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本發(fā)明涉及一種氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中含氯硅烷氣體的廢氣、廢液回收工藝。它將氯硅烷精餾提純系統(tǒng)中產(chǎn)生的含有氯硅烷的廢氣經(jīng)過換熱器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作為冷凍源在1-2公斤的壓力條件下將廢氣中的DCS、BCL3分離出去，將冷凝...該專利屬于陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。