研磨硅片用夾具制造技術

本發(fā)明專利技術提供了研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設有夾緊板，其特征在于，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接，夾緊板夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松動時，硅片在彈簧彈力的作用下，自動調(diào)節(jié)，避免硅片松開，且本發(fā)明專利技術結構簡單。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術涉及一種夾具，特別涉及一種研磨硅片用夾具，屬于硅片加工的

技術介紹
在硅片加工過程中，將硅棒加工成硅片后，硅片上會產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影響后續(xù)加工的質(zhì)量，要將該不規(guī)則邊去除。傳統(tǒng)的去除不規(guī)則邊的工序是將硅片用膠粘合在一起，再將不規(guī)則邊研磨掉。但是將娃片粘合在一起存在以下缺點1、尺寸研磨工序結束后，進行表面研磨工序時，要先將粘合在一起的硅片通過溶解或清洗的方法分開，從而，增加了硅片的損壞率。2、由于硅片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過清洗會將膠液去除，但仍會有殘余的化合物留存，從而，影響硅片表面的平整度，給下道工序增加難度。為了解決上述技術問題，近來，出現(xiàn)了 一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內(nèi)設有夾緊板及鎖緊螺桿，鎖緊螺桿一端插入定位夾內(nèi)，并頂在夾緊板上，使用時，將硅片排列整齊的放在空位夾內(nèi)，調(diào)節(jié)鎖緊螺桿，使夾緊板將硅片夾緊，該夾具解決了上述技術問題，但該夾具是通過鎖緊螺桿推動夾緊板，實現(xiàn)硅片夾緊的，使用時，硅片與夾緊板之間沒有任何緩沖，研磨過程中，容易使硅片產(chǎn)生損壞。
技術實現(xiàn)思路
本專利技術所要解決的技術問題是提供一種結構簡單的研磨硅片用夾具，該夾具可避免研磨過程中，硅片的損壞。為了解決上述技術問題，本專利技術研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設有夾緊板，其中，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接。上述的研磨硅片用夾具，其中，所述彈簧為碟簧。本專利技術可實現(xiàn)以下有益效果 由于所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接，夾緊板夾緊硅片后，研磨過程中硅片因震動松動時，硅片在彈簧彈力的作用下，自動調(diào)節(jié)，避免硅片松開，且本專利技術結構簡單。附圖說明圖1是本專利技術的結構示意圖。具體實施例方式下面結合附圖對本專利技術作進一步說明。為了解決上述技術問題，本專利技術研磨硅片用夾具，包括定位夾1，夾緊板2，夾緊裝置，定位夾I內(nèi)設有夾緊板2，所述夾緊裝置包括連接板3，所述連接板4固定設有所述定位夾I內(nèi)壁上，所述連接板3與所述夾緊板2相平行，所述連接板3與所述夾緊板2之間設有彈簧5，所述彈簧5兩端分別與所述連接板3及所述夾緊板2固定連接。彈簧5的數(shù)量不受限制，可以為一個，兩個或多個，根據(jù)具體要求進行設計。本實施例中優(yōu)選彈簧5為碟簧，彈簧5數(shù)量為五個，彈簧5分布在連接板的四個角落及中心部位。工作時，將硅片卡在夾緊板與定位夾之間，將彈簧5壓緊，通過彈簧5的反作用力，將硅片夾緊。這里本專利技術的描述和應用是說明性的，并非想將本專利技術的范圍限制在上述實施例中，因此，本專利技術不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術方案均在本專利技術保護的范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設有夾緊板，其特征在于，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接。

【技術特征摘要】
1.研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設有夾緊板，其特征在于，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：聶金根，
申請(專利權)人：鎮(zhèn)江市港南電子有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：