本發明專利技術提供一種用于離子注入機的離子淋浴器燈絲裝夾和通電結構，包括：銅連接片(1)和(2)，用于給燈絲(8)通電，燈絲座壓塊(3)和(4)，燈絲引線連接塊(5)和(6)，燈絲座(7)，燈絲(8)，弧室板(9)，燈絲連接桿(10)和(11)，燈絲壓套(12)和(13)，燈絲桿螺母(14)和(15)。其特征在于，燈絲桿螺母(14)和(15)穿過燈絲引線連接塊(5)和(6)，通過螺紋與穿過燈絲座(7)的燈絲連接桿(10)和(11)相連，燈絲(8)的兩端分別裝夾在燈絲連接桿(10)和(11)里，并通過燈絲桿螺母(14)和(15)調節燈絲(8)裝夾的位置和松緊度。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及ー種用于離子注入機的離子淋浴器燈絲裝夾和供電結構。更進一歩的，本專利技術涉及一種結構簡單可靠的離子淋浴器燈絲裝夾通電結構。本專利技術涉及離子注入機，屬于半導體裝備制造領域。
技術介紹
隨著科學技術的發展，離子注入技術得到了越來越廣泛的應用，而在離子注入過程中，離子淋浴器作為低能電子發射器，廣泛的應用于中和離子注入機中晶片的電荷積累。中和注入過程中晶片上的積累電荷，對于離子注入エ藝來說，具有非常重要的作用。本專利技術提供了一種用于離子淋浴器的燈絲裝夾和通電結構，其結構簡單可靠， 能有效裝夾燈絲并為其供電。
技術實現思路
本專利技術涉及一種用于離子淋浴器的燈絲裝夾和通電結構。本專利技術所涉及的實施例包括以下結構件銅連接片⑴和(2)，用于給燈絲⑶通電，燈絲座壓塊(3)和(4)，燈絲引線連接塊(5)和(6)，燈絲座(7)，燈絲(8)，弧室板(9)，燈絲連接桿(10)和(11)，燈絲壓套(12)和(13)，燈絲桿螺母(14)和(15)所述銅連接片(I)和(2)，其一端和燈絲引線連接塊(5)和(6)相連，另一端連接電源，從而給燈絲(8)的兩端供電。所述燈絲桿螺母(14)和(15)穿過燈絲引線連接塊(5)和出)，通過螺紋與穿過燈絲座(7)的燈絲連接桿(10)和(11)相連，燈絲(8)的兩端分別裝夾在燈絲連接桿(10)和(11)里，并通過燈絲桿螺母(14)和(15)調節燈絲(8)裝夾的位置和松緊度。所述燈絲座(7)的材料為陶瓷，起到絕緣的作用。附圖說明下面結合附圖和具體實施例對本專利技術作進ー步介紹，但不作為對本專利技術專利的限定。圖I為燈絲裝夾和通電結構的立體圖。圖2為燈絲裝夾和通電結構的剖面圖。圖I和圖2中，I和2為銅連接片，用于給燈絲8通電，3和4為燈絲座壓塊，5和6為燈絲引線連接塊，7為燈絲座，8為燈絲，9為弧室板，10和11為燈絲連接桿，12和13為燈絲壓套，14和15為燈絲桿螺母。具體實施例方式如圖I和圖2所示，本文涉及了一種用于離子淋浴器的燈絲裝夾和通電結構。其中，⑴和(2)為銅連接片，其一端和燈絲引線連接塊(5)和(6)相連，另一端連接電源，從而給燈絲⑶的兩端供電。燈絲⑶的裝夾結構由燈絲裝夾和通電結構的剖面2，可以清楚的看到，燈絲桿螺母(14)和(15)穿過燈絲引線連接塊(5)和(6)，通過螺紋與穿過燈絲座(7)的燈絲連接桿(10)和(11)相連，從而將燈絲桿螺母(14)和(15)、燈絲引線連接塊(5)和(6)以及燈絲連接桿(10)和(11)固定在燈絲座(7)上。燈絲⑶的兩端分別裝夾在燈絲連接桿(10)和(11)里，并通過燈絲桿螺母(14)和(15)調節燈絲(8)裝夾的位置和松緊度。由圖2可見，燈絲座(7)通過燈絲座壓塊(3)和⑷壓緊在弧室板(9)上面，燈絲連接桿(10)和(11)與燈絲座(7)之間安裝了燈絲壓套(12)和(13)，減小壓緊燈絲⑶時燈絲連接桿(10)和(11)與燈絲座(70之間的壓力。其中燈絲座7的材料為陶瓷，起到絕緣的作用。以上所述已對本專利技術的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本專利技術精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本專利技術專利的侵犯，將·承擔相應的法律責任。權利要求1.ー種用于離子注入機的離子淋浴器燈絲裝夾和通電結構，包括銅連接片(I)和(2)，用于給燈絲(8)通電，燈絲座壓塊(3)和(4)，燈絲引線連接塊(5)和(6)，燈絲座(7)，燈絲(8)，弧室板(9)，燈絲連接桿(10)和(11)，燈絲壓套(12)和(13)，燈絲桿螺母(14)和(15)。2.權利I中所述的離子淋浴器燈絲裝夾通電結構，其中所述燈絲桿螺母(14)和(15)穿過燈絲引線連接塊(5)和￠)，通過螺紋與穿過燈絲座(7)的燈絲連接桿(10)和(11)相連，從而將燈絲桿螺母(14)和(15)、燈絲引線連接塊(5)和￠)以及燈絲連接桿(10)和(11)固定在燈絲座(7)上。所述燈絲(8)的兩端分別裝夾在燈絲連接桿(10)和(11)里，并通過燈絲桿螺母(14)和(15)調節燈絲(8)裝夾的位置和松緊度。全文摘要本專利技術提供一種用于離子注入機的離子淋浴器燈絲裝夾和通電結構，包括銅連接片(1)和(2)，用于給燈絲(8)通電，燈絲座壓塊(3)和(4)，燈絲引線連接塊(5)和(6)，燈絲座(7)，燈絲(8)，弧室板(9)，燈絲連接桿(10)和(11)，燈絲壓套(12)和(13)，燈絲桿螺母(14)和(15)。其特征在于，燈絲桿螺母(14)和(15)穿過燈絲引線連接塊(5)和(6)，通過螺紋與穿過燈絲座(7)的燈絲連接桿(10)和(11)相連，燈絲(8)的兩端分別裝夾在燈絲連接桿(10)和(11)里，并通過燈絲桿螺母(14)和(15)調節燈絲(8)裝夾的位置和松緊度。文檔編號H01J37/04GK102867718SQ20111018649公開日2013年1月9日 申請日期2011年7月5日 優先權日2011年7月5日專利技術者鄧穎輝, 唐景庭, 彭立波 申請人:北京中科信電子裝備有限公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種用于離子注入機的離子淋浴器燈絲裝夾和通電結構，包括：銅連接片(1)和(2)，用于給燈絲(8)通電，燈絲座壓塊(3)和(4)，燈絲引線連接塊(5)和(6)，燈絲座(7)，燈絲(8)，弧室板(9)，燈絲連接桿(10)和(11)，燈絲壓套(12)和(13)，燈絲桿螺母(14)和(15)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄧穎輝，唐景庭，彭立波，
申請(專利權)人：北京中科信電子裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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