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一種干涉式調(diào)制裝置具備在可移動(dòng)柔性層的與可移動(dòng)反射體相對(duì)的一側(cè)上的熱膨脹平衡層，以使得當(dāng)溫度改變時(shí)，所述可移動(dòng)反射體與光學(xué)堆疊之間的距離不會(huì)顯著改變，借此產(chǎn)生穩(wěn)定色彩。另外，一種干涉式調(diào)制裝置具備在所述可移動(dòng)柔性層與所述可移動(dòng)反射體之間的加...該專利屬于高通MEMS科技公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)高通MEMS科技公司授權(quán)不得商用。