一種制備薄膜材料的靶材托制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種制備薄膜材料的靶材托，使用該靶材托，可以使一些本來做靶比較困難的材料也能夠做成制備薄膜材料的靶材，大大拓寬制備薄膜材料的范圍。其特征是當(dāng)制備熔點(diǎn)較低的薄膜材料、導(dǎo)熱性差的陶瓷薄膜材料時(shí)，將靶材放在靶材托的凹槽里，可以達(dá)到較好的鍍膜效果。該靶材托在磁控濺射鍍膜科研和生產(chǎn)領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價(jià)值。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
本專利技術(shù)涉及一種制備薄膜材料的靶材托，該靶材托所采用的材質(zhì)為導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能較好的金屬銅，或不銹鋼材料。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：楊海剛，秦瑞平，蔣玉榮，李新強(qiáng)，張計(jì)才，張基東，宋桂林，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：河南師范大學(xué)，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：