一種自動檢測扎針的設(shè)備制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)的一種自動檢測扎針的設(shè)備，包括支架、扎針裝置、第一待測元件，第二待測元件、電阻，量測儀器和統(tǒng)計裝置，所述第一待測元件通過所述電阻與所述第二待測元件連接，第一待測元件和第二待測元件設(shè)于所述支架上，所述扎針裝置設(shè)于所述支架一端的一側(cè)，所述量測儀器設(shè)于所述支架另一端的一側(cè)，所述量測儀器與所述統(tǒng)計裝置連接。本實用新型專利技術(shù)利用程式測試特制的測試模組結(jié)構(gòu)，通過對測試結(jié)果的判斷，來自動識別扎針的接觸是否良好。節(jié)省了人工判斷所耗費的時間，減小了人工判斷的風險，增加了生產(chǎn)效率。（*該技術(shù)在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于微電子制造與半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，涉及一種檢測設(shè)備，尤其涉及一種自動檢測扎針的設(shè)備。
技術(shù)介紹
當今的晶圓片制造工藝中，需要對晶圓片的電性參數(shù)進行測試，在測試之前，為了保證測試的準確性，需要通過試扎針的步驟，這是用探針卡試扎測試模組后，人工肉眼判斷扎針的位置是否正確以及扎針點的針痕是否接觸良好(肉眼判斷標準針痕是否在Pad內(nèi)或者針痕大小接近)，以保證正式測試的正確性，這樣人工作判斷會有判斷錯誤的風險以及增加人工作業(yè)時間。因此本領(lǐng)域的技術(shù)人員致力于開發(fā)一種自動檢測扎針的設(shè)備?！?br>技術(shù)實現(xiàn)思路
鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的技術(shù)缺乏自動化檢測扎針的設(shè)備。本技術(shù)的一種自動檢測扎針的設(shè)備，包括支架、扎針裝置、第一待測元件，第二待測元件、電阻，量測儀器和統(tǒng)計裝置，所述第一待測元件通過所述電阻與所述第二待測元件連接，第一待測元件和第二待測元件設(shè)于所述支架上，所述扎針裝置設(shè)于所述支架一端的一側(cè)，所述量測儀器設(shè)于所述支架另一端的一側(cè)，所述量測儀器與所述統(tǒng)計裝置連接。在本技術(shù)的一個較佳實施方式中，所述待測元件為晶圓片。在本技術(shù)的另一較佳實施方式中，所述量測儀器為電阻儀。在本技術(shù)的另一較佳實施方式中，所述統(tǒng)計裝置為可編程邏輯控制器。在本技術(shù)的另一較佳實施方式中，所述可編程邏輯控制器與所述扎針裝置相連。在本技術(shù)的另一較佳實施方式中，所述可編程邏輯控制器包括處理器和顯示>J-U裝直。在本技術(shù)的另一較佳實施方式中，所述支架與所述可編程邏輯控制器連接。本專利技術(shù)利用程式測試特制的測試模組結(jié)構(gòu)，通過對測試結(jié)果的判斷，來自動識別扎針的接觸是否良好。節(jié)省了人工判斷所耗費的時間，減小了人工判斷的風險，增加了生產(chǎn)效率。附圖說明圖I是本技術(shù)的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)的實施流程示意圖。具體實施方式以下將結(jié)合附圖和實施例對本技術(shù)做具體闡釋。如圖I所示的本技術(shù)的實施例的一種自動檢測扎針的設(shè)備，包括支架I、扎針裝置2、第一待測元件3，第二待測元件4、電阻5，量測儀器6和統(tǒng)計裝置7。第一待測元件3通過電阻5與第二待測元件4連接，第一待測元件3和第二待測元件4設(shè)于所述支架I上，所述扎針裝置2設(shè)于所述支架I 一端的一側(cè)，所述量測儀器6設(shè)于所述支架I另一端的一側(cè)，所述量測儀器6與所述統(tǒng)計裝置7連接。本專利技術(shù)通過將兩個待測元件間連接電阻組成測試模組結(jié)構(gòu)，利用自動化測試特制的測試模組結(jié)構(gòu)，通過對測試結(jié)果的判斷，來自動識別扎針的接觸是否良好。節(jié)省了人工判斷所耗費的時間，減小了人工判斷的風險，增加了生產(chǎn)效率。在本技術(shù)的實施例中，待測元件為晶圓片。量測儀器為電阻儀。統(tǒng)計裝置為可編程邏輯控制器?？删幊踢壿嬁刂破髋c所述扎針裝置、支架相連?？删幊踢壿嬁刂破靼ㄌ幚砥骱惋@示裝置。如圖2中所示的測試流程，通過判斷測試扎針后的兩個待測元件間的電阻與原先的電阻的數(shù)值是否吻合，或接近，如原數(shù)值的9(T1100%，判斷扎針程序是否運·行良好。及如吻合，程序運行良好；如不吻合運行有誤，機器自動停止測試并報警。以上對本技術(shù)的具體實施例進行了詳細描述，但其只作為范例，本技術(shù)并不限制于以上描述的具體實施例。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，任何對該實用進行的等同修改和替代也都在本技術(shù)的范疇之中。因此，在不脫離本技術(shù)的精神和范圍下所作的均等變換和修改，都應(yīng)涵蓋在本技術(shù)的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.ー種自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，包括支架、扎針裝置、第一待測元件，第二待測元件、電阻，量測儀器和統(tǒng)計裝置，所述第一待測元件通過所述電阻與所述第二待測元件連接，第一待測元件和第二待測元件設(shè)于所述支架上，所述扎針裝置設(shè)于所述支架一端的ー側(cè)，所述量測儀器設(shè)于所述支架另一端的ー側(cè)，所述量測儀器與所述統(tǒng)計裝置連接。2.如權(quán)利要求I所述的自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，所述待測元件為晶圓片。3.如權(quán)利要求I所述的自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，所述量測儀器為電阻儀。4.如權(quán)利要求I所述的自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，所述統(tǒng)計裝置為可編程邏輯控制器。5.如權(quán)利要求4所述的自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在干，所述可編程邏輯控制器與所述扎針裝置相連。6.如權(quán)利要求4所述的自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，所述可編程邏輯控制器包括處理器和顯示裝置。7.如權(quán)利要求4所述的自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，所述支架與所述可編程邏輯控制器連接。專利摘要本技術(shù)的一種自動檢測扎針的設(shè)備，包括支架、扎針裝置、第一待測元件，第二待測元件、電阻，量測儀器和統(tǒng)計裝置，所述第一待測元件通過所述電阻與所述第二待測元件連接，第一待測元件和第二待測元件設(shè)于所述支架上，所述扎針裝置設(shè)于所述支架一端的一側(cè)，所述量測儀器設(shè)于所述支架另一端的一側(cè)，所述量測儀器與所述統(tǒng)計裝置連接。本技術(shù)利用程式測試特制的測試模組結(jié)構(gòu)，通過對測試結(jié)果的判斷，來自動識別扎針的接觸是否良好。節(jié)省了人工判斷所耗費的時間，減小了人工判斷的風險，增加了生產(chǎn)效率。文檔編號G01R31/02GK202758028SQ20122031656公開日2013年2月27日 申請日期2012年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月3日專利技術(shù)者王靚, 莫保章, 婁曉祺 申請人:上海華力微電子有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種自動檢測扎針的設(shè)備，其特征在于，包括支架、扎針裝置、第一待測元件，第二待測元件、電阻，量測儀器和統(tǒng)計裝置，所述第一待測元件通過所述電阻與所述第二待測元件連接，第一待測元件和第二待測元件設(shè)于所述支架上，所述扎針裝置設(shè)于所述支架一端的一側(cè)，所述量測儀器設(shè)于所述支架另一端的一側(cè)，所述量測儀器與所述統(tǒng)計裝置連接。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王靚，莫保章，婁曉祺，
申請(專利權(quán))人：上海華力微電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：