【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種裝置，其包含：光學堆疊；可移動反射體，所述可移動反射體相對于所述光學堆疊可移動通過在至少第一位置與第二位置之間的干涉調制腔；以及熱膨脹平衡層，機械耦合至所述可移動反射體上相對于所述干涉調制腔的一側上可移動柔性層的與所述可移動至少部分反射體相對的一側上，所述熱膨脹平衡層被配置為當所述可移動反射體位于所述第一位置時，所述裝置被加熱或冷卻時所述可移動反射體與所述光學堆疊之間的距離不會改變。
【技術特征摘要】
...
【專利技術屬性】
技術研發人員：紹里·古德拉瓦萊蒂，克拉倫斯·徐，
申請(專利權)人：高通MEMS科技公司，
類型：發明
國別省市：
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