本發明專利技術公開了一種MEMS可調標準具，包括一標準具腔片和MEMS，所述MEMS縱向可調，其上表面鍍高反膜，作為標準具的一個腔片，固定于MEMS固定支架上；所述標準具腔片鍍反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架與腔片固定支架之間由兩根或兩根以上的鋼針固定連接；腔片固定支架通過焊錫焊接于鋼針上；MEMS上表面與標準具腔片的反射面相互平行，構成一空氣隙可調標準具。本發明專利技術采用鋼針焊接方式，焊點小、應力小，較易控制；標準具腔面與MEMS上表面的平行度可以采用扳手扳平，或者利用側支架上的調節螺絲輕松的調節，該標準具具有結構簡單，調節簡易方便等優點。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光無源器件領域，尤其涉及一種帶MEMS的可調標準具。
技術介紹
在涉及標準具的光無源器件中，很多應用需要標準具具有一定的調節能力，如調節標準具的自由光譜范圍(FSR)，插損曲線、群延遲曲線的中心波長等。無論是實體標準具還是空氣隙標準具，二者腔面之間的距離一旦固定下來，標準具的FSR也就確定下來，很難從工藝上實現FSR的精確控制，而且很難應用在要求標準具FSR可變的情況下。另外在一些光無源器件中，需要在密封的環境中填充氣體來控制標準具的中心透射峰，但是隨著時間的延長，中心透射峰會因為漏氣而產生漂移。中國專利局2011年5月11日公布的專利技術專利申請《一種可調標準具》(申請號201010557239.0)公開了一種可調標準具，如圖1所示，包括透明基板和MEMS，其固定結構包括兩個中空圓柱模塊和一球關節，透明基板和MEMS分別固定于兩個中空圓柱模塊上，兩個中空圓柱模塊通過球關節連接，各模塊接觸面采用粘膠工藝連接。該固定結構利用粘膠工藝連接，容易老化，而且其結構相對復雜，工藝過程較繁瑣。
技術實現思路
為克服上述問題，本專利技術提出一種MEMS可調標準具，其固定結構簡單，調節簡易方便。為達到上述目的，本專利技術所提出的技術方案為一種MEMS可調標準具，包括一標準具腔片和MEMS，所述MEMS縱向可調，其上表面鍍高反膜，作為標準具的一個腔片，固定于MEMS固定支架上；所述標準具腔片鍍反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架與腔片固定支架之間由兩根或兩根以上的鋼針固定連接；MEMS上表面與標準具腔片的反射面相互平行。進一步的，所述MEMS固定支架大于腔片固定支架，其外側設置一側支架，該側支架相對于腔片固定支架的位置設有兩個或兩個以上的調節螺絲；所述調節螺絲穿過側支架的螺孔，頂在腔片固定支架外周。進一步的，所述鋼針與MEMS固定支架為一體結構，或者所述鋼針與MEMS固定支架為緊配合連接。進一步的，所述鋼針與腔片固定支架通過焊錫焊接固定。本專利技術的有益效果本專利技術的一種MEMS可調標準具，采用鋼針焊接方式，焊點小、應力小，較易控制；標準具腔面與MEMS上表面的平行度可以采用扳手扳平，或者利用側支架上的調節螺絲輕松的調節，因此本專利技術的可調標準具結構簡單，調節簡易方便。附圖說明圖1為現有技術的一種可調標準具結構示意圖；圖2為本專利技術的實施例一結構示意圖3為本專利技術的實施例二結構示意圖。標號說明101. MEMS ；102.標準具腔片；103. MEMS固定支架；104.腔片固定支架；105.鋼針；106.焊錫；201. MEMS ；202.標準具腔片；203. MEMS固定支架；204.腔片固定支架；205.鋼針；206.焊錫；207.側支架；208.調節螺絲。具體實施例方式下面結合附圖和具體實施方式，對本專利技術做進一步說明。本專利技術采用反射式MEMS作為標準具的一個腔面，與另一標準具腔片的一面構成空氣隙標準具，通過控制MEMS的縱向位置來精確控制調節標準具的FSR。如圖2所示為本專利技術的實施例一，MEMS 101被牢牢固定在MEMS固定支架103上，標準具腔片102固定在腔片固定支架104上，腔片固定支架104與MEMS固定支架103通過鋼針105固定連接。MEMS 101上表面鍍高反膜，作為標準具的一個腔面，標準具腔片102的一面鍍反射膜，與MEMS 101上表面相互平行，構成一個空氣隙可調標準具，通過調節MEMS 101的縱向位置來精確控制標準具的FSR。鋼針105與MEMS固定支架103可以是一體結構，也可以采用緊配合方式連接；腔片固定支架104利用焊錫106焊接于鋼針105上，同時控制兩個反射面相互平行。采用鋼針105焊接，焊點小，應力小，容易控制，一旦空氣隙距離被固定，若兩腔面平行度發生偏離，可以用扳手在焊接位置輕松的調節標準具腔片102與MEMS 101反射面的平行度。如圖3所示為本專利技術的實施例二，與實施例一一樣，MEMS 201上表面鍍高反膜作為標準具的一個腔面，被牢牢固定在MEMS固定支架203上，標準具腔片202的一面鍍反射面，固定于腔片固定支架204上，并與MEMS 201上表面平行，構成一個空氣隙可調標準具，通過調節MEMS 201縱向位置來精確控制標準具的FSR。同樣的，腔片固定支架204與MEMS固定支架203通過鋼針205固定連接，腔片固定支架204通過焊錫206焊接于鋼針205上。該腔片固定支架204尺寸稍小于MEMS固定支架203，在MEMS固定支架203外側設置一側支架207，該側支架207上相對應于腔片固定支架204的位置設有兩個或兩個以上的調節螺絲208，該調節螺絲208穿過側支架207的螺孔后頂在腔片固定支架204外周。當標準具兩腔面平行度發生偏離時，通過調節螺絲208便可輕松的調節標準具腔片202與MEMS 201反射面的平行度。盡管結合優選實施方案具體展示和介紹了本專利技術，但所屬領域的技術人員應該明白，在不脫離所附權利要求書所限定的本專利技術的精神和范圍內，在形式上和細節上對本專利技術做出的各種變化，均為本專利技術的保護范圍。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種MEMS可調標準具，包括一標準具腔片和MEMS，其特征在于：所述MEMS縱向可調，其上表面鍍高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述標準具腔片鍍反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架與腔片固定支架之間由兩根或兩根以上的鋼針固定連接；MEMS上表面與標準具腔片的反射面相互平行。
【技術特征摘要】
1.一種MEMS可調標準具，包括一標準具腔片和MEMS，其特征在于所述MEMS縱向可調，其上表面鍍高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述標準具腔片鍍反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架與腔片固定支架之間由兩根或兩根以上的鋼針固定連接；MEMS上表面與標準具腔片的反射面相互平行。2.如權利要求1所述的一種MEMS可調標準具，其特征在于所述MEMS固定支架大于腔片固定支架，其外側設置一側支架，該...
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳礪，柏天國，李陽，
申請(專利權)人：福州高意通訊有限公司，
類型：發明
國別省市：
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