【技術實現步驟摘要】
雙向排氣爪型泵
本技術涉及一種雙向排氣爪型泵，屬于真空
技術介紹
爪型泵是一種變容積干式真空泵，由裝在泵體內的一對平行軸上的多級轉子構 成，軸端齒輪驅動同步反向運轉。爪型泵抽氣過程中泵腔內不含油類等液體介質，對被抽容 器以及工作環境無污染，所以在半導體、電子、化工和制藥行業得到了廣泛的應用。爪型泵 一般由三級轉子串聯在轉子軸上，每級的兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣 口與排氣口分別設在兩側端蓋的側面上，由轉子在旋轉過程中自動開閉，并控制容積由大 到小、由小到大不斷變化，來達到抽真空的目的，但由于爪型泵自身結構的限制，其進氣口 和排氣口尺寸都很小，通常的進氣口、排氣口直徑為25 80mm，真空系統內的氣體不能有 效抽出，極大地限制了爪型泵的抽氣速率。
技術實現思路
根據以上現有技術中的不足，本技術要解決的技術問題是提供一種結構緊 湊合理且能夠提高泵體真空度和抽氣速率的雙向排氣爪型泵。本技術所述的雙向排氣爪型泵，包括電機、泵體和泵體內平行安裝的主動軸 與從動軸，主動軸上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上，主動 軸連接電機，其特征在于泵體由多級相互隔離的泵腔串聯組合而成，每級泵腔中設置一對 轉子，每對轉子由相互嚙合的主動轉子和從動轉子組成，主動轉子、從動轉子分別安裝在主 動軸、從動軸上，位于泵體中間位置的中間級泵腔連接進氣口，位于泵體兩端的最后一級泵 腔上分別設有上端蓋、下端蓋，上、下端蓋上有排氣口。工作原理及過程工作時，雙向排氣爪型泵從真空系統吸入氣體，氣體經過進氣口進入中間級泵腔， 之后氣體向上、向下分為兩路，經過中...
【技術保護點】
一種雙向排氣爪型泵，包括電機（1）、泵體和泵體內平行安裝的主動軸（7）與從動軸（9），主動軸（7）上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸（9）上，主動軸（7）連接電機（1），其特征在于：泵體由多級相互隔離的泵腔串聯組合而成，每級泵腔中設置一對轉子，每對轉子由相互嚙合的主動轉子和從動轉子組成，主動轉子、從動轉子分別安裝在主動軸、從動軸上，位于泵體中間位置的中間級泵腔（13）連接進氣口（6），位于泵體兩端的最后一級泵腔（6）上分別設置上端蓋（10）、下端蓋（2），上、下端蓋上均設有排氣口（8）。
【技術特征摘要】
1.一種雙向排氣爪型泵，包括電機(I)、泵體和泵體內平行安裝的主動軸(7)與從動軸(9)，主動軸(7)上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸(9)上，主動軸(7)連接電機(1)，其特征在于泵體由多級相互隔離的泵腔串聯組合而成，每級泵腔中設置一對轉子，每對轉子由相互嚙合的主動轉子和從動轉子組成，主動轉子、從動轉子分別安裝在主動軸、從動軸...
【專利技術屬性】
技術研發人員：肖慶濤，崔峰，劉元華，
申請(專利權)人：淄博沃德氣體設備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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