【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種上下料設備，尤其涉及一種自動化上下料系統。
技術介紹
1、在制成硅晶片的過程中，將晶棒送入切片設備進行切片(稱之為上料)或將完成切片的晶棒從切片設備中取出(稱之為下料或取料，所謂的“料”為晶棒或切片后的仍然固定在晶托上的晶片，統稱為物料)，往往有兩種運送模式：模式一、人工模式：操作工人開著專用小車，通過專用小車上設置的機械手抓取晶棒，由人工操控機械手進行上料或下料(簡稱上下取料)；模式二、自動化模式：通過自動化手段(如無人小車、輸送線配合機器人等自動化設備)實現上下取料。
2、對于人工模式而言，由于每次操作的個體差異大，至少操作效率和安全性難以得到保證，而且在下料過程中經常會出現碎片(即晶片破損)現象，影響晶片合格率，不利于產品的批量化生產。此外，專用小車占用空間較大，降低廠房有效利用率，不利于晶片產品生產成本控制；晶棒被切割后產生的硅霧影響廠房環境，對操作工人身體也有一定的不利影響。
3、對于自動化模式而言，輸送線的機械結構復雜，設備體積大，占用現場地面空間大，自動化設備成本高、維修難度大，而且對自動化設備操控精度要求高，不僅不利于晶片產品生產成本控制，而且容易出現上下取料的失敗現象，需及時停機排查問題，致使影響生產效率。
4、此外，現有的上下取料手段均是針對切片設備的橫向進行上下取料，橫向上下取料時，容易出現磕碰現象，從而影響晶片合格率。
技術實現思路
1、本技術的目的在于解決現有技術存在的上述問題而提供一種自動化上下料系統，通
2、本技術的上述技術目的主要是通過以下技術方案解決的：一種自動化上下料系統，其特征在于包括空中軌道，設置在所述空中軌道上的上下取料裝置，用于控制所述上下取料裝置工作的控制機構，所述上下取料裝置包括基座，設置在基座上的上下取料機構，所述上下取料機構包括設置在所述基座上的升降機構和設置在所述升降機構上的取放機構，所述基座上設置移動導向組件，所述移動導向組件使所述基座可在所述空中軌道上移動用于改變上下取料機構的位置，所述升降機構用于使取放機構下降用于向下下料、上升用于復位或向上取料，所述取放機構張開用于放料、收緊用于抓料。
3、通過第三動力驅動機構與軌道配合推動基座移動，使上下取料裝置位于切片設備上方自上而下縱向向下向切片設備送入晶棒進行切片、或自下而上從切片設備中縱向取料并通過第三動力驅動機構推動基座將物料移送至合適位置。
4、由于采用了縱向取、放物料的方式，可有效避免物料在取放過程中出現磕碰現象而破損，且軌道和上下取料裝置均設置在切片設備上方，避免占用廠房地面空間，有利于提高廠房利用率，有利于避免對操作人員產生干涉影響，且通過各驅動機構使上下取料裝置上的相應機構自動化工作，不僅有利于提高工作效率，還有利于提高工作準確率。
5、作為對上述技術方案的進一步完善和補充，本技術采用如下技術措施：
6、作為優選，所述空中軌道至少為兩條間隔設置的軌道，至少一條所述空中軌道上設置齒條，所述移動導向組件包括設置在所述基座的底部的導向件、第三齒輪、第二減速器和第二動力源，所述第三齒輪與所述齒條嚙合，所述第二動力源和第二減速器配合驅動所述第三齒輪轉動帶動所述基座在所述空中軌道上移動。
7、作為優選，相鄰兩所述空中軌道之間設置中間軌道，所述中間軌道中設置開合門，所述開合門和所述空中軌道之間設置用于打開或關閉所述開合門的開合組件，所述開合組件包括分別安裝在兩所述空中軌道下方的開合門安裝座和支承滾輪座，設置在所述開合門安裝座上的第三動力源，所述開合門的一側設置轉接塊、另一側設置支承滾輪，所述轉接塊與所述第三動力源的動力輸出軸連接，所述支承滾輪與所述支承滾輪座配合，所述第三動力源使所述開合門沿著所述開合門安裝座和支承滾輪座的直線方向移動實現開門和關門的目的。晶棒切片后有適量水附著在晶棒上，附著的水滴落在中間軌道上，通過中間軌道的承接，避免滴落至地面而污染地面或對地面行人帶來不利影響。
8、作為優選，所述開合門上設置導水通孔，所述導水通孔的下端用于連接導水管，用于將所述中間軌道上承接的滴水導出。當開合門閉合時，開合門的兩端與中間軌道形成連接，中間軌道承接的水流至開合門上，并通過導水通孔導出。
9、作為優選，所述空中軌道上設置缺口定位塊和行走硬限位塊，所述基座上設置第二接近開關，所述缺口定位塊為若干個，其沿著所述空中軌道的長度方向布置的，所述缺口定位塊與所述第二接近開關配合用于對所述基座定位，所述行走硬限位塊設置在所述空中軌道的兩端合適部位。行走硬限位塊用于對上下取料裝置進行限位，有利于提高工作安全性。缺口定位塊和第二接近開關配合用于使基座準確定位在切片裝置的合適位置，方便上下取料。
10、作為優選，沿著所述基座移動方向的相對兩側，所述基座上分別設置兩組移動導向組件，用于使所述基座沿著空中軌道來回移動。所述移動導向組件包括導向座，設置在所述導向座的底部的導向件，設置在所述導向座上的第三動力驅動機構，所述導向座向外延于所述基座的外側，用于避讓所述上下取料機構，所述第三動力驅動機構用于與軌道配合推動所述基座移動，所述導向件用于與軌道配合進行導向。
11、作為優選，所述上下取料機構為兩組，分別設置在所述基座相對的兩側，并與基座移動方向相對應設置。一個基座上設置兩組上下取料機構，有利于提高基座利用率，從而面對相同數量的切片設備，有利于減少上下取料裝置的數量，有利于控制上下取料裝置的成本，進而有利于控制晶片的最終成本，還有利于提高上下取料的工作效率，即，同一基座上的一組上下取料機構用于從切片設備中取料，基座稍作移動后，另一組上下取料機構則可以向切片設備中放料。
12、作為優選，所述升降機構至少包括一級升降架，驅動所述一級升降架縱向移動的一級驅動機構，所述一級升降架和所述基座之間設置一級縱向導向組件，所述一級縱向導向組件用于使所述一級升降架縱向直線移動。當升降機構只設置一級升降架時，取放機構則設置在一級升降架的底部，通過一級升降架下移伸入切片設備的內腔中，通過取放機構取料或放料，當一級升降架下移時，使取放機構離開切片設備的內腔。
13、作為優選，所述一級驅動機構包括第一動力源，通過第一減速器與所述第一動力源配合的絲桿，設置在所述一級升降架上的絲桿螺母，所述第一動力源和第一減速器配合用于驅動所述絲桿轉動，所述絲桿與絲桿螺母配合，使所述一級升降架上升或下降。絲桿、絲桿螺母以及第一減速器的配合，能夠精準控制一級升降架上移或下移動的精度，實現精準取放物料的目的。
14、作為優選，為了進一步提高控制精準性和提高安全性本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種自動化上下料系統，其特征在于包括空中軌道(40)，設置在所述空中軌道(40)上的上下取料裝置，用于控制所述上下取料裝置工作的控制機構(51)，所述上下取料裝置包括基座(1)，設置在基座(1)上的上下取料機構，所述上下取料機構包括設置在所述基座(1)上的升降機構和設置在所述升降機構上的取放機構，所述基座(1)上設置移動導向組件，所述移動導向組件使所述基座(1)可在所述空中軌道(40)上移動用于改變上下取料機構的位置，所述升降機構用于使取放機構下降用于向下下料、上升用于復位或向上取料，所述取放機構張開用于放料、收緊用于抓料。
2.根據權利要求1所述的自動化上下料系統，其特征在于所述空中軌道(40)至少為兩條間隔設置的軌道，至少一條所述空中軌道(40)上設置齒條(41)，所述移動導向組件包括設置在所述基座(1)的底部的導向件(18)、第三齒輪(19)、第二減速器(20)和第二動力源(21)，所述第三齒輪(19)與所述齒條(41)嚙合，所述第二動力源(21)和第二減速器(20)配合驅動所述第三齒輪(19)轉動帶動所述基座(1)在所述空中軌道(40)上移動。
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