具有MEMS器件的裝置制造方法及圖紙

具有MEMS器件的裝置。提出一種裝置和用于具有至少一個(gè)MEMS器件的裝置的制造方法，所述裝置包括封裝，該封裝密封地包圍MEMS器件并且相對(duì)于環(huán)境影響密封。該封裝作為密封體包括借助于功能組聚合的全氟聚醚構(gòu)成的PFPE層。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
具有至少一個(gè)MEMS器件的裝置，－？包括至少包圍MEMS器件并且相對(duì)于周圍環(huán)境密封的封裝，－？其中所述封裝作為密封體包括由借助于功能組聚合的全氟聚醚構(gòu)成的PFPE層。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：G亨，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：埃普科斯股份有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：