本發明專利技術公開了一種帶狀束流離子源電源控制系統，包括：主控計算機(1)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。其特征在于光纖通信卡(2)插在主控計算機(1)的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數據。兩個燈絲電源(4)、兩個偏壓電源(5)、一個弧壓電源(6)的控制端分別和I/O信號控制器(3)的信號端用導線連接，同時這三種電源的電源輸出端分別和離子源燈絲(7)、陰極(8)和弧室壁(9)相連。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種帶狀束流離子源電源控制系統，尤其的涉及離子注入機，屬于半導體器件制造設備領域。
技術介紹
離子源是離子注入機的ー個重要部件，其作用在于使需要注入的物質(如硼、磷、神)的原子電離成為離子，其性能好壞對整機的性能影響極大，尤其對束流的強度、品質、束流能量及整機注入的穩定性有著決定性的影響。離子源的性能，除與本身的結構設計有關外，還與使氣體電離產生離子的燈絲電源、偏壓電源和弧壓電源有極大關系。對這幾個電源的控制是離子源能產生所需離子的關鍵。帶裝束流離子源要求從離子源發出的離子束具有較大的寬度，本專利所涉及的離子源束流寬度超過了 300mm，為了使離子源產生較為均勻 的束流，滿足集成電路エ藝和生產的要求，必須保證離子源電源控制系統的穩定和高效。
技術實現思路
本專利技術即是針對上述要求而提出的ー種結構簡單、可靠性高的帯狀束流離子源電源控制系統。本專利技術通過以下技術方案來實現一種帶狀束流離子源電源控制系統，包括主控計算機(I)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源出)。所述的光纖通信控制卡(2)插在主控計算機⑴的PCI插槽上，光纖通信控制卡⑵和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數據。燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源￠)的控制端分別和遠程I/O信號板(3)的信號端連接，同時這三種電源的電源輸出端分別和離子源燈絲(7)、離子源陰極⑶和弧室壁(9)相連。本專利技術具有如下顯著優點I. I/O信號控制器(3)到內光纖通信控制卡(2)之間的連接使用光纖，有效的防止了離子源打火對信號傳輸的干擾。2.使用兩個燈絲電源(4)和兩個偏壓電源(5)，分別加在離子源兩個燈絲(7)和陰極(8)上，這種連接方便對兩個燈絲所加電源的獨立控制，有利于在弧室兩端產生較寬的均勻離子束流。附圖說明下面結合附圖和具體實施例對本專利技術作進ー步的介紹，但不作為對本專利技術的限定。圖I為ー種帯狀束流離子源電源控制系統的原理框圖；圖2為ー種帯狀束流離子源電源控制系統的離子源電源連接示意圖。具體實施例方式如參考圖I所示，一種帶狀束流離子源電源控制系統，包括主控計算機(I)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。光纖通信控制卡2插在主控計算機(I)的PCI插槽上，光纖通信控制卡⑵和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數據。光纖通訊控制卡(2)將主控計算機(I)發出的命令數據通過光纖傳輸到I/O信號控制器(3)，I/O信號控制器(3)將接收到的光信號轉換為電信號，經過地址確認，發送給燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)的控制端，從而設定這五個電源的輸出電流或是電壓。同時，這五個電源的電流或是電壓反饋值也從各自的控制端通過I/O信號控制器(3)傳送給光纖通信控制卡(2)，從而主控計算機(I)能夠讀取這些反饋值。如參考圖2所示，為離子源電源連接示意圖，因為要產生的離子是正離子，所以偏壓電源(5)的正極接在離子源陰極上，負極和離子源燈絲(7)相連，而弧壓電源(6)的正極 和離子源弧室壁(8)等電位。以上所述已對本專利技術的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本專利技術精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本專利技術專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。權利要求1.本專利技術提供一種帶狀束流離子源電源控制系統，包括主控計算機(I)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。其特征在于燈絲電源⑷是兩個，偏壓電源(5)是兩個，弧壓電源(6)是ー個。2.權利I中所述的光纖通信卡(2)插在主控計算機⑴的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數據。兩個燈絲電源(4)、兩個偏壓電源(5)、ー個弧壓電源(6)的控制端分別和I/O信號控制器(3)的信號端用導線連接，同時這三種電源的電源輸出端分別和離子源燈絲(7)、陰極(8)和弧室壁(9)相連。全文摘要本專利技術公開了一種帶狀束流離子源電源控制系統，包括主控計算機(1)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。其特征在于光纖通信卡(2)插在主控計算機(1)的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過光纖連接傳輸數據。兩個燈絲電源(4)、兩個偏壓電源(5)、一個弧壓電源(6)的控制端分別和I/O信號控制器(3)的信號端用導線連接，同時這三種電源的電源輸出端分別和離子源燈絲(7)、陰極(8)和弧室壁(9)相連。文檔編號H01J37/302GK102867721SQ20111018647公開日2013年1月9日 申請日期2011年7月5日 優先權日2011年7月5日專利技術者張繼恒, 唐景庭, 孫勇 申請人:北京中科信電子裝備有限公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
本專利技術提供一種帶狀束流離子源電源控制系統，包括：主控計算機(1)、光纖通信控制卡(2)、I/O信號控制器(3)、燈絲電源(4)、偏壓電源(5)、弧壓電源(6)。其特征在于燈絲電源(4)是兩個，偏壓電源(5)是兩個，弧壓電源(6)是一個。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：張繼恒，唐景庭，孫勇，
申請(專利權)人：北京中科信電子裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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