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    一種基于PMMA材質及其它有機聚合物的微流控芯片的微波界面加熱鍵合方法技術

    技術編號:8296083 閱讀:281 留言:0更新日期:2013-02-06 20:10
    一種基于PMMA材質及其它有機聚合物的微流控芯片的微波界面加熱鍵合方法,涉及一種微流控芯片的鍵合方法。本發明專利技術的微波界面加熱鍵合方法包括如下步驟:將微波吸收材料均勻涂敷于微流控芯片的基片和蓋片的鍵合界面一側,然后將芯片的基片和蓋片中帶有涂層的一側對齊蓋合置于帶有電磁波發生裝置的密閉容器中,控制微波功率范圍在400-1000W,鍵合瞬時溫度范圍在95-200℃,鍵合時間為30-200S。本發明專利技術采用微波加熱的方式,在鍵合的時候不需要施加外部壓力,需要的工藝成本低,工藝步驟少,易于在聚合物材質微流控芯片的鍵合領域推廣應用。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    一種基于PMMA材質及其它有機聚合物的微流控芯片的微波界面加熱鍵合方法,其特征在于所述微波界面加熱鍵合方法包括如下步驟:將微波吸收材料均勻涂敷于微流控芯片的基片和蓋片的鍵合界面一側,然后將芯片的基片和蓋片中帶有涂層的一側對齊蓋合置于帶有電磁波發生裝置的密閉容器中,控制微波功率范圍在400?1000W,鍵合瞬時溫度范圍在95?200℃,鍵合時間為30?200S。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:劉曉為韓小為王蔚田麗張賀
    申請(專利權)人:哈爾濱工業大學
    類型:發明
    國別省市:

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