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本發(fā)明提供了研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設(shè)有夾緊板，其特征在于，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設(shè)有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設(shè)有至少一個(gè)彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連...該專利屬于鎮(zhèn)江市港南電子有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過鎮(zhèn)江市港南電子有限公司授權(quán)不得商用。