【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是一種保護(hù)罩集塵組件、半導(dǎo)體制造設(shè)備以及保護(hù)罩清潔方法。
技術(shù)介紹
1、導(dǎo)電環(huán)作為一種環(huán)狀的電氣元件，主要用于實(shí)現(xiàn)電流傳輸、信號傳遞等，其廣泛應(yīng)用于電力傳輸系統(tǒng)、機(jī)械設(shè)備、通信和信號傳輸領(lǐng)域。
2、在半導(dǎo)體設(shè)備中，導(dǎo)電環(huán)通常使用碳刷結(jié)構(gòu)，碳刷在使用過程中易掉落碳粉，并聚集在導(dǎo)電環(huán)保護(hù)罩的底部，需要定期清潔保護(hù)罩。
3、現(xiàn)有的清潔方式通常需要先拆卸保護(hù)罩，再清理聚集的粉塵，在拆卸過程中，聚集的粉塵受到外力擾動，易向四周擴(kuò)散，進(jìn)一步污染腔室環(huán)境，造成腔室內(nèi)的顆粒數(shù)量明顯增多。
4、基于此，如何在清潔保護(hù)罩的過程中減少粉塵的擴(kuò)散成為了本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的技術(shù)問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種保護(hù)罩集塵組件、半導(dǎo)體制造設(shè)備以及保護(hù)罩清潔方法，以解決現(xiàn)有的清潔方式，在拆除保護(hù)罩的過程中，粉塵受外力擾動易擴(kuò)散的問題。
2、為了達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)提供了一種保護(hù)罩集塵組件，包括：
3、保護(hù)罩，用于套設(shè)于導(dǎo)電環(huán)的外部，形成集塵區(qū)域；所述保護(hù)罩的底部設(shè)置有與所述集塵區(qū)域相連通的容置腔；
4、集塵盒，可拆卸地設(shè)置于所述容置腔中；所述集塵盒具有盒體和盒蓋，所述盒蓋具有密封位置和敞開位置；所述盒蓋位于所述密封位置時，完全覆蓋所述盒體，所述盒體的內(nèi)部形成密封空間；所述盒蓋位于所述敞開位置時，至少部分伸出所述盒體，所述盒體形成一開口，以使得位于所述集塵區(qū)域內(nèi)部的粉塵落入所述盒體
5、所述保護(hù)罩的側(cè)壁上還設(shè)有抽吸孔，用于抽吸所述集塵區(qū)域內(nèi)部殘留的所述粉塵。
6、可選的，所述容置腔的頂部設(shè)有集塵孔，以連通所述容置腔和所述集塵區(qū)域。
7、可選的，所述容置腔的側(cè)壁設(shè)有取放口，所述集塵盒自所述取放口處放入或取出所述容置腔。
8、可選的，所述集塵盒的側(cè)壁上設(shè)置有把手，所述把手在所述集塵盒位于所述容置腔時，于所述取放口處伸出所述容置腔，以驅(qū)動所述集塵盒向靠近或遠(yuǎn)離所述容置腔的方向移動。
9、可選的，所述盒體沿第一方向的長度與所述容置腔沿所述第一方向的長度相適配；所述盒蓋沿所述第一方向的長度大于所述容置腔沿所述第一方向的長度。
10、可選的，所述保護(hù)罩集塵組件還包括抽吸裝置，所述抽吸裝置在抽吸過程中與所述抽吸孔連接，用于在所述集塵區(qū)域內(nèi)形成負(fù)壓，以抽吸殘留的所述粉塵。
11、可選的，所述保護(hù)罩集塵組件還包括遮擋板，所述遮擋板可拆卸地設(shè)置于所述抽吸孔的外側(cè)；
12、所述遮擋板具有覆蓋位置和抽吸位置，所述遮擋板位于所述覆蓋位置時，完全遮擋所述抽吸孔，以防止所述粉塵自所述抽吸孔外溢；所述遮擋板位于所述抽吸位置時，露出所述抽吸孔，以供所述抽吸裝置與所述抽吸孔連接。
13、可選的，所述抽吸孔的數(shù)量為多個，多個所述抽吸孔分別設(shè)置于所述保護(hù)罩的不同側(cè)壁上。
14、為了達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)還提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，包括：導(dǎo)電環(huán)以及如上所述的保護(hù)罩集塵組件；
15、所述保護(hù)罩套設(shè)于所述導(dǎo)電環(huán)的四周，形成集塵區(qū)域，以收集所述導(dǎo)電環(huán)工作過程中散落的粉塵；
16、所述集塵盒位于所述導(dǎo)電環(huán)的下方，用于收集落入所述集塵區(qū)域中的所述粉塵；所述抽吸孔設(shè)置于所述保護(hù)罩的側(cè)壁，用于抽吸所述集塵區(qū)域中未落入所述集塵盒的殘留粉塵。
17、為了達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)還提供一種保護(hù)罩清潔方法，使用如上所述的保護(hù)罩集塵組件，包括：
18、間隔預(yù)設(shè)時間或加工預(yù)設(shè)個數(shù)的晶圓后，暫停機(jī)臺工作，對保護(hù)罩執(zhí)行清潔步驟；
19、所述清潔步驟包括：
20、將盒蓋由敞開位置移動至密封位置，自容置腔中取出裝有粉塵的集塵盒；
21、將待更換的所述集塵盒放入所述容置腔中，并保持所述盒蓋處于所述密封位置；
22、通過抽吸孔抽吸集塵區(qū)域內(nèi)殘留的所述粉塵；
23、將所述盒蓋由所述密封位置移動至所述敞開位置。
24、與現(xiàn)有的保護(hù)罩集塵方式相比，本申請?zhí)峁┑谋Ｗo(hù)罩集塵組件、半導(dǎo)體制造設(shè)備以及保護(hù)罩清潔方法具有以下優(yōu)點(diǎn)：
25、在本申請?zhí)峁┑谋Ｗo(hù)罩集塵組件中，通過在保護(hù)罩的底部增設(shè)容置腔，并將集塵盒可拆卸地放置在容置腔內(nèi)，使得導(dǎo)電環(huán)工作過程中散落的粉塵能夠落入集塵盒中，便于更換和清潔；同時，集塵盒設(shè)置有盒蓋，在拆卸集塵盒的過程中，盒蓋能夠完全覆蓋盒體，形成密封空間，保證盒體內(nèi)部的粉塵不會在拆卸集塵盒的過程中外溢至集塵區(qū)域外部；除此之外，在保護(hù)罩的側(cè)壁上增設(shè)抽吸孔，用于抽吸未被集塵盒收集的殘留粉塵，不需要再拆卸保護(hù)罩即可完成清潔，進(jìn)一步降低了粉塵外溢的風(fēng)險，進(jìn)而保證了工藝腔室的內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定。
26、在本申請?zhí)峁┑陌雽?dǎo)體制造設(shè)備中，通過將保護(hù)罩套設(shè)于導(dǎo)電環(huán)的四周，并將集塵盒設(shè)置于導(dǎo)電環(huán)的下方，使得導(dǎo)電環(huán)在工作過程中散落的粉塵能夠落入集塵盒中，同時在保護(hù)罩的側(cè)壁上增設(shè)抽吸孔，不需要再拆卸保護(hù)罩即可完成清潔，避免了粉塵在拆卸保護(hù)罩的過程中受外力擾動而外溢至工藝腔室，保證了工藝腔室的內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定。
27、在本申請?zhí)峁┑谋Ｗo(hù)罩清潔方法中，通過使用上述保護(hù)罩集塵組件對保護(hù)罩進(jìn)行清潔，只需更換盛有粉塵的集塵盒，并利用抽吸孔清潔殘留粉塵即可完成對保護(hù)罩的清潔，不需要再拆除保護(hù)罩，提升了清潔效率的同時，也避免了粉塵受外力擾動而四溢的情況。
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1.一種保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述容置腔的頂部設(shè)有集塵孔，以連通所述容置腔和所述集塵區(qū)域。
3.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述容置腔的側(cè)壁設(shè)有取放口，所述集塵盒自所述取放口處放入或取出所述容置腔。
4.如權(quán)利要求3所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述集塵盒的側(cè)壁上設(shè)置有把手，所述把手在所述集塵盒位于所述容置腔時，于所述取放口處伸出所述容置腔，以驅(qū)動所述集塵盒向靠近或遠(yuǎn)離所述容置腔的方向移動。
5.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述盒體沿第一方向的長度與所述容置腔沿所述第一方向的長度相適配；所述盒蓋沿所述第一方向的長度大于所述容置腔沿所述第一方向的長度。
6.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述保護(hù)罩集塵組件還包括抽吸裝置，所述抽吸裝置在抽吸過程中與所述抽吸孔連接，用于在所述集塵區(qū)域內(nèi)形成負(fù)壓，以抽吸殘留的所述粉塵。
7.如權(quán)利要求6所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述保護(hù)罩集塵組件還包括遮擋板
8.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述抽吸孔的數(shù)量為多個，多個所述抽吸孔分別設(shè)置于所述保護(hù)罩的不同側(cè)壁上。
9.一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，包括：導(dǎo)電環(huán)以及如權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的保護(hù)罩集塵組件；
10.一種保護(hù)罩清潔方法，其特征在于，使用如權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的保護(hù)罩集塵組件，包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述容置腔的頂部設(shè)有集塵孔，以連通所述容置腔和所述集塵區(qū)域。
3.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述容置腔的側(cè)壁設(shè)有取放口，所述集塵盒自所述取放口處放入或取出所述容置腔。
4.如權(quán)利要求3所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述集塵盒的側(cè)壁上設(shè)置有把手，所述把手在所述集塵盒位于所述容置腔時，于所述取放口處伸出所述容置腔，以驅(qū)動所述集塵盒向靠近或遠(yuǎn)離所述容置腔的方向移動。
5.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)罩集塵組件，其特征在于，所述盒體沿第一方向的長度與所述容置腔沿所述第一方向的長度相適配；所述盒蓋沿所述第一方向的長度大于所述容置腔沿所述第一方...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳晨，劉濤，黃磊，
申請(專利權(quán))人：上海華力微電子有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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