溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

具有MEMS器件的裝置。提出一種裝置和用于具有至少一個MEMS器件的裝置的制造方法，所述裝置包括封裝，該封裝密封地包圍MEMS器件并且相對于環境影響密封。該封裝作為密封體包括借助于功能組聚合的全氟聚醚構成的PFPE層。...
該專利屬于埃普科斯股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過埃普科斯股份有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。