玻璃基板層疊工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法技術

本發明專利技術的目的在于提供一種玻璃基板層疊工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法，可提高端面研磨工序中的加工精度和生產率，容易操作，而且無需將玻璃基板層疊體解體即可進行外周端面研磨和內周端面研磨。該玻璃基板層疊工具用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內周端面，進行所述磁記錄介質用玻璃基板的對位，所述軸具備：緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端配合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及玻璃基板層疊工具、使用了該工具的磁記錄介質用玻璃基板的端面研磨方法及使用了該端面研磨方法的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法。
技術介紹
磁盤記錄裝置等所使用的圓盤形狀的磁盤以往使用鋁合金基板。但是近年來，隨著高密度記錄化的要求，比鋁合金基板硬且平面性和平滑性優異的玻璃基板成為主流。磁記錄介質用玻璃基板在其制造工序中，有對玻璃基板的平面及端面(內外周面)實施磨削、研磨等加工的加工工序。而且，作為提高在對玻璃基板的端面進行研磨時的作業效率的方法，使用形成將多片玻璃基板在面方向上重疊而成的玻璃基板層疊體并同時對多個玻璃基板的端面進行研磨的方法。玻璃基板的端面研磨對外周面和內周面兩方進行。因此,如上所述對玻璃基板層疊體進行研磨時，以往，暫時在外周端面研磨用工具上層疊玻璃基板，進行外周端面研磨，之后，暫時將玻璃基板層疊體解體，在內周端面研磨用工具上再次層疊玻璃基板，然后進行內周端面研磨。然而，根據該方法，在外周端面研磨和內周端面研磨的工序之間，需要將玻璃層疊體解體，存在再次層疊的操作時的操作失誤、或當再次層疊玻璃基板時由于在玻璃基板之間夾有異物而對玻璃基板造成損傷的情況。另外，由于工序數量較多，生產率上也存在問題。為了解決該問題，對無需將玻璃基板層疊體解體即可連續進行外周端面研磨和內周端面研磨的工具進行了研究(例如專利文獻I)。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本國特開2003-159639號公報但是，在專利文獻I中，通過螺栓固定將玻璃基板沿著上下設置的板，成為夾住玻璃基板的結構，因此存在要花費工夫裝配裝置并容易產生裝配誤差的問題。而且，由于部件較多，在維護性上也存在問題。而且，在專利文獻I中，當對玻璃基板層疊體的外端部進行研磨時，將第一板接觸玻璃基板層疊體的兩端部，通過插通玻璃基板層疊體的內孔的第一板連結件，固定第一板而夾緊玻璃基板。然而，由于第一板連結件的直徑比玻璃基板層疊體的內孔的直徑小，因此在研磨工序中，玻璃基板有可能錯位。此時，也有可能產生得到的玻璃基板的同心度降低、玻璃基板的圓孔部(內周部)或外周部的圓度降低等有關加工精度的問題。
技術實現思路
本專利技術鑒于上述現有技術具有的問題，其目的在于提供一種玻璃基板層疊工具，能夠提高端面研磨工序中的加工精度、生產率，容易操作，而且，無需將玻璃基板層疊體解體即可進行外周端面研磨和內周端面研磨。為了解決上述課題，本專利技術提供一種玻璃基板層疊工具，用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內周端面，進行所述磁記錄介質用玻璃基板的對位，所述軸具備緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層置體。專利技術效果本專利技術在形成玻璃基板層疊體時通過軸支撐內周端面，因此能夠高精度地設置、固定磁記錄介質用玻璃基板(以下也簡稱為“玻璃基板”)。因此，能夠提高加工精度，能夠提高得到的玻璃基板的同心度及圓度。而且，由于部件的件數較少，因此不易產生裝配誤差，也能夠使維護性提高。而且，即使在對內周端面及外周端面進行研磨時，也能夠不將玻璃基板層疊體解體而連續地進行，因此即使在對兩端面進行研磨時也能夠防止對玻璃基板產生損傷，提高成品率和生產率。附圖說明圖1是本專利技術所涉及的軸的說明圖。圖2是本專利技術所涉及的第一實施方式中的外周端面研磨時的結構說明圖。圖3是本專利技術所涉及的第一實施方式中的緊定螺栓的說明圖。圖4是關于本專利技術所涉及的第一實施方式中的內周端面研磨工具的說明圖。圖5是關于本專利技術所涉及的第一實施方式中的內周端面研磨工具的說明圖。圖6 (A)及6 (B)是關于本專利技術所涉及的第一實施方式中的玻璃基板層疊體的說明圖。附圖標記10 軸12軸固定部13緊定螺栓嵌合部25玻璃基板層疊體26緊定螺栓60玻璃基板61 墊片具體實施例方式以下，參照附圖對用于實施本專利技術的方式進行說明，但本專利技術并未限定于下述實施方式，在不脫離本專利技術的范圍的情況下能夠對下述實施方式加以各種變形及替代。第一實施方式在本實施方式中，對本專利技術的玻璃基板層疊工具進行說明。在進行玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨時使用的本專利技術的玻璃基板層疊工具具有以下結構，其中所述玻璃基板層疊體為將用于磁記錄介質的在中心部具有圓孔的圓盤形狀的玻璃基板層疊而成。首先，本專利技術的玻璃基板層疊工具具有軸，所述軸被插入到磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述磁記錄介質用玻璃基板層疊體的內周端面，進行磁記錄介質用玻璃基板的對位。而且，所述軸分別形成有在軸的兩端嵌合緊定螺栓的緊定螺栓嵌合部、和在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體的軸固定部。以下，對上述玻璃基板層疊工具進行說明。圖1表示構成本專利技術的玻璃基板層疊工具的軸。軸10具有內周支撐部(軸部)11、設置于軸上的軸固定部(玻璃基板層疊體保持部)12及設置于內周支撐部的兩端的緊定螺栓嵌合部13。此處，軸10的材料雖然并未特別限定，但為了在端面研磨工序中保持玻璃基板層疊體，優選具有一定的強度。例如，可適宜使用不銹鋼、鋼鐵、鋁等各種金屬，但優選不易生銹、具有強度的材料，更優選使用不銹鋼。 軸10在存取玻璃基板時或在進行端面研磨工序時，有時與玻璃基板的內周部接觸而在其表面產生損傷或發生變形，成為加工精度降低的原因。為避免這樣的情況，優選軸和軸固定部的至少與磁記錄介質用玻璃基板接觸的部分通過保護膜進行涂層。特別是更優選除了緊定螺栓嵌合部13以外的軸10整體的表面通過保護膜進行涂層。作為保護膜，能夠使用鍍硬鉻等的金屬(電鍍)膜、氧化鉻等陶瓷膜、類金剛石鍍膜(以下簡稱為DLC膜)等，但從膜的強度和膜厚控制的難易性來看特別優選使用DLC膜。此外，對保護膜的膜厚并未特別限定，能夠考慮膜的強度、耐磨損性、部件的使用頻率或成本等而進行選擇，但從該目的來看優選較厚的，例如當選擇DLC膜時優選膜厚為2 μ m以上，更優選為4 μ m以上。對于軸的內周支撐部11的粗細，優選與玻璃基板層疊體的內徑大致相同。這是由于，玻璃基板層疊體被層疊、支撐于內周支撐部，所以通過減小內周支撐部與玻璃基板層疊體的內周部之間的間隔，使得玻璃基板的定位精度提高，加工精度提高。然而，當玻璃基板的內周部與內周支撐部的間隔過小時，在裝卸玻璃基板層疊體時，有可能給玻璃基板帶來損傷，因此優選考慮在裝卸玻璃基板時的操作精度等來選擇該間隔。此外，此處所說的軸的軸部的直徑在該表面上具有保護膜的情況下也包含保護膜的厚度在內。而且，構成軸的軸固定部12是固定于軸的軸上的具有圓柱形狀的部件，具有支撐被插入到內周支撐部11的玻璃基板層疊體的下端部的作用。因此，優選軸固定部12的外徑以比構成玻璃基板層疊體的玻璃基板的內徑大且比玻璃基板的外徑小的方式構成。而且，優選軸固定部12的上表面即支撐玻璃基板層疊體一側的面的至少一部分以與內周支撐部11垂直的方式構成。通過具有該結構，能夠牢固地固定玻璃基板層疊體，因此能夠在移動時或在研磨工序中防止玻璃基板層疊體損傷，提高加工精度。而且，優選軸固定部12以能夠在軸的軸上調整其位置的方式構成。這是由于通過軸固定部的位置發生變化，而能夠與各種厚度的玻璃基板層疊本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種玻璃基板層疊工具，用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內周端面，進行所述磁記錄介質用玻璃基板的對位，所述軸具備：緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。

【技術特征摘要】
2011.09.26 JP 2011-2099271.一種玻璃基板層疊工具,用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內周端面，進行所述磁記錄介質用玻璃基板的對位，所述軸具備緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。2.根據權利要求1所述的玻璃基板層疊工具，其中，所述玻璃基板層疊工具在進行所述玻璃基板層疊體的外周端面研磨時具有能夠與所述緊定螺栓嵌合部嵌合的緊定螺栓。3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板層疊工具，其中，所述玻璃基板層疊工具在進行所述玻璃基板層疊體的內周端面研磨時還具有內周端面研磨工具，該內周端面研磨工具為能夠將所述玻璃基板層疊體固定在內部的結構，所述內周端面研磨工具在將所述玻璃基板層疊體固定在所述內周端面研磨工具的內部后能夠抽出所述軸。4.根據權利要求廣3中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，在所述緊定螺栓的一方的端部凸出設置有軸嵌合部，所述軸嵌合部從前端部開始依次具有未形成螺紋牙的凸型圓筒部及螺紋部，所述緊定螺栓嵌合部具有與軸嵌合部的形狀相對應的凹型圓筒部及螺紋部，所述凸型圓筒部與所述凹型圓筒部以相互嵌合的方式構成。5.根據權利要求廣4中...

【專利技術屬性】
技術研發人員：山先達也，赤堀正憲，坂本高志，
申請(專利權)人：旭硝子株式會社，
類型：發明
國別省市：