯示該受鍍轉盤2具有四個穿孔，所以可容納四種不同的被鍍物3 ;該受鍍轉盤還包含驅動機構以驅動該轉盤旋轉，該驅動機構包含:一轉動軸21，該轉動軸21的一端固定在該受鍍轉盤2的中心部位，另一端延伸出該濺射腔I之外，并連結一驅動器(圖中未示，驅動器也位于該濺射腔外)，該驅動器可以使該轉動軸徑向轉動而使得該受鍍轉盤2旋轉。其中該腔門100的門體略平行于該受鍍轉盤2，以利于從該受鍍轉盤2上攫取該被鍍物3并送出該濺本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，其包含：?一個濺射腔，該濺射腔為一個高真空的腔體；該濺射腔包含有一個腔門，該腔門用于取出或置入被鍍物于該濺射腔內；?其特征在于，還包含：一個受鍍轉盤，該受鍍轉盤包含一個位于該濺射腔之內的盤體，該盤體上設有至少一個穿孔，所述穿孔分別用于安置被鍍物；其中該腔門朝向于該受鍍轉盤的位置；?一個濺鍍槍，靶材安裝在該濺鍍槍的投射端，該投射端位于該濺射腔內，而該濺鍍槍的另一端則延伸到該濺射腔外，該受鍍轉盤位于該被鍍物及該濺鍍槍之間；?該被鍍物安裝在該受鍍轉盤的所述穿孔內，且對齊該濺鍍槍的靶材；該受鍍轉盤轉動，令該被鍍物隨該盤體轉動依次對齊該該濺鍍槍中的靶材；?一個推送軸，推送軸安裝在該濺射腔的一側，該推送軸相對于該受鍍轉盤，且該推送軸與該濺鍍槍位于同一側；該推送軸的軸向位置指向該腔門；該推送軸前后軸向移動，以便將該被鍍物向前推出該受鍍轉盤，并向該腔門移動從而移出至腔體外；以及?一個輸送裝置，連接于該腔門，該輸送裝置用于將該被鍍物從該濺射腔取出。

【技術特征摘要】
1.一種可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，其包含: 一個濺射腔，該濺射腔為一個高真空的腔體；該濺射腔包含有一個腔門，該腔門用于取出或置入被鍍物于該濺射腔內； 其特征在于，還包含:一個受鍍轉盤，該受鍍轉盤包含一個位于該濺射腔之內的盤體，該盤體上設有至少一個穿孔，所述穿孔分別用于安置被鍍物；其中該腔門朝向于該受鍍轉盤的位置； 一個濺鍍槍，靶材安裝在該濺鍍槍的投射端，該投射端位于該濺射腔內，而該濺鍍槍的另一端則延伸到該濺射腔外，該受鍍轉盤位于該被鍍物及該濺鍍槍之間； 該被鍍物安裝在該受鍍轉盤的所述穿孔內，且對齊該濺鍍槍的靶材；該受鍍轉盤轉動，令該被鍍物隨該盤體轉動依次對齊該該濺鍍槍中的靶材； 一個推送軸，推送軸安裝在該濺射腔的一側，該推送軸相對于該受鍍轉盤，且該推送軸與該濺鍍槍位于同一側；該推送軸的軸向位置指向該腔門；該推送軸前后軸向移動，以便將該被鍍物向前推出該受鍍轉盤，并向該腔門移動從而移出至腔體外；以及 一個輸送裝置，連接于該腔門，該輸送裝置用于將該被鍍物從該濺射腔取出。2.如權利要求1所述的可簡化被鍍物抓取的濺射機裝置，其特征在于，該腔門的門...

【專利技術屬性】
技術研發人員：吳金龍，徐永桓，
申請(專利權)人：亮杰科技有限公司，
類型：新型
國別省市：中國臺灣;71