【技術實現步驟摘要】
本技術涉及上下料設備，尤其涉及一種上下取料裝置。
技術介紹
1、在制成硅晶片的過程中，將晶棒送入切片設備進行切片(稱之為上料)或將完成切片的晶棒從切片設備中取出(稱之為下料或取料，所謂的“料”為晶棒或切片后的仍然固定在晶托上的晶片，統稱為物料)，往往有兩種運送模式：模式一、人工模式：操作工人開著專用小車，通過專用小車上設置的機械手抓取晶棒，由人工操控機械手進行上料或下料(簡稱上下取料)；模式二、自動化模式：通過自動化手段(如無人小車、輸送線配合機器人等自動化設備)實現上下取料。
2、對于人工模式而言，由于每次操作的個體差異大，至少操作效率和安全性難以得到保證，而且在下料過程中經常會出現碎片(即晶片破損)現象，影響晶片合格率，不利于產品的批量化生產。此外，專用小車占用空間較大，降低廠房有效利用率，不利于晶片產品生產成本控制；晶棒被切割后產生的硅霧影響廠房環境，對操作工人身體也有一定的不利影響。
3、對于自動化模式而言，輸送線的機械結構復雜，設備體積大，占用現場地面空間大，自動化設備成本高、維修難度大，而且對自動化設備操控精度要求高，不僅不利于晶片產品生產成本控制，而且容易出現上下取料的失敗現象，需及時停機排查問題，致使影響生產效率。
4、此外，現有的上下取料手段均是針對切片設備的橫向進行上下取料，橫向上下取料時，容易出現磕碰現象，從而影響晶片合格率。
技術實現思路
1、本技術的目的在于解決現有技術存在的上述問題而提供一種上下取料裝置，其與設置在切片
2、本技術的上述技術目的主要是通過以下技術方案解決的：一種上下取料裝置，其特征在于包括基座，設置在基座上的上下取料機構，所述上下取料機構包括設置在所述基座上的升降機構和設置在所述升降機構上的取放機構，所述基座可在軌道機構上移動用于改變上下取料機構的位置，所述升降機構用于使取放機構下降用于向下下料、上升用于復位或向上取料，所述取放機構張開用于放料、收緊用于抓料。其與設置在切片設備上方的軌道配合使用，通過第三動力驅動機構與軌道配合推動基座移動，使上下取料裝置位于切片設備上方自上而下縱向向下向切片設備送入晶棒進行切片、或自下而上從切片設備中縱向取料并通過第三動力驅動機構推動基座將物料移送至合適位置。
3、由于采用了縱向取、放物料的方式，可有效避免物料在取放過程中出現磕碰現象而破損，且軌道和上下取料裝置均設置在切片設備上方，避免占用廠房地面空間，有利于提高廠房利用率，有利于避免對操作人員產生干涉影響，且通過各驅動機構使上下取料裝置上的相應機構自動化工作，不僅有利于提高工作效率，還有利于提高工作準確率。
4、作為對上述技術方案的進一步完善和補充，本技術采用如下技術措施：所述上下取料機構為兩組，分別設置在所述基座相對的兩側，并與基座移動方向相對應設置。一個基座上設置兩組上下取料機構，有利于提高基座利用率，從而面對相同數量的切片設備，有利于減少上下取料裝置的數量，有利于控制上下取料裝置的成本，進而有利于控制晶片的最終成本，還有利于提高上下取料的工作效率，即，同一基座上的一組上下取料機構用于從切片設備中取料，基座稍作移動后，另一組上下取料機構則可以向切片設備中放料。
5、作為優選，所述升降機構至少包括一級升降架，驅動所述一級升降架縱向移動的一級驅動機構，所述一級升降架和所述基座之間設置一級縱向導向組件，所述一級縱向導向組件用于使所述一級升降架縱向直線移動。當升降機構只設置一級升降架時，取放機構則設置在一級升降架的底部，通過一級升降架下移伸入切片設備的內腔中，通過取放機構取料或放料，當一級升降架下移時，使取放機構離開切片設備的內腔。
6、作為優選，所述一級驅動機構包括第一動力源，通過第一減速器與所述第一動力源配合的絲桿，設置在所述一級升降架上的絲桿螺母，所述第一動力源和第一減速器配合用于驅動所述絲桿轉動，所述絲桿與絲桿螺母配合，使所述一級升降架上升或下降。絲桿、絲桿螺母以及第一減速器的配合，能夠精準控制一級升降架上移或下移動的精度，實現精準取放物料的目的。
7、作為優選，為了進一步提高控制精準性和提高安全性，避免在慣性作用下產生位移偏差，所述一級升降架和所述基座之間設置限位結構和限位控制開關，所述限位結構包括上下布置方式設置在所述基座上的上限位擋塊和/或下限位擋塊、設置在所述一級升降架上的限位擋板，所述一級升降架的上端與所述上限位擋塊配合用于限位，所述限位擋板與所述下限位擋塊配合用于限位，所述限位控制開關包括擇一設置在所述基座和所述一級升降架上的第一接近開關和第一感應板，所述接近開關和接近開關感應板配合用于升降軟限位。
8、作為優選，所述升降機構還包括設置在所述一級升降架上的二級升降架，設置在所述二級升降架和所述一級升降架之間的二級縱向導向組件，用于使所述二級升降架進行縱向移動的聯動機構所述二級縱向導向組件用于使所述二級升降架縱向直線移動，所述聯動機構使所述二級升降架隨著所述一級升降架的升降動作做適用性的升降動作。二級升降架的設置，確保升降總長度不變的前提下，有利于減小升降機構疊置狀態時的長度，進而有利于減小基座的高度，有利于減小上下取料裝置的整體高度，從而減小整體體積，有利于節約占用空間和制備成本。
9、作為優選，所述聯動機構包括鏈條，及與鏈條嚙合的鏈條輪，所述鏈條輪固定在所述一級升降架上，所述鏈條的一端固定在所述基座上、另一端固定在所述二級升降架上，隨著所述一級升降架的移動，所述鏈條帶動所述二級升降架同步移動。鏈條輪在本技術方案中達到了定滑輪的作用，通過一級升降架下移或上移，帶動鏈條輪下移或上移，使二級升降架下移或上移，且二級升降架的移動速度是一級升降架的移動速度的兩倍，進一步有利于提高上下取料裝置的上下取料效率。
10、作為優選，所述聯動機構還包括設置在所述基座上或所述二級升降架上的鏈條調節座，所述鏈條對應端固定在所述鏈條調節座上，所述鏈條調節座用于調節所述鏈條長度。
11、作為優選，所述取放機構包括設置在所述升降機構的底部的取放座，設置在所述取放座上的取放件，用于驅動所述取放件抓取物料或放開物料的第二動力驅動機構，用于對所述取放件移動進行導向的直線導向組件。
12、作為優選，沿著所述基座移動方向的相對兩側，所述基座上分別設置兩組移動導向組件，用于使所述基座沿著確定路線來回移動。所述移動導向組件包括導向座，設置在所述導向座的底部的導向件，設置在所述導向座上的第三動力驅動機構，所述導向座向外延于所述基座的外側，用于避讓所述上下取料機構，所述第三動力驅動機構用于與軌道配合推動所述本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種上下取料裝置，其特征在于包括基座(1)，設置在基座(1)上的上下取料機構，所述上下取料機構包括設置在所述基座(1)上的升降機構和設置在所述升降機構上的取放機構，所述基座(1)可在軌道機構上移動用于改變上下取料機構的位置，所述升降機構用于使取放機構下降用于向下下料、上升用于復位或向上取料，所述取放機構張開用于放料、收緊用于抓料。
2.根據權利要求1所述的上下取料裝置，其特征在于所述上下取料機構為兩組，分別設置在所述基座(1)相對的兩側，并與基座(1)移動方向相對應設置。
3.根據權利要求1或2所述的上下取料裝置，其特征在于所述升降機構至少包括一級升降架(2)，驅動所述一級升降架(2)縱向移動的一級驅動機構，所述一級升降架(2)和所述基座(1)之間設置一級縱向導向組件，所述一級縱向導向組件用于使所述一級升降架(2)縱向直線移動。
4.根據權利要求3所述的上下取料裝置，其特征在于所述一級驅動機構包括第一動力源(3)，通過第一減速器(4)與所述第一動力源(3)配合的絲桿(5)，設置在所述一級升降架(2)上的絲桿螺母(6)，所述第一動力源(3)和
5.根據權利要求4所述的上下取料裝置，其特征在于所述一級升降架(2)和所述基座(1)之間設置限位結構和限位控制開關，所述限位結構包括上下布置方式設置在所述基座(1)上的上限位擋塊(7)和/或下限位擋塊(8)、設置在所述一級升降架(2)上的限位擋板(9)，所述一級升降架(2)的上端與所述上限位擋塊(7)配合用于限位，所述限位擋板(9)與所述下限位擋塊(8)配合用于限位，所述限位控制開關包括分別擇一設置在所述基座(1)和所述一級升降架(2)上的第一接近開關和第一感應板(11)，所述接近開關和接近開關感應板配合用于升降軟限位。
6.根據權利要求3所述的上下取料裝置，其特征在于所述升降機構還包括設置在所述一級升降架(2)上的二級升降架(12)，設置在所述二級升降架(12)和所述一級升降架(2)之間的二級縱向導向組件，用于使所述二級升降架(12)進行縱向移動的聯動機構所述二級縱向導向組件用于使所述二級升降架(12)縱向直線移動，所述聯動機構使所述二級升降架(12)隨著所述一級升降架(2)的升降動作做適用性的升降動作。
7.根據權利要求6所述的上下取料裝置，其特征在于所述聯動機構包括鏈條(13)，及與鏈條(13)嚙合的鏈條輪(14)，所述鏈條輪(14)固定在所述一級升降架(2)上，所述鏈條(13)的一端固定在所述基座(1)上、另一端固定在所述二級升降架(12)上，隨著所述一級升降架(2)的移動，所述鏈條(13)帶動所述二級升降架(12)同步移動。
8.根據權利要求7所述的上下取料裝置，其特征在于所述聯動機構還包括設置在所述基座(1)上或所述二級升降架(12)上的鏈條調節座(15)，所述鏈條(13)對應端固定在所述鏈條調節座(15)上，所述鏈條調節座(15)用于調節所述鏈條(13)長度。
9.根據權利要求3所述的上下取料裝置，其特征在于所述取放機構包括設置在所述升降機構的底部的取放座(16)，設置在所述取放座(16)上的取放件(29)，用于驅動所述取放件(29)抓取物料或放開物料的第二動力驅動機構，用于對所述取放件(29)移動進行導向的直線導向組件。
10.根據權利要求3所述的上下取料裝置，其特征在于沿著所述基座(1)移動方向的相對兩側，所述基座(1)上分別設置兩組移動導向組件，用于使所述基座(1)沿著確定路線來回移動，所述移動導向組件包括導向座(17)，設置在所述導向座(17)的底部的導向件(18)，設置在所述導向座(17)上的第三動力驅動機構，所述導向座(17)向外延于所述基座(1)的外側，用于避讓所述上下取料機構，所述第三動力驅動機構用于與軌道配合推動所述基座(1)移動，所述導向件(18)用于與軌道配合進行導向。
...【技術特征摘要】
1.一種上下取料裝置，其特征在于包括基座(1)，設置在基座(1)上的上下取料機構，所述上下取料機構包括設置在所述基座(1)上的升降機構和設置在所述升降機構上的取放機構，所述基座(1)可在軌道機構上移動用于改變上下取料機構的位置，所述升降機構用于使取放機構下降用于向下下料、上升用于復位或向上取料，所述取放機構張開用于放料、收緊用于抓料。
2.根據權利要求1所述的上下取料裝置，其特征在于所述上下取料機構為兩組，分別設置在所述基座(1)相對的兩側，并與基座(1)移動方向相對應設置。
3.根據權利要求1或2所述的上下取料裝置，其特征在于所述升降機構至少包括一級升降架(2)，驅動所述一級升降架(2)縱向移動的一級驅動機構，所述一級升降架(2)和所述基座(1)之間設置一級縱向導向組件，所述一級縱向導向組件用于使所述一級升降架(2)縱向直線移動。
4.根據權利要求3所述的上下取料裝置，其特征在于所述一級驅動機構包括第一動力源(3)，通過第一減速器(4)與所述第一動力源(3)配合的絲桿(5)，設置在所述一級升降架(2)上的絲桿螺母(6)，所述第一動力源(3)和第一減速器(4)配合用于驅動所述絲桿(5)轉動，所述絲桿(5)與絲桿螺母(6)配合，使所述一級升降架(2)上升或下降。
5.根據權利要求4所述的上下取料裝置，其特征在于所述一級升降架(2)和所述基座(1)之間設置限位結構和限位控制開關，所述限位結構包括上下布置方式設置在所述基座(1)上的上限位擋塊(7)和/或下限位擋塊(8)、設置在所述一級升降架(2)上的限位擋板(9)，所述一級升降架(2)的上端與所述上限位擋塊(7)配合用于限位，所述限位擋板(9)與所述下限位擋塊(8)配合用于限位，所述限位控制開關包括分別擇一設置在所述基座(1)和所述一級升降架(2)上的第一接近開關和第一感應板(11)，所述接近開關和接近開關感應板配合用于升降軟限位。
6.根據權利要求3所述的上下取料裝置，其特征在于所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙飛凡，袁華中，夏小英，朱吉元，朱一鳴，
申請(專利權)人：浙江精工新能源裝備有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。