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    下載一種面板集成檢測設備和調試方法的技術資料

    文檔序號:36706825

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    本發明公開了一種面板集成檢測設備和調試方法,其包括設置于隔振臺上的集成電路檢測裝置和AOI檢測裝置,所述AOI檢測裝置包括光機安裝架和光學檢測模組,所述光機安裝架上至少設置有用于調節所述光學檢測模組空間位置和/或空間角度的第一調節模組,所述...
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