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本發(fā)明公開了一種MEMS可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)具，包括一標(biāo)準(zhǔn)具腔片和MEMS，所述MEMS縱向可調(diào)，其上表面鍍高反膜，作為標(biāo)準(zhǔn)具的一個腔片，固定于MEMS固定支架上；所述標(biāo)準(zhǔn)具腔片鍍反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架與腔片固定支架之間由兩...
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