等離子顯示面板及其制造方法技術

本發明專利技術提供一種等離子顯示面板及其制造方法。等離子顯示面板的制造方法包括：通過在前面基板的中央分為第1電極區域與第2電極區域這兩個區域進行分割曝光來形成總線電極；通過在背面基板的中央分為第1隔壁區域與第2隔壁區域這兩個區域進行分割曝光來形成隔壁；在第1電極區域與第2電極區域的邊界附近求取第1電極區域的開口率及第2電極區域的開口率；在第1隔壁區域與第2隔壁區域的邊界附近求取第1隔壁區域的開口率及第2隔壁區域的開口率；求取從第1電極區域的開口率與第1隔壁區域的開口率相乘而得到的值減去第2電極區域的開口率與第2隔壁區域的開口率相乘而得到的值后得到的第1差分值；以及根據各差分值的絕對值來對置配置電極區域與隔壁區域。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
在此公開的技術涉及顯示設備等所利用的。
技術介紹
公知在制造等離子顯示面板(以下、稱為rop)之際會利用光刻法。再有，在基板尺寸較大的情況下，利用的是將曝光區域分為多個區域后進行曝光的分割曝光法(例如參照專利文獻I)。在先技術文獻專利文獻專利文獻IJP特開2007-200879號公報
技術實現思路
PDP的制造方法包括通過將被設于前面基板上的包含感光性成分的電極膏劑層在前面基板的中央分為第I電極區域與第2電極區域這兩個區域進行分割曝光，從而形成總線電極；通過將被設于背面基板上的包含感光性成分的隔壁膏劑層在背面基板的中央分為第I隔壁區域與第2隔壁區域這兩個區域進行分割曝光，從而形成隔壁；在第I電極區域與第2電極區域的邊界附近求取第I電極區域的開口率及第2電極區域的開口率；在第I隔壁區域與第2隔壁區域的邊界附近求取第I隔壁區域的開口率及第2隔壁區域的開口率；在配置為第I電極區域與第I隔壁區域對置的情況下，求取從第I電極區域的開口率與第I隔壁區域的開口率相乘而得到的值減去第2電極區域的開口率與第2隔壁區域的開口率相乘而得到的值后得到的第I差分值；在配置為第I電極區域與第2隔壁區域對置的情況下，求取從第I電極區域的開口率與第2隔壁區域的開口率相乘而得到的值減去第2電極區域的開口率與第I隔壁區域的開口率相乘而得到的值后得到的第2差分值；以及在第I差分值的絕對值小于第2差分值絕對值的情況下，配置為第I電極區域與第I隔壁區域對置，而在第I差分值的絕對值大于第2差分值的絕對值的情況下，配置為第I電極區域與第2隔壁區域對置。PDP是通過制造方法而制造出的，該制造方法包括通過將被設于前面基板上的包含感光性成分的電極膏劑層在前面基板的中央分為第I電極區域與第2電極區域這兩個區域進行分割曝光，從而形成總線電極；通過將被設于背面基板上的包含感光性成分的隔壁膏劑層在背面基板的中央分為第I隔壁區域與第2隔壁區域這兩個區域進行分割曝光，從而形成隔壁；在第I電極區域與第2電極區域的邊界附近求取第I電極區域的開口率及第2電極區域的開口率；在第I隔壁區域與第2隔壁區域的邊界附近求取第I隔壁區域的開口率及第2隔壁區域的開口率；在配置為第I電極區域與第I隔壁區域對置的情況下，求取從第I電極區域的開口率與第I隔壁區域的開口率相乘而得到的值減去第2電極區域的開口率與第2隔壁區域的開口率相乘而得到的值后得到的第I差分值；在配置為第I電極區域與第2隔壁區域對置的情況下，求取從第I電極區域的開口率與第2隔壁區域的開口率相乘而得到的值減去第2電極區域的開口率與第I隔壁區域的開口率相乘而得到的值后得到的第2差分值；以及在第I差分值的絕對值小于第2差分值絕對值的情況下，配置為第I電極區域與第I隔壁區域對置，而在第I差分值的絕對值大于第2差分值的絕對值的情況下，配置為第I電極區域與第2隔壁區域對置。附圖說明圖I是表示PDP的示意結構的立體圖。圖2是表示I3DP的放電單元結構的示意圖。圖3是表示在本實施方式涉及的分割曝光中對基板的左區域進行曝光的狀態的圖。圖4是圖3中的4-4線剖視圖。·圖5是表示在本實施方式涉及的分割曝光中對基板的右區域進行曝光的狀態的圖。圖6是圖5中的6-6線剖視圖。圖7是表示本實施方式涉及的I3DP的制造流程的一部分的圖。圖8是從形成有總線電極的一側觀察本實施方式涉及的前面基板的圖。圖9是從形成有縱隔壁的一側觀察本實施方式涉及的背面基板的圖。圖10是表示配置為前面基板的區域A和背面基板的區域A對置的狀態的圖。圖11是將圖10中的銜接部附近放大之后的圖。圖12是表示配置為前面基板的區域A與背面基板的區域B對置的狀態的圖。圖13是將圖12中的銜接部附近放大之后的圖。圖14是表示總線電極與隔壁的線寬度差測量結果的圖。圖15是表示利用了圖14所示的前面板與背面板的情況下的亮度差的計算值和實測值的圖。具體實施例方式如圖I所示，PDP100由前面板I與背面板2構成。前面板I和背面板2對置配置。在前面板I與背面板2之間設置放電空間。作為放電氣體，向放電空間內封入例如氖(Ne)與氣(Xe)的混合氣體。前面板I在玻璃制的前面基板3上具有多個掃描電極4和多個維持電極5。掃描電極4與維持電極5被設置為平行。進而，在前面基板3設置有覆蓋掃描電極4及維持電極5的電介質層6。電介質層6上設置有由氧化鎂(MgO)等構成的保護層7。掃描電極4具有透明電極4a和層疊于透明電極4a上的總線電極4b。維持電極5具有透明電極5a和層疊于透明電極5a上的總線電極5b。背面板2在玻璃制的背面基板8上設置有多個數據電極10。進而，背面基板8上設置有覆蓋數據電極10的基底電介質層9。基底電介質層9上設置有對放電空間進行劃分的多個隔壁U。作為一例，隔壁11是具有縱隔壁21以及與縱隔壁21正交的橫隔壁22的井沿形狀。在多個隔壁11之間設置有熒光體層12。在從正面觀察ropioo的情況下，數據電極10和掃描電極4及維持電極5交叉。在掃描電極4及維持電極5和數據電極10的交叉部分形成多個放電單元。另外，為了提高對比度，掃描電極4與維持電極5之間也可以設置黑色的遮光層13。此外，PDP100并未限于上述構成。例如，也可以是包括帶狀隔壁11的構成。再有，圖I中示出了交替地排列掃描電極4與維持電極5的例子。但是，也可以像掃描電極4、維持電極5、維持電極5、掃描電極4那樣排列的電極排列的構成。通過光刻法，在前面基板3上形成掃描電極4及維持電極5。詳細內容后述。接著，形成電介質層6。電介質層6的材料利用的是包含電介質玻璃料、樹脂與溶·劑等的電介質膏劑。首先，通過壓模涂敷法等，以規定的厚度按照覆蓋掃描電極4及維持電極5的方式在前面基板3上涂敷電介質膏劑。接著，通過干燥爐，除去電介質膏劑中的溶劑。最后，通過燒成爐，以規定的溫度燒成電介質膏劑。也就是說，除去電介質膏劑中的樹脂。再有，電介質玻璃料軟化。軟化后的電介質玻璃料在燒成后再度固化。通過以上的工序，形成電介質層6。在此，除了對電介質膏劑進行壓模涂敷的方法以外，還可以利用絲網印刷法、旋轉涂敷法等。再有，也可以不利用電介質膏劑而是通過CVD (Chemical Vapor Deposition)法等來形成成為電介質層6的膜。接著，在電介質層6上形成由氧化鎂(MgO)等構成的保護層7。作為一例，藉由EB (Electron Beam)蒸鍍裝置來形成保護層7。保護層7的材料為單晶體的MgO構成的小球(pellet)。在小球中，也可以進一步添加招(Al)、娃(Si)等作為雜質。首先，對被配置于EB蒸鍍裝置的成膜室內的小球照射電子束。接受了電子束的能量的小球蒸發。蒸發后的MgO附著于被配置在成膜室內的電介質層6上。根據電子束的強度、成膜室的壓力等，將MgO的膜厚調整為收斂在規定的范圍內。另外，保護層7除了 MgO以外，還可以利用與氧化鈣(CaO)的混合膜、或者包含氧化鍶(SrO)、氧化鋇(BaO)、氧化鋁(Al2O3)等金屬氧化物的膜。再有，也可以利用包含多種金屬氧化物的膜。通過以上的工序，在前面基板3上具有掃描電極4、維持電極5、電介質層6及保護層7的前面板I完成。如圖I所示，通過光刻法在背面基板8上形成數據電極10。數據電極10的材料利用的是包含用于確本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：中島徹，上田健太郎，小林宏史，瀨戶信行，
申請(專利權)人：松下電器產業株式會社，
類型：
國別省市：