本發明專利技術提供了一種液體靜壓運動平臺，包括：主體，其包括滑臺、導軌和底座；所述導軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺；驅動裝置，其包括動子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺的上表面；位置檢測裝置，其包括光柵尺和讀數頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺的側表面，其刻度面與所述讀數頭貼合；所述讀數頭固定在所述導軌上。該液體靜壓運動平臺由于采用直線電機驅動，避免了滾珠絲桿傳動的回程誤差問題；配備用于運動誤差補償的位置檢測裝置，所以提高了平臺的運動精度。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及精密運動平臺領域，具體而言，涉及一種液體靜壓運動平臺。
技術介紹
液體靜壓運動平臺以壓力將液體導入油腔，在滑臺與導軌間形成油膜，憑借油膜使滑臺和導軌接觸面間處于液體摩擦狀態。與機械導軌平臺相比，其在驅動功率、使用壽命、承載力、抗振性、靈活性等方面都具備優勢。相關的液體靜壓運動平臺采用開環、半閉環循環控制方式，通過旋轉電機帶動滾珠絲桿驅動滑臺在導軌上動作。然而這種構造存在缺陷，電機振動和絲杠傳動誤差都會對平臺的運動精度造成影響。
技術實現思路
本專利技術旨在提供一種液體靜壓運動平臺，以解決上述的問題。在本專利技術的實施例中，提供了一種液體靜壓運動平臺，包括主體，其包括滑臺、導軌和底座；所述導軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺；驅動裝置，其包括動子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺的上表面；位置檢測裝置，其包括光柵尺和讀數頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺的側表面，其刻度面與所述讀數頭貼合；所述讀數頭固定在所述導軌上。本專利技術因為采用直線電機以磁力場方式驅動，消除了滾珠絲桿帶來的回程誤差問題；同時采用高精度光柵尺進行誤差補償，所以提高了平臺的運動精度。附圖說明此處所說明的附圖用來提供對本專利技術的進一步理解，構成本申請的一部分，本專利技術的示意性實施例及其說明用于解釋本專利技術，并不構成對本專利技術的不當限定。在附圖中圖I示出了根據本專利技術實施例的液體靜壓運動平臺的內部結構示意圖。具體實施例方式下面將參考附圖并結合實施例，來詳細說明本專利技術。圖I示出了根據本專利技術實施例的液體靜壓運動平臺，包括主體，其包括滑臺I、導軌2和底座3 ;所述導軌2安裝在所述底座3上，其槽中嵌入所述滑臺I ;驅動裝置，其包括動子4、定子5和三路分油塊6 ;所述定子5安裝在所述底座3上；所述動子4其一端嵌入所述定子5的槽中，其另一端固定在所述滑臺I的下表面；所述三路分油塊6安裝在所述滑臺I的上表面；位置檢測裝置，其包括光柵尺7和讀數頭8 ;所述光柵尺7安裝在所述滑臺I的側表面，其刻度面與所述讀數頭8貼合；所述讀數頭8固定在所述導軌2上。本專利技術因為采用直線電機以磁力場方式驅動，所以避免了滾珠絲桿傳動的回程誤差問題；同時采用高精度光柵尺進行誤差補償，所以提高了平臺的運動精度。優選地，主體還包括導軌支撐件9 ;兩條導軌2通過兩條導軌支撐件9對稱地安裝在底座3上；滑臺I通過兩個滑動端分別嵌入兩條導軌2中。優選地，驅動裝置還包括動子安裝座10，動子4通過動子安裝座10安裝在滑臺I的下表面。優選地，驅動裝置還包括定子安裝座11，定子5通過定子安裝座11安裝在底座3上。優選地，驅動裝置還包括拖鏈12，其側面與定子5貼合，底面固定在底座3上。優選地，位置檢測裝置還包括讀數頭安裝座13，讀數頭8通過讀數頭安裝座13安 裝在導軌2上。優選地，光柵尺7為分辨率Inm的陶瓷光柵尺。該液體靜壓運動平臺以直線電機替代伺服電機進行驅動，通過磁力場使動子和定子相互作用，從而驅動工作臺運動；配置分辨率Inm的陶瓷光柵尺作為位置檢測裝置。該液體靜壓運動平臺的驅動無需滾珠絲桿傳動，所以消除了滾珠絲桿引起的回程誤差問題；通過配置高精度的位置檢測裝置進行誤差補償，所以提高了平臺的運動精度。從以上描述可以看出，本液體靜壓運動平臺具有以下有益效果I、配置高精度的位置檢測裝置，實現平臺運動過程的誤差補償，提高重復定位的精度；2、采用直線電機的驅動方式，進行全閉環的循環控制，降低系統能耗，延長設備使用壽命；3、組成平臺的零件都是獨立、可拆卸的，能根據實際情況需要進行靈活的變更設計，降低制造成本。以上所述僅為本專利技術的優選實施例而已，并不用于限制本專利技術，對于本領域的技術人員來說，本專利技術可以有各種更改和變化。凡在本專利技術的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本專利技術的保護范圍之內。權利要求1.一種液體靜壓運動平臺，其特征在于，包括 主體，其包括滑臺(I)、導軌(2)和底座(3);所述導軌(2)安裝在所述底座(3)上，其槽中嵌入所述滑臺(I); 驅動裝置，其包括動子(4)、定子(5)和三路分油塊(6);所述定子(5)安裝在所述底座(3)上；所述動子(4)其一端嵌入所述定子(5)的槽中，其另一端固定在所述滑臺(I)的下表面；所述三路分油塊(6)安裝在所述滑臺(I)的上表面； 位置檢測裝置，其包括光柵尺(7 )和讀數頭(8 );所述光柵尺(7 )安裝在所述滑臺(I)的側表面，其刻度面與所述讀數頭(8)貼合；所述讀數頭(8)固定在所述導軌(2)上。2.根據權利要求I所述的液體靜壓運動平臺，其特征在于，所述主體還包括導軌支撐件(9);兩條所述導軌(2)通過兩條所述導軌支撐件(9)對稱地安裝在所述底座(3)上；所述滑臺(I)通過兩個滑動端分別嵌入兩條所述導軌(2)中。3.根據權利要求2所述的液體靜壓平臺，其特征在于，所述驅動裝置還包括動子安裝座(10)，所述動子(4)通過所述動子安裝座(10)安裝在所述滑臺(I)的下表面。4.根據權利要求3所述的液體靜壓平臺，其特征在于，所述驅動裝置還包括定子安裝座(11)，所述定子(5 )通過所述定子安裝座(11)安裝在所述底座(3 )上。5.根據權利要求4所述的液體靜壓平臺，其特征在于，所述驅動裝置還包括拖鏈(12)，其側面與所述定子(5)貼合，底面固定在所述底座(3)上。6.根據權利要求5所述的液體靜壓平臺，其特征在于，所述位置檢測裝置還包括讀數頭安裝座(13 )，所述讀數頭(8 )通過所述讀數頭安裝座(13)安裝在所述導軌(2 )上。7.根據權利要求6所述的液體靜壓平臺，其特征在于，所述光柵尺(7)為分辨率Inm的陶瓷光柵尺。全文摘要本專利技術提供了一種液體靜壓運動平臺，包括主體，其包括滑臺、導軌和底座；所述導軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺；驅動裝置，其包括動子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺的上表面；位置檢測裝置，其包括光柵尺和讀數頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺的側表面，其刻度面與所述讀數頭貼合；所述讀數頭固定在所述導軌上。該液體靜壓運動平臺由于采用直線電機驅動，避免了滾珠絲桿傳動的回程誤差問題；配備用于運動誤差補償的位置檢測裝置，所以提高了平臺的運動精度。文檔編號B23Q1/38GK102950474SQ201210473489公開日2013年3月6日 申請日期2012年11月20日 優先權日2012年11月20日專利技術者趙春花 申請人:昆山允可精密工業技術有限公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種液體靜壓運動平臺，其特征在于，包括：主體，其包括滑臺（1）、導軌（2）和底座（3）；所述導軌（2）安裝在所述底座（3）上，其槽中嵌入所述滑臺（1）；驅動裝置，其包括動子（4）、定子（5）和三路分油塊（6）；所述定子（5）安裝在所述底座（3）上；所述動子（4）其一端嵌入所述定子（5）的槽中，其另一端固定在所述滑臺（1）的下表面；所述三路分油塊（6）安裝在所述滑臺（1）的上表面；位置檢測裝置，其包括光柵尺（7）和讀數頭（8）；所述光柵尺（7）安裝在所述滑臺（1）的側表面，其刻度面與所述讀數頭（8）貼合；所述讀數頭（8）固定在所述導軌（2）上。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙春花，
申請(專利權)人：昆山允可精密工業技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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