一種多級浮動渦旋真空泵制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)公開一種多級浮動渦旋真空泵，包括若干真空泵，每一真空泵包括：一固定渦卷基座；一位于基座上的固定渦卷；以及一與固定渦卷做繞動運(yùn)動的繞動渦卷；其中，位于固定渦卷外圈渦卷元件的端板上開設(shè)進(jìn)氣口，位于固定渦卷內(nèi)圈渦卷元件的端板上開設(shè)排氣口；排氣口具有一排氣閥組件，排氣閥組件可開啟或關(guān)閉所述排氣口；每一下游的真空泵的進(jìn)氣口通過氣管與相鄰的上游的真空泵的排氣口連接。使用本實用新型專利技術(shù)，下游真空泵從上游真空泵的排氣口中抽氣，以此降低上游真空泵排氣口下容積內(nèi)的壓力。打破進(jìn)氣口和排氣口的動態(tài)平衡。從排氣口向進(jìn)氣口的回流減少，增加了從進(jìn)氣口抽取的氣體，從而降低上游進(jìn)氣口的氣體壓力，提高進(jìn)氣口的極限真空度。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

一種多級浮動渦旋真空泵
本技術(shù)涉及一種真空泵的
，尤其涉及一種多級浮動渦旋真空泵的技 術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)介紹
在機(jī)械領(lǐng)域，渦卷式裝置用于壓縮機(jī)和膨脹機(jī)，渦卷是在一個端板上延伸出一個 具有螺旋剖面的柱面的元件。通常一個是固定的，叫做固定渦卷。另一個渦卷具有與固定 渦卷的螺旋柱面相共軛的螺旋柱面，并相對于固定渦卷做圓形的平動，也叫繞動，被稱為繞 動渦卷。這兩種渦卷的互相共軛的螺旋式渦卷柱面相互嚙合形成線接觸。一對相鄰的線接觸與端板表面之間至少形成一個密封的壓縮氣室。當(dāng)一個繞動渦 卷相對于固定渦卷做繞動運(yùn)動時，在螺旋型側(cè)壁上的線接觸會沿著該側(cè)壁移動，從而改變 密封氣室的大小。而繞動運(yùn)動的方向?qū)Q定密封氣室膨脹或是壓縮流體。通過固定渦卷和繞動渦卷之間形成密閉性線接觸的真空泵，通過進(jìn)氣口抽取氣 體，以降低進(jìn)氣口的氣體壓力，提高進(jìn)氣口真空度。現(xiàn)有的真空泵常采用固定渦卷和繞動渦 卷多圈渦卷元件的方式。渦卷的圈數(shù)越多則從排氣口到進(jìn)氣口通過壓縮氣室之間的內(nèi)泄漏 會越低，從而提高了真空泵的抽氣極限真空度。但采用多圈渦卷元件的話，由于做繞動運(yùn)動 時位于壓縮區(qū)內(nèi)的空氣壓力會提高，尤其是在抽真空的早期階段，進(jìn)氣壓力接近于大氣壓， 多圈渦卷原件會使壓縮氣室內(nèi)的氣體產(chǎn)生較大的壓力提升，而內(nèi)部壓力會過大，導(dǎo)致產(chǎn)生 作用在繞動渦卷和固定渦卷很大的軸向和徑向的分離力，增大了能耗。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)提供了一種多級浮動渦旋真空泵，以解決現(xiàn)有固定渦卷和繞動渦卷采 用多圈渦卷元件方式的真空泵，由于做繞動運(yùn)動時位于壓縮區(qū)內(nèi)的空氣壓縮比過高，內(nèi)部 壓力過大，導(dǎo)致產(chǎn)生很大的軸向和徑向的分離力和能耗大的問題，無法進(jìn)一步通過增加渦 卷的圈數(shù)來提高真空泵的極限真空度。為了實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采取的技術(shù)方案為一種多級浮動渦旋真空泵，包括若干串聯(lián)連接的真空泵，每一所述真空泵包括一固定潤卷基座；一位于所述固定渦卷基座上的固定渦卷；以及一相對于所述固定渦卷做繞動運(yùn)動的繞動渦卷；其中，位于所述固定渦卷外圈渦卷元件的端板上開設(shè)進(jìn)氣口，位于所述固定渦卷 內(nèi)圈渦卷元件的端板上開設(shè)排氣口 ；所述排氣口具有一排氣閥組件，用于開啟或關(guān)閉所述 排氣口 ；所述真空泵還包括氣管，每一下游的真空泵的進(jìn)氣口通過所述氣管與相鄰的上游 的真空泵的排氣口連接，使得相鄰的兩個真空泵能夠通過所述氣管從上游的真空泵的進(jìn)氣 口中抽氣，從下游的真空泵的排氣口中排氣。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，所述排氣閥組件包括舌簧閥片和限位板， 所述固定渦卷內(nèi)圈渦卷元件的端板上還具有氣閥室，所述氣閥室通過所述氣管與下游的所 述真空泵的進(jìn)氣口連接，并且所述氣閥室貫穿所述固定渦卷基座，所述限位板的一端固設(shè) 在所述氣閥室內(nèi)的固定渦卷的端板上，并且所述限位板下壓所述舌簧閥片。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，所述限位板的另一端限制所述舌簧閥片 的開啟角度，同時，所述舌簧閥片貼合于位于所述固定渦卷端板中部的排氣口中。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，所述舌簧閥片可彈性地開啟或關(guān)閉所述 排氣口 ；當(dāng)所述舌簧閥片緊貼所述排氣口時，所述舌簧閥片關(guān)閉所述排氣口，當(dāng)所述舌簧閥 片開啟時，并緊貼所述限位板的另一端，以此限制所述舌簧閥片的上升。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，還包括有一閥蓋，所述閥蓋覆蓋于所述固 定渦卷基座上的所述氣閥室。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，所述氣管貫穿所述閥蓋，并與所述氣閥室 連通。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，所述真空泵的數(shù)量為兩個。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，上游的所述真空泵未安裝所述排氣閥組 件，下游的所述真空泵安裝有所述排氣閥組件。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，所述真空泵的數(shù)量為三個以上。上述的一種多級浮動渦旋真空泵，其中，最上游的所述真空泵未安裝所述排氣閥 組件，最下游的所述真空泵安裝有所述排氣閥組件。本技術(shù)由于采用了上述技術(shù)，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的積極效果是通過本技術(shù)的兩級串聯(lián)真空泵的使用，使得下游真空泵能夠從上游真空泵的 排氣口抽氣，從而降低上游真空泵排氣口下容積內(nèi)的壓力。打破進(jìn)氣口和排氣口的氣體動 態(tài)平衡。從排氣口向進(jìn)氣口的回流減少，增加從進(jìn)氣口抽取的氣體，從而降低進(jìn)氣口的氣體 壓力，以此提高進(jìn)氣口的極限真空度。附圖說明圖1是本技術(shù)的一種多級浮動渦旋真空泵中一個單級真空泵(未包括固定渦 卷基座)的不意圖；圖2是本技術(shù)的一種由兩個單級真空泵串聯(lián)而成的多級浮動渦旋真空泵的 示意圖；圖3是本技術(shù)的一種多級浮動渦旋真空泵中一個單級真空泵的渦卷的剖視 圖。具體實施方式以下結(jié)合附圖給出本技術(shù)一種多級浮動渦旋真空泵的具體實施方式。圖1是本技術(shù)的一種多級浮動渦旋真空泵中一個單級真空泵(未包括固定渦 卷基座)的示意圖，圖2是本技術(shù)的一種由兩個單級真空泵串聯(lián)而成的多級浮動渦旋真 空泵的示意圖，圖3是本技術(shù)的一種多級浮動渦旋真空泵中一個單級真空泵的渦卷的 剖視圖，請參見圖1、圖2和圖3所示。本技術(shù)的一種多級浮動渦旋真空泵，包括有若干真空泵10，該若干真空泵10之間通過氣管相互串聯(lián)(為方便表述起見，對串聯(lián)的上游真 空泵和下游真空泵都采用“10”表示，但并不意味著所有串聯(lián)的真空泵必須是完全一模一樣 的。這些真空泵可以是一樣的，也可以是不一樣的，但本技術(shù)用“10”表示和敘述，不失 其普遍性)。其中，每一個真空泵10包括有一固定渦卷基座20，在該固定渦卷基座20上設(shè) 置有一固定渦卷30，固定渦卷30具有一第一端板31，在第一端板31上固定設(shè)置有渦卷元 件32，渦卷元件32固定其上并由此向外延伸；該固定渦卷基座20還包括設(shè)置有一繞動渦 卷40，繞動渦卷40具有一第二端板41，在第二端板41上固定設(shè)置有渦卷元件42，渦卷元 件42固定其上并由此向外延伸；同時，設(shè)有渦卷元件32的第一端板31與設(shè)有渦卷元件42 的第二端板41相互靠近，使得渦卷元件32與渦卷元件42之間相互嚙合形成線接觸，并且 渦卷元件32與渦卷元件42分別抵于第二端板41和第一端板31上，并保持180°的相位 角位移和等于繞動半徑Ror的徑向位移。渦卷元件32和渦卷元件42之間一對相鄰的線接 觸與端板表面之間至少形成一個密封的壓縮氣室。當(dāng)繞動渦卷40相對于固定渦卷30做繞 動時，在螺旋型側(cè)壁上的接觸線會沿著該側(cè)壁移動，從而改變密封氣室的容積大小。在固定 渦卷30的渦卷元件32的外圈的第一端板31上開設(shè)有進(jìn)氣口 51，在固定渦卷30的渦卷元 件32的內(nèi)圈的第一端板31上還開設(shè)有排氣口 52，并且在排氣口 52處設(shè)置有一排氣閥組件 60，用于開啟或關(guān)閉排氣口 52。該排氣閥組件60具有彈性的舌簧閥片61，可以根據(jù)舌簧閥 片61所覆蓋的位于動靜渦卷元件中心部位的渦卷排氣氣室的氣壓的周期性變化來封住排 氣口 52或者開啟排氣口 52進(jìn)行排氣。還包括有氣管80，通過氣管80將每一個下游的真空 泵10的進(jìn)氣口 51與其相鄰的上游的真空泵10的排氣口 52相連接，以此形成串聯(lián)氣路，使 得相鄰的兩個真空泵10能夠通過氣管80從上游進(jìn)氣口 51中抽氣，從下游的真空泵10的 排氣口 52中排氣。通過使用相連通的多個真空泵10，通過氣管80從最上游的真空泵10的 本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種多級浮動渦旋真空泵，包括若干串聯(lián)連接的真空泵，每一所述真空泵包括：?一固定渦卷基座；?一位于所述基座上的固定渦卷；以及?一相對于所述固定渦卷做繞動運(yùn)動的繞動渦卷；?其特征在于，位于所述固定渦卷外圈渦卷元件的端板上開設(shè)進(jìn)氣口，位于所述固定渦卷內(nèi)圈渦卷元件的端板上開設(shè)排氣口；所述排氣口具有一排氣閥組件，所述排氣閥組件可開啟或關(guān)閉所述排氣口；所述真空泵還包括氣管，每一下游的真空泵的進(jìn)氣口通過所述氣管與相鄰的上游的真空泵的排氣口連接。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種多級浮動渦旋真空泵，包括若干串聯(lián)連接的真空泵，每一所述真空泵包括 一固定渦卷基座； 一位于所述基座上的固定渦卷；以及 一相對于所述固定渦卷做繞動運(yùn)動的繞動渦卷； 其特征在于，位于所述固定渦卷外圈渦卷元件的端板上開設(shè)進(jìn)氣口，位于所述固定渦卷內(nèi)圈渦卷元件的端板上開設(shè)排氣口 ；所述排氣口具有一排氣閥組件，所述排氣閥組件可開啟或關(guān)閉所述排氣口 ；所述真空泵還包括氣管，每一下游的真空泵的進(jìn)氣口通過所述氣管與相鄰的上游的真空泵的排氣口連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多級浮動渦旋真空泵，其特征在于，所述排氣閥組件包括舌簧閥片和限位板，所述固定渦卷內(nèi)圈渦卷元件的端板上還具有氣閥室，所述氣閥室通過所述氣管與下游的所述真空泵的進(jìn)氣口連接，并且所述氣閥室貫穿所述基座，所述限位板的一端固設(shè)在所述氣閥室內(nèi)的固定渦卷的端板上，并且所述...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：倪詩茂，
申請(專利權(quán))人：思科渦旋科技杭州有限公司，
類型：實用新型
國別省市：