一種面板集成檢測設備和調試方法技術

本發明專利技術公開了一種面板集成檢測設備和調試方法，其包括設置于隔振臺上的集成電路檢測裝置和AOI檢測裝置，所述AOI檢測裝置包括光機安裝架和光學檢測模組，所述光機安裝架上至少設置有用于調節所述光學檢測模組空間位置和/或空間角度的第一調節模組，所述集成電路檢測裝置上設置有用于調節其空間位置和/或空間角度的第二調節模組；所述第二調節模組能夠實現集成電路檢測裝置沿第一軸的軸向的位移調節和繞第三軸的旋轉調節。本發明專利技術不僅結構簡單，而且能夠有效降低振動對面板檢測精度帶來的影響，提高面板檢測的精度。提高面板檢測的精度。提高面板檢測的精度。

【技術實現步驟摘要】
一種面板集成檢測設備和調試方法


[0001]本專利技術公開了一種集成檢測設備，屬于Micro LED檢測
，具體公開了一種面板集成檢測設備和調試方法。

技術介紹

[0002]目前，Micro LED作為一種主流的顯示技術相對于其它微顯示技術雖然具有無與倫比的優勢，但是Micro LED微顯示器需要進行ATE測試和AOI測試，才可以有效地降低配至有Micro LED微顯示器的故障率。
[0003]由于Micro LED像素尺寸微縮化，其給Micro LED的測試帶來了挑戰。目前常規的Micro LED的檢測通常式通過ATE測試裝置和AOI測試裝置獨立實現，即需要首先在一個工位基于集成電路檢測裝置完成Micro LED的ATE測試，然后將檢測合格后的Micro LED移送至另一個工位，基于AOI設備對其完成AOI測試，上述檢測方法需要工位切換工序，故其檢測耗時較長；為了解決上述技術問題，集成有電路檢測裝置、AOI檢測裝置的面板檢測設備應運而生，該面板檢測設備一般包括底座，底座上配置有隔振臺，隔振臺上安裝有光機安裝架，光機安裝架通過一個調節機構連接有光學檢測模組，光學檢測模組在調節機構作用下能夠在空間內實現5
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6個自由度的自由調節，但是由于整個調節機構+光學檢測模組均處于一個懸臂狀態，故當光機安裝架振動時，該懸臂狀態的調節機構+光學檢測模組會放大該振動對光機檢測精度的影響，從而降低了檢測精度。

技術實現思路

[0004]針對現有技術中存在的技術問題，本專利技術提供了一種面板集成檢測設備和調試方法，其不僅結構簡單，而且能夠有效降低振動對面板檢測精度帶來的影響，提高面板檢測的精度。
[0005]本專利技術公開了一種面板集成檢測設備，其包括設置于隔振臺上的集成電路檢測裝置和AOI檢測裝置，所述AOI檢測裝置包括光機安裝架和光學檢測模組，所述光機安裝架上至少設置有用于調節所述光學檢測模組空間位置和/或空間角度的第一調節模組，所述集成電路檢測裝置上設置有用于調節其空間位置和/或空間角度的第二調節模組；所述第二調節模組能夠實現集成電路檢測裝置沿第一軸的軸向的位移調節和繞第三軸的旋轉調節。
[0006]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述第一調節模組包括沿第二軸的軸向延伸的第一直線模組、沿第三軸的軸向延伸的第二直線模組和能夠繞第一軸旋轉的旋轉模組，第一軸、第二軸和第三軸兩兩相互垂直。
[0007]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述第一直線模組包括固接于所述光機安裝架上的固定板和沿第二軸的軸向滑動配合連接于所述固定板上的移動板，所述移動板上這是固接有有兩個與其垂直布置的連接板。
[0008]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述旋轉模組包括連接于所述第二直線模組或所述第一直線模組移動端的底板，所述底板上連接有可繞第一軸旋轉的基板，所述基板上
連接有用于固定光機的光機夾爪和用于夾持光機鏡頭的端部的鏡頭固定座。
[0009]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述固定板和/或所述移動板和/或所述連接板和/或所述底板和/或所述基板和/或所述光機夾爪的材質為合金，所述合金的抗拉強度≥600Mpa，所述合金的熱膨脹系數≤12*106mm/mm℃。
[0010]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述固定板和所述移動板的材質包括但不限于普通鋼、不銹鋼、四五鋼、鐵基、鈷基、鉑基熱膨脹合金。
[0011]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述基板上設置有沿第三軸的軸向延伸的測距儀。
[0012]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述第二調節模組為設置于光機安裝架和所述集成電路檢測裝置之間并可實現兩者穩定連接的可調連接件。
[0013]本專利技術還公開了一種面板集成檢測設備的調試方法，其使用了面板集成檢測設備實現對檢測光機和待檢測件兩者之間至少5個自由度的調節，其中基于第二調節模組能夠實現對待檢測件沿第一軸的軸向的位移調節和繞第三軸的旋轉調節；基于第一調節模組實現對檢測光機實現空間位置和/或空間角度的多個自由度調節。
[0014]在本專利技術的一種優選實施方案中，第二調節模組沿第一軸的軸向的位移調節和繞第三軸的旋轉調節的時候，產生的第二軸的軸向和第三軸的軸向偏移，均可通過第一調節模組調節檢測光機在第一軸的軸向位移和其相對于第三軸的軸向位移進行補償修正。
[0015]在本專利技術的一種優選實施方案中，還包括底架和控制裝置，所述控制裝置與所述集成電路檢測裝置和所述AOI檢測裝置通訊連接，所述底架上設置有所述隔振臺。
[0016]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述光機安裝架為單立柱式結構、T形立柱式結構或者龍門架式結構。
[0017]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述光學檢測模組包括檢測光機，或者所述光學檢測模組包括檢測光機和濾鏡輪。
[0018]在本專利技術的一種優選實施方案中，所述光學檢測模組包括能夠沿第三軸向進行調焦的調焦環。
[0019]本專利技術的有益效果是：本專利技術具有結構簡單、穩定性好、檢測精度高的優點，其通過在光機安裝架上設置有用于調節光學檢測模組空間位置和/或空間角度的第一調節模組，集成電路檢測裝置上設置有用于調節其空間位置和/或空間角度的第二調節模組，從而有效地減輕了懸臂部分的部分調節機構+光學檢測模組的總體重量，同時還縮小了光學檢測模組距離光機安裝架的力臂，從而有效地降低了懸臂部分所產生的彎矩，故光機安裝架的振動更不容易影響到光學檢測模組的工作，從而有效地提高了光學檢測模組的檢測精度；
[0020]進一步的，本專利技術的固定板11.1和/或移動板11.2和/或連接板11.3和/或底板10.1和/或基板10.2和/或光機夾爪10.3的材質為合金，合金的抗拉強度≥600Mpa，合金的熱膨脹系數≤12*106mm/mm℃、固定板11.1和移動板11.2的材質為鋼、普通鋼、不銹鋼、四五鋼，該材料選擇能夠保證第一調節模組具有良好的剛度和穩定性、有效地減少其振動以及受熱膨脹對懸臂部分檢測光機的影響，提高了本專利技術的檢測精度；
[0021]進一步的，本專利技術的第一直線模組、第二直線模組和旋轉模組采用模塊化的分時體結構，更利于裝配和維護；
[0022]進一步的，本專利技術通過引入連接組件將光機安裝架和集成電路檢測裝置連接為剛性整體，從而使得兩者在外界干擾下始終保持一致的振幅，避免了位于光機安裝架上光學檢測模組與集成電路檢測裝置的不同步晃動，從而提高了設備的檢測精度；
[0023]進一步的，本專利技術的連接組件包括用于連接集成電路檢測裝置的第一固定板、用于連接光機安裝架的第二固定板和用于實現第一固定板和第一固定板連接的調節塊，該分體式結構不僅便于安裝；
[0024]進一步的，本專利技術的調節塊、第一固定板和第二固定板組合在一起可以實現對集成電路檢測裝置相對于Y軸向的位移以及其相對于Z軸向的旋轉，具有更好的調節兼容性；
[0025]進一步的，本專利技術的光學檢測模組配置有測距儀，測距儀的存在能夠方便光學檢測模組的全自動化對焦，提高了本專利技術的兼容性和自動本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種面板集成檢測設備，其特征在于：包括設置于隔振臺(7)上的集成電路檢測裝置(2)和AOI檢測裝置，所述AOI檢測裝置包括光機安裝架(1)和光學檢測模組(3)，所述光機安裝架(1)上至少設置有用于調節所述光學檢測模組(3)空間位置和/或空間角度的第一調節模組，所述集成電路檢測裝置(2)上設置有用于調節其空間位置和/或空間角度的第二調節模組；所述第二調節模組能夠實現集成電路檢測裝置(2)沿第一軸的軸向的位移調節和繞第三軸的旋轉調節。2.根據權利要求1所述的面板集成檢測設備，其特征在于：所述第一調節模組包括沿第二軸的軸向延伸的第一直線模組(11)、沿第三軸的軸向延伸的第二直線模組(9)和能夠繞第一軸旋轉的旋轉模組(10)，第一軸、第二軸和第三軸兩兩相互垂直。3.根據權利要求2所述的面板集成檢測設備，其特征在于：所述第一直線模組(11)包括固接于所述光機安裝架(1)上的固定板(11.1)和沿第二軸的軸向滑動配合連接于所述固定板(11.1)上的移動板(11.2)，所述移動板(11.2)上這是固接有有兩個與其垂直布置的連接板(11.3)。4.根據權利要求2所述的面板集成檢測設備，其特征在于：所述旋轉模組(10)包括連接于所述第二直線模組(9)或所述第一直線模組(11)移動端的底板(10.1)，所述底板(10.1)上連接有可繞第一軸旋轉的基板(10.2)，所述基板(10.2)上連接有用于固定光機的光機夾爪(10.3)和用于夾持光機鏡頭的端部的鏡頭固定座(10.4)。5.根據權利要求3或4所述的面板集成檢...

【專利技術屬性】
技術研發人員：肖治祥，王宏麗，朱濤，葉坤，
申請(專利權)人：武漢精測電子集團股份有限公司，
類型：發明
國別省市：