氯硅烷精餾過程中氯硅烷廢氣、廢液回收工藝制造技術

本發(fā)明專利技術涉及一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝。它將氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生的含有氯硅烷的廢氣經(jīng)過換熱器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作為冷凍源在1-2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，將冷凝下來的氯硅烷液體和氯硅烷精餾提純系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生的廢液混合后送入篩板精餾塔，用蒸汽加熱，在1-2公斤的壓力和精餾塔釜溫度在80-100℃的條件下將PCL3、ALCL3通過塔釜分離出去。本發(fā)明專利技術不影響系統(tǒng)的正常運行和產(chǎn)品的質(zhì)量，最大限度的回收廢氣、廢液中的三氯氫硅和四氯化硅，大幅度降低生產(chǎn)成本，同時大大降低了后續(xù)系統(tǒng)對廢氣、廢液處理的難度。本發(fā)明專利技術在實際應用中氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中廢氣、廢液中三氯氫硅和四氯化硅的再次回收率達到了80％以上，處理效果較好。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】
氯硅烷精餾過程中氯硅烷廢氣、廢液回收工藝
本專利技術涉及一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝。它可以最大限度的回收廢氣、廢液中的三氯氫硅和四氯化硅，大幅度降低生產(chǎn)成本，同時大大降低了后續(xù)系統(tǒng)對廢氣、廢液處理的難度。二、
技術介紹
傳統(tǒng)多晶硅生產(chǎn)采用西門子法，該工藝流程為開路系統(tǒng)，原輔材料單耗指標高、綜合回收差、能耗高。目前，國內(nèi)大多采用西門子改良法制備多晶硅。該方法采用大型還原爐、SiHC13氫化和尾氣干法回收工藝，可明顯降低能耗和原輔材料的消耗，但是國內(nèi)企業(yè)在三氯氫硅精餾方面普遍面臨浪費問題，具體可分為以下問題1、精懼塔廢液排放量難以控制,為了保證產(chǎn)品質(zhì)量而致使廢液量加大；2、精餾塔塔體壓力波動，造成廢氣量的增加；3、廢氣、廢液量的增加使得廢氣、廢液回收處理單元的成本增加。三、
技術實現(xiàn)思路
本專利技術的目的是提供一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝，本專利技術可以最大限度的回收廢氣、廢液中的三氯氫硅和四氯化硅，大幅度降低生產(chǎn)成本，同時大大降低了后續(xù)系統(tǒng)對廢氣、廢液處理的難度。本專利技術的目的是這樣來完成的氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝，它將氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生的含有氯硅烷(三氯氫硅、四氯化硅及金屬氯化物)的廢氣經(jīng)過換熱器，用5-20M3/h，零下20°C的乙二醇作為冷凍源在1-2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，將冷凝下來的氯硅烷液體和氯硅烷精餾提純系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生的廢液混合后送入篩板精餾塔，用蒸汽加熱，在1-2公斤的塔頂壓力和精餾塔釜溫度在80-100°C的條件下將PCL3、ALCL3通過塔釜分離出去。氯硅烷精餾提純產(chǎn)生的廢氣首先進入換熱器進行冷凝處理，冷凝液體進入廢液罐儲存；氯硅烷精餾提純系統(tǒng)產(chǎn)生的廢液直接送入廢液罐儲存，然后通過屏蔽泵將廢液打入篩板式精餾塔，通過蒸汽進行加熱，控制進料管線和塔釜出料管線上的調(diào)節(jié)閥，控制加熱溫度在80-100°C，PCL3> ALCL3通過塔釜分離出去，塔頂精餾出的氯硅烷氣體通過循環(huán)水換熱器冷凝后送入原生氯硅烷儲罐并重新進入氯硅烷精餾提純系統(tǒng)。本專利技術多晶硅生產(chǎn)中含氯硅烷廢氣、廢液的燃燒處理工藝的特點在于不會影響系統(tǒng)的正常運行和產(chǎn)品的質(zhì)量，最大限度的回收廢氣、廢液中的三氯氫硅和四氯化硅，大幅度降低生產(chǎn)成本，同時大大降低 了后續(xù)系統(tǒng)對廢氣、廢液處理的難度。本專利技術氯硅烷精餾過程中氯硅烷廢氣、廢液回收工藝，在實際應用中氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中廢氣、廢液中三氯氫硅和四氯化硅的再次回收率達到了 80%以上，處理效果較好。四附圖說明附圖1氯硅烷精餾過程中氯硅烷廢氣、廢液回收工藝流程圖五具體實施方式下在結合附圖及實施例來對本專利技術作進一步詳細描述參照附圖，本專利技術將氯硅烷精餾提純產(chǎn)生的廢氣首先進入換熱器進行冷凝處理， 冷凝液體進入廢液罐儲存，將不凝氣體直接排放；氯硅烷精餾提純系統(tǒng)產(chǎn)生的廢液直接送入廢液罐儲存，冷凝處理用5-20M3/h，零下20°C的乙二醇作為冷凍源在1-2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，待兩種液體混合后通過屏蔽泵將廢液打入篩板式精餾塔，用蒸汽對再沸器進行加熱，提升塔體壓力至1-2公斤，通過控制進料管線調(diào)節(jié)閥，來維持液位和溫度，待塔釜溫度達到90°C以上時將塔釜出料管線調(diào)節(jié)閥打開，將含有PCL3、 ALCL3的廢液直接排放，塔頂精 餾出的氯硅烷氣體通過循環(huán)水換熱器冷凝后送入原生氯硅燒儲te并重新進入氣娃燒精懼提純系統(tǒng)。權利要求1.一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝，其特征在于將氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過換熱器，用5-20M3/h，零下20°C的乙二醇作為冷凍源在1-2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，將冷凝下來的氯硅烷液體和氯硅烷精餾提純系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生的廢液混合后送入篩板精餾塔，用蒸汽加熱，在1-2公斤的壓力和精餾塔釜溫度在80-100°C的條件下將PCL3、ALCL3通過塔釜分離出去。2.如權利要求1所述的氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生廢氣、廢液的回收工藝，其特征在于氯硅烷精餾提純產(chǎn)生的廢氣首先進入換熱器進行冷凝處理，冷凝液體進入廢液罐儲存； 氯硅烷精餾提純系統(tǒng)產(chǎn)生的廢液直接送入廢液罐儲存，然后通過屏蔽泵將廢液打入篩板式精餾塔，通過蒸汽進行加熱，控制進料管線和塔釜出料管線上的調(diào)節(jié)閥，控制加熱溫度在 80-100°C，pcl3>alcl3通過塔釜分離出去，塔頂精餾出的氯硅烷氣體通過循環(huán)水換熱器冷凝后送入原生氯硅烷儲罐并重新進入氯硅烷精餾提純系統(tǒng)。全文摘要本專利技術涉及一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝。它將氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生的含有氯硅烷的廢氣經(jīng)過換熱器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作為冷凍源在1-2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，將冷凝下來的氯硅烷液體和氯硅烷精餾提純系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生的廢液混合后送入篩板精餾塔，用蒸汽加熱，在1-2公斤的壓力和精餾塔釜溫度在80-100℃的條件下將PCL3、ALCL3通過塔釜分離出去。本專利技術不影響系統(tǒng)的正常運行和產(chǎn)品的質(zhì)量，最大限度的回收廢氣、廢液中的三氯氫硅和四氯化硅，大幅度降低生產(chǎn)成本，同時大大降低了后續(xù)系統(tǒng)對廢氣、廢液處理的難度。本專利技術在實際應用中氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中廢氣、廢液中三氯氫硅和四氯化硅的再次回收率達到了80％以上，處理效果較好。文檔編號C01B33/107GK102992328SQ20121030328公開日2013年3月27日 申請日期2012年8月17日 優(yōu)先權日2012年8月17日專利技術者蒯偉, 王航舟, 秦西鳴, 宋安寧, 鄭斌 申請人:陜西天宏硅材料有限責任公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝，其特征在于：將氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過換熱器，用5?20M3/h，零下20℃的乙二醇作為冷凍源在1?2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，將冷凝下來的氯硅烷液體和氯硅烷精餾提純系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生的廢液混合后送入篩板精餾塔，用蒸汽加熱，在1?2公斤的壓力和精餾塔釜溫度在80?100℃的條件下將PCL3、ALCL3通過塔釜分離出去。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：蒯偉，王航舟，秦西鳴，宋安寧，鄭斌，
申請(專利權)人：陜西天宏硅材料有限責任公司，
類型：發(fā)明
國別省市：