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本發明提供一種制備薄膜材料的靶材托，使用該靶材托，可以使一些本來做靶比較困難的材料也能夠做成制備薄膜材料的靶材，大大拓寬制備薄膜材料的范圍。其特征是當制備熔點較低的薄膜材料、導熱性差的陶瓷薄膜材料時，將靶材放在靶材托的凹槽里，可以達到較好的...
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