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本發(fā)明提供一種保護(hù)罩集塵組件、半導(dǎo)體制造設(shè)備以及保護(hù)罩清潔方法，保護(hù)罩集塵組件包括：保護(hù)罩，用于套設(shè)于導(dǎo)電環(huán)的外部，形成集塵區(qū)域；保護(hù)罩的底部設(shè)置有與集塵區(qū)域相連通的容置腔；集塵盒，可拆卸地設(shè)置于容置腔中；集塵盒具有盒體和盒蓋，盒蓋具有密封...該專利屬于上海華力微電子有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)上海華力微電子有限公司授權(quán)不得商用。