本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)公開(kāi)了一種用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件，包括上液體靜壓軸承、下液體靜壓軸承、止推環(huán)、與旋轉(zhuǎn)件連接的內(nèi)套以及與固定件連接的外套，所述內(nèi)套上部設(shè)有止推軸肩，所述止推環(huán)固定于所述內(nèi)套下部，所述外套套設(shè)于內(nèi)套外，所述外套內(nèi)壁上設(shè)有止推凸臺(tái)，所述止推凸臺(tái)位于止推軸肩和止推環(huán)之間，所述上液體靜壓軸承裝設(shè)于止推軸肩與止推凸臺(tái)之間，所述下液體靜壓軸承裝設(shè)于止推凸臺(tái)與止推環(huán)之間。該用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、可快速便捷的對(duì)其進(jìn)行拆裝、便于對(duì)其進(jìn)行檢修、回轉(zhuǎn)精度高、非常適合于精密超精密研磨加工的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)還公開(kāi)了一種研磨拋光機(jī)，其下研磨盤(pán)主軸通過(guò)上述的支承組件驅(qū)動(dòng)。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承結(jié)構(gòu)以及精密超精密研磨拋光機(jī)，尤其涉及用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件及研磨拋光機(jī)。技術(shù)背景精密超精密研磨拋光機(jī)主要用于對(duì)藍(lán)寶石襯底、水晶、硅片、光電材料、光學(xué)玻璃、手機(jī)玻璃、手機(jī)觸摸屏、陶瓷片、石英片、石墨密封環(huán)和硅晶圓等非金屬材質(zhì)的單面、雙面研磨，還能用于對(duì)銅、鐵、鋁、不銹鋼、模具鋼、塑料、鋁合金、鋅合金、鈦合金、鎳合金、錫合金、硬質(zhì)合金、碳鋼和鎢鋼等各種金屬材質(zhì)的單面、雙面研磨加工。研磨拋光機(jī)的轉(zhuǎn)子作為核心部件，其性能的高低直接影響到精密超精密研磨拋光機(jī)的整體水平，而轉(zhuǎn)子軸承對(duì)機(jī)床的平穩(wěn)運(yùn)行有著重要的影響。目前，應(yīng)用于精密超精密研磨拋光機(jī)的轉(zhuǎn)子主要為滾動(dòng)軸承支撐的部件。其不足之處在于(1)該轉(zhuǎn)子部件不是單獨(dú)的功能部件，不能單獨(dú)設(shè)計(jì)制造，裝配到整體研磨拋光機(jī)的精度依賴(lài)于套筒和內(nèi)部軸系的精度，裝配周期長(zhǎng)，成本高，裝配精度不宜保證，維修拆卸困難；(2)滾動(dòng)軸承部件中的滾動(dòng)軸承是在接觸狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)工作，不可避免的存在摩擦磨損和疲勞磨損，使用壽命較短，工作一段時(shí)間之后，必須拆開(kāi)主軸進(jìn)行維修。因此現(xiàn)有的精密超精密研磨拋光機(jī)的轉(zhuǎn)子不適用于生產(chǎn)周期短、裝配精度高、研磨拋光精度高、維修拆卸方便的要求。液體靜壓軸承由于承載能力強(qiáng)、潤(rùn)滑介質(zhì)具有阻尼減振和“均化”誤差的作用，因此采用液體靜壓軸承作為支承的機(jī)械制造設(shè)備主軸剛性好、回轉(zhuǎn)精度高，非常適合于作為精密超精密磨削設(shè)備的主軸部件。但將液體靜壓轉(zhuǎn)子用于精密超精密研磨拋光機(jī)，需要解決結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中內(nèi)外套筒、上徑向止推軸承、下徑向止推軸承、進(jìn)油回油等結(jié)構(gòu)難題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、可快速便捷的對(duì)其進(jìn)行拆裝、便于對(duì)其進(jìn)行檢修、回轉(zhuǎn)精度高、非常適合于精密超精密研磨加工的用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件以及具有該支承組件的研磨拋光機(jī)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本技術(shù)采用以下技術(shù)方案—種用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件，包括上液體靜壓軸承、下液體靜壓軸承、止推環(huán)、與旋轉(zhuǎn)件連接的內(nèi)套以及與固定件連接的外套，所述內(nèi)套上部設(shè)有止推軸肩，所述止推環(huán)固定于所述內(nèi)套下部，所述外套套設(shè)于內(nèi)套外，所述外套內(nèi)壁上設(shè)有止推凸臺(tái)，所述止推凸臺(tái)位于止推軸肩和止推環(huán)之間，所述上液體靜壓軸承裝設(shè)于止推軸肩與止推凸臺(tái)之間，所述下液體靜壓軸承裝設(shè)于止推凸臺(tái)與止推環(huán)之間。所述上液體靜壓軸承與內(nèi)套相接的一側(cè)設(shè)有上徑向軸承液體靜壓油腔，所述上液體靜壓軸承與止推軸肩相接的一側(cè)設(shè)有上止推軸承液體靜壓油腔。所述下液體靜壓軸承與內(nèi)套相接的一側(cè)設(shè)有下徑向軸承液體靜壓油腔，所述下液體靜壓軸承與止推環(huán)相接的一側(cè)設(shè)有下止推軸承液體靜壓油腔。所述外套上部設(shè)有為上徑向軸承液體靜壓油腔和上止推軸承液體靜壓油腔供油的上進(jìn)油口，所述外套下部設(shè)有為下徑向軸承液體靜壓油腔和下止推軸承液體靜壓油腔供油的下進(jìn)油口。所述上液體靜壓軸承于上止推軸承液體靜壓油腔兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)上泄油環(huán)槽，兩個(gè)上泄油環(huán)槽經(jīng)上液體靜壓軸承上所設(shè)的上連接槽連通，所述下液體靜壓軸承于下止推軸承液體靜壓油腔兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)下泄油環(huán)槽，所述兩個(gè)下泄油環(huán)槽經(jīng)下液體靜壓軸承上所設(shè)的下連接槽連通。所述止推凸臺(tái)與內(nèi)套外側(cè)壁之間形成回油腔，所述外套上設(shè)有與回油腔連通的排油口，所述上液體靜壓軸承上與內(nèi)套相接的一側(cè)設(shè)有上回油通道，所述上回油通道一端與上泄油環(huán)槽和上徑向軸承液體靜壓油腔連通，另一端與回油腔連通，所述下液體靜壓軸承上與內(nèi)套相接的一側(cè)設(shè)有下回油通道，所述下回油通道一端與下泄油環(huán)槽和下徑向軸承液體靜壓油腔連通，另一端與回油腔連通。·所述止推環(huán)與內(nèi)套之間設(shè)有內(nèi)側(cè)密封件，所述止推環(huán)外側(cè)圓周面上設(shè)有外側(cè)密封件安裝槽。一種研磨拋光機(jī)，包括機(jī)架、上研磨盤(pán)、下研磨盤(pán)、上研磨盤(pán)主軸和下研磨盤(pán)主軸，所述上研磨盤(pán)由上研磨盤(pán)主軸驅(qū)動(dòng)，所述下研磨盤(pán)由下研磨盤(pán)主軸驅(qū)動(dòng)，所述下研磨盤(pán)主軸為套設(shè)于上研磨盤(pán)主軸外的空心軸，所述下研磨盤(pán)主軸通過(guò)上述的用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件裝設(shè)于所述機(jī)架上。所述支承組件中的內(nèi)套上端與下研磨盤(pán)主軸固接，下端與用于驅(qū)動(dòng)下研磨盤(pán)的動(dòng)力源連接，所述支承組件中的外套與機(jī)架固定連接。所述研磨拋光機(jī)還包括工件夾持盤(pán)，所述上研磨盤(pán)主軸與下研磨盤(pán)主軸之間設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)所述工件夾持盤(pán)的工件夾持盤(pán)軸系。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于本技術(shù)的用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件，主要由上液體靜壓軸承、下液體靜壓軸承、止推環(huán)、內(nèi)套和外套構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、可快速便捷的對(duì)其進(jìn)行拆裝，便于對(duì)其進(jìn)行檢修；該支承組件可為各種立式軸系提供徑向和軸向支撐，其承載能力強(qiáng)、潤(rùn)滑介質(zhì)具有阻尼減振和“均化”誤差的作用，使立式軸系的主軸運(yùn)行平穩(wěn)且剛性好、回轉(zhuǎn)精度高，非常適合于精密、超精密研磨加工。上止推軸承液體靜壓油腔與上徑向軸承液體靜壓油腔集成在同一上液體靜壓軸承上，下止推軸承液體靜壓油腔與下徑向軸承液體靜壓油腔集成在同一下液體靜壓軸承上，這種結(jié)構(gòu)使得安裝和加工更加方便，可降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。上液體靜壓軸承和下液體靜壓軸承分別開(kāi)設(shè)有獨(dú)立的供油口，可以實(shí)現(xiàn)上下兩個(gè)液體靜壓軸承獨(dú)立供油，從而可以非常方便的調(diào)控上下兩個(gè)液體靜壓軸承中液體靜壓軸承腔內(nèi)的油壓，以滿(mǎn)足不同軸系或是不同工況下對(duì)上下兩個(gè)液體靜壓軸承的各種要求。泄油油路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，可及時(shí)排出、回收油液。在止推環(huán)與內(nèi)套之間設(shè)有內(nèi)側(cè)密封件，以實(shí)現(xiàn)內(nèi)側(cè)的密封，在止推環(huán)外側(cè)圓周面上設(shè)有外側(cè)密封件安裝槽，以便于與立式軸系的相鄰部件配合安裝外側(cè)密封件，從而實(shí)現(xiàn)外側(cè)的密封。本技術(shù)的研磨拋光機(jī)通過(guò)上述的用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件支承下研盤(pán)主軸，其承載能力強(qiáng)、運(yùn)行平穩(wěn)且剛性好、回轉(zhuǎn)精度高，研磨加工精度得到大幅度提升。附圖說(shuō)明圖I是本技術(shù)支承組件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本技術(shù)研磨拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中各標(biāo)號(hào)表不I、上液體靜壓軸承；2、下液體靜壓軸承；3、止推環(huán)；4、內(nèi)套；5、外套；6、回油腔；7、止推螺母；8、內(nèi)側(cè)密封件；9、外側(cè)密封件安裝槽；11、上徑向軸承液體靜壓油腔；12、上止推軸承液體靜壓油腔；13、上泄油環(huán)槽；14、上連接槽；15、上回油通道；21、下徑向軸承液體靜壓油腔；22、下止推軸承液體靜壓油腔；23、下泄油環(huán)槽；24、下連接槽；25、下回油通道；41、止推軸肩；51、止推凸臺(tái)；52、排油口 ；53、上進(jìn)油口 ；54、下進(jìn)油口 ；100、機(jī)架；200、上研磨盤(pán)；300、下研磨盤(pán)；400、上研磨盤(pán)主軸；500、下研磨盤(pán)主軸；600、工件夾持盤(pán)；700、工件夾持盤(pán)軸系。·具體實(shí)施方式圖I示出了本技術(shù)的一種用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件實(shí)施例，該支承組件包括上液體靜壓軸承I、下液體靜壓軸承2、止推環(huán)3、止推螺母7、與旋轉(zhuǎn)件連接的內(nèi)套4以及與固定件連接的外套5，內(nèi)套4上部設(shè)有止推軸肩41，止推螺母7與內(nèi)套4下部螺紋連接，止推螺母7上端抵緊止推環(huán)3下端并將止推環(huán)3固定于內(nèi)套4下部，外套5套設(shè)于內(nèi)套4外，外套5內(nèi)壁上設(shè)有止推凸臺(tái)51，止推凸臺(tái)51位于止推軸肩41和止推環(huán)3之間，上液體靜壓軸承I裝設(shè)于止推軸肩41與止推凸臺(tái)51之間，下液體靜壓軸承2裝設(shè)于止推凸臺(tái)51與止推環(huán)3之間。本技術(shù)的用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件，本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于立式軸系的液體靜壓轉(zhuǎn)動(dòng)支承組件，其特征在于：包括上液體靜壓軸承（1）、下液體靜壓軸承（2）、止推環(huán)（3）、與旋轉(zhuǎn)件連接的內(nèi)套（4）以及與固定件連接的外套（5），所述內(nèi)套（4）上部設(shè)有止推軸肩（41），所述止推環(huán)（3）固定于所述內(nèi)套（4）下部，所述外套（5）套設(shè)于內(nèi)套（4）外，所述外套（5）內(nèi)壁上設(shè)有止推凸臺(tái)（51），所述止推凸臺(tái)（51）位于止推軸肩（41）和止推環(huán)（3）之間，所述上液體靜壓軸承（1）裝設(shè)于止推軸肩（41）與止推凸臺(tái)（51）之間，所述下液體靜壓軸承（2）裝設(shè)于止推凸臺(tái)（51）與止推環(huán)（3）之間。
【技術(shù)特征摘要】
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：熊萬(wàn)里，符馬力，呂浪，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：湖南大學(xué)，
類(lèi)型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：
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