本發明專利技術公開了一種晶圓雙面刷洗裝置，包括容器框架，容器框架上設置有圓周旋轉裝置、吹氣清洗裝置和檢測裝置，所述容器框架的一側設置有毛刷清洗裝置，所述毛刷清洗裝置包括固定設置于晶圓下方的下部清理毛刷和移動設置于晶圓上方的上部清理毛刷，所述下部清理毛刷和上部清理毛刷的固定端均在所述毛刷清洗裝置上。本發明專利技術的有益效果是，雙面刷洗裝置可以實現對精圓片的雙面刷洗，并配合晶圓片旋轉驅動裝置對晶圓片進行旋轉，達到對晶圓片的全方位刷洗，刷洗效果好，而且工作效率高，且驅動旋轉的機構采用圓周旋轉裝置，可以做到最小接觸面積帶動晶圓旋轉，減少了晶圓在旋轉清理過程中被二次污染的面積和概率，提升了刷洗的清潔完整度。整度。整度。
【技術實現步驟摘要】
一種晶圓雙面刷洗裝置
[0001]本專利技術涉及半導體加工
，特別是一種晶圓雙面刷洗裝置。
技術介紹
[0002]目前，在晶圓片的制造過程中，眾所皆知的是，在加工過程中所遺留在晶片表面的不必要殘留必須加以清洗。此般的制造操作范例包括有等離子體蝕刻和化學機械拋光法。若不必要的殘留物質和微粒在連續的制造操作過程中遺留在晶片的表面，這些殘留物質和微粒將會造成如晶片表面刮傷和金屬化特征間的不適當的交互作用等瑕疵。在一些案例中，此般瑕疵可能導致晶片上的裝置變得無法運作。欲避免由于丟棄具有無法運作的裝置的晶片而所造成的額外費用，因此，當在晶片表面上遺留不必要的殘余物的制造操作程序之后，必須適當并有效率地清洗晶片。在化學機械拋光工藝后實施的清洗步驟可以是：利用旋轉的清潔刷在刷洗機內清洗晶片表面，利用清潔刷的旋轉動作和清潔刷施加在晶片的壓力，幫助剩余漿料從晶片表面上移除。
[0003]但是，公知化學機械拋光后晶片清洗設備多是單面刷，清洗工藝復雜，無法達到令人滿意的清潔效率，沿著晶片表面的邊緣可以看見剩余漿料和大量缺陷，另外，對晶圓片的二次污染也很嚴重，自動化率也不高，因此，產業上還需要一種晶圓片雙面刷洗機，來解決上述問題。
技術實現思路
[0004]本專利技術的目的是為了解決上述問題，設計了一種晶圓雙面刷洗裝置。
[0005]實現上述目的本專利技術的技術方案為一種晶圓雙面刷洗裝置，包括容器框架，所述容器框架上設置有圓周旋轉裝置、吹氣清洗裝置和檢測裝置，所述容器框架的一側設置有毛刷清洗裝置，所述毛刷清洗裝置包括固定設置于晶圓下方的下部清理毛刷和移動設置于晶圓上方的上部清理毛刷，所述下部清理毛刷和上部清理毛刷的固定端均在所述毛刷清洗裝置上。
[0006]作為對本專利技術的進一步說明，所述圓周旋轉裝置包括左夾持結構和右夾持結構，所述左夾持結構和右夾持結構呈對稱設置，所述左夾持結構包括夾持組件，所述夾持組件上固定安裝有圓周旋轉裝置，所述夾持組件的底部連接有距離調節裝置，所述距離調節裝置固定安裝在安裝板上。
[0007]作為對本專利技術的進一步說明，所述夾持組件整體呈Z形，所述夾持組件的上端設置有呈內圓弧狀，且上端的面板上設置的用于安裝圓周旋轉裝置的若干圓孔也呈內圓弧狀排列，所述夾持組件底端的面板固定安裝在距離調節裝置上的滑塊上。
[0008]作為對本專利技術的進一步說明，，所述圓周旋轉裝置包括固定安裝在夾持組件底部的旋轉驅動氣缸，所述旋轉驅動氣缸的上端連接有傳動齒輪，所述圓周旋轉裝置之間通過齒輪和齒條的組合進行連接，所述傳動齒輪上端通過連接軸穿過夾持組件的上面板和容器框架的底板連接夾層旋轉元件，所述連接軸的外圍設置有軸套，所述軸套固定安裝在所述
夾持組件上端面板上的圓孔內，所述連接軸穿過容器框架的底板上的圓孔呈長圓狀。
[0009]作為對本專利技術的進一步說明，所述距離調節裝置包括距離調節組件，所述距離調節組件固定安裝在所述安裝板上，所述距離調節組件上通過滑軌連接有滑塊，所述滑塊的一端固定連接在夾持組件的下端面板上。
[0010]作為對本專利技術的進一步說明，所述吹氣清洗裝置包括固定安裝在安裝板上的升降機構，所述升降機構的一側通過滑塊連接有吹氣機構，所述吹氣機構的一側還設置有轉動機構固定安裝在滑塊上。
[0011]作為對本專利技術的進一步說明，所述升降機構包括高度調整電機，所述高度調整電機固定安裝在安裝板上，所述高度調整電機上通過滑軌連接有滑塊；
[0012]所述吹氣機構包括固定安裝在滑塊上的吹氣氣缸，所述吹氣氣缸的上端通過轉動機構貫穿容器框架連接有轉桿，所述轉桿的端部連接有噴氣組件，所述吹氣氣缸的下端連接有齒輪；
[0013]所述轉動機構包括固定安裝在滑塊上的轉動電機，所述轉動電機的底部連接有齒輪，轉動電機底部的齒輪與所述吹氣氣缸底部的齒輪通過齒條連接。
[0014]作為對本專利技術的進一步說明，所述檢測裝置包括固定安裝在安裝板上的固定架，所述固定架上固定安裝有旋轉檢驗電機，所述旋轉檢驗電機的上端通過旋轉組件貫穿容器框架的底板連接有旋轉檢驗桿。
[0015]作為對本專利技術的進一步說明，所述毛刷清洗裝置包括固定安裝在所述容器框架一側的下部清洗機構，所述下部清洗機構包括下部旋轉電機，所述下部旋轉電機固定安裝在定位板上，所述下部旋轉電機的上端設置有下部清理毛刷連接在定位板上。
[0016]作為對本專利技術的進一步說明，所述毛刷清理裝置還包括固定安裝在所述容器框架同一側的上部清洗機構，所述上部清洗機構包括固定安裝在所述容器框架一側的橫向移動機構，所述橫向移動機構上通過滑塊連接有豎向移動機構，所述豎向移動機構包括豎向電機，所述豎向電機固定安裝在安裝件上，所述豎向電機的一側設置有上部旋轉電機固定安裝在安裝件上，所述上部旋轉電機的下方設置有上部清理毛刷連接在安裝件上。
[0017]其有益效果在于，雙面刷洗裝置可以實現對精圓片的雙面刷洗，并配合晶圓片旋轉驅動裝置對晶圓片進行旋轉，達到對晶圓片的全方位刷洗，刷洗效果好，而且工作效率高，且驅動旋轉的機構采用圓周旋轉裝置，可以做到最小接觸面積帶動晶圓旋轉，減少了晶圓在旋轉清理過程中被二次污染的面積和概率，提升了刷洗的清潔完整度。還通過吹氣機構對晶圓進行二次清理，達到進一步清理晶圓的效果，清理完成后還設置有檢查裝置對晶圓表面的清潔度進行檢查，保證清潔的效果可以達標。
附圖說明
[0018]圖1是本專利技術的結構示意圖；
[0019]圖2是本專利技術的另一個視角的結構示意圖；
[0020]圖3是本專利技術的另一個視角的結構示意圖；
[0021]圖4是本專利技術的另一個視角的結構示意圖。
[0022]圖中，1、容器框架；2、圓周旋轉裝置；3、吹氣清洗裝置；4、檢測裝置；5、毛刷清洗裝置；6、下部清理毛刷；7、上部清理毛刷；8、左夾持結構；9、右夾持結構；10、夾持組件；11、距
離調節裝置；12、旋轉驅動氣缸；13、夾層旋轉元件；14、升降機構；15、吹氣機構；16、轉動機構；17、固定架；18、旋轉檢驗電機；19、旋轉檢驗桿；20、下部旋轉電機；21、定位板；22、橫向移動機構；23、豎向移動機構。
具體實施方式
[0023]下面結合附圖對本專利技術進行具體描述，如圖1
?
4所示，一種晶圓雙面刷洗裝置，先來對本專利技術的主體結構進行介紹，主要包括容器框架1，容器框架1上設置有圓周旋轉裝置2、吹氣清洗裝置3和檢測裝置4，容器框架1的一側設置有毛刷清洗裝置5，毛刷清洗裝置5包括固定設置于晶圓下方的下部清理毛刷6和移動設置于晶圓上方的上部清理毛刷7，下部清理毛刷6和上部清理毛刷7的固定端均在毛刷清洗裝置5上。先通過圓周旋轉裝置2帶動晶圓轉動，毛刷清洗裝置5通過上部清理毛刷7和下部清理毛刷6同時對旋轉中的晶圓的上下面進行清理，然后再通過吹氣清洗裝置3對晶圓的表面進行吹氣清洗，最后通過檢測裝置4對晶圓表面的清潔度進行檢測是否達標
[0024]接下來對上述主體結構部件進行詳細說明。
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【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種晶圓雙面刷洗裝置，其特征在于，包括容器框架(1)，所述容器框架(1)上設置有圓周旋轉裝置(2)、吹氣清洗裝置(3)和檢測裝置(4)，所述容器框架(1)的一側設置有毛刷清洗裝置(5)，所述毛刷清洗裝置(5)包括固定設置于晶圓下方的下部清理毛刷(6)和移動設置于晶圓上方的上部清理毛刷(7)，所述下部清理毛刷(6)和上部清理毛刷(7)的固定端均在所述毛刷清洗裝置(5)上。2.根據權利要求1所述的一種晶圓雙面刷洗裝置，其特征在于，所述圓周旋轉裝置(2)包括左夾持結構(8)和右夾持結構(9)，所述左夾持結構(8)和右夾持結構(9)呈對稱設置，所述左夾持結構(8)包括夾持組件(10)，所述夾持組件(10)上固定安裝有圓周旋轉裝置(2)，所述夾持組件(10)的底部連接有距離調節裝置(11)，所述距離調節裝置(11)固定安裝在安裝板上。3.根據權利要求2所述的一種晶圓雙面刷洗裝置，其特征在于，所述夾持組件(10)整體呈Z形，所述夾持組件(10)的上端設置有呈內圓弧狀，且上端的面板上設置的用于安裝圓周旋轉裝置(2)的若干圓孔也呈內圓弧狀排列，所述夾持組件(10)底端的面板固定安裝在距離調節裝置(11)上的滑塊上。4.根據權利要求3所述的一種晶圓雙面刷洗裝置，其特征在于，所述圓周旋轉裝置(2)包括固定安裝在夾持組件(10)底部的旋轉驅動氣缸(12)，所述旋轉驅動氣缸(12)的上端連接有傳動齒輪，所述圓周旋轉裝置(2)之間通過齒輪和齒條的組合進行連接，所述傳動齒輪上端通過連接軸穿過夾持組件(10)的上面板和容器框架(1)的底板連接夾層旋轉元件(13)，所述連接軸的外圍設置有軸套，所述軸套固定安裝在所述夾持組件(10)上端面板上的圓孔內，所述連接軸穿過容器框架(1)的底板上的圓孔呈長圓狀。5.根據權利要求4所述的一種晶圓雙面刷洗裝置，其特征在于，所述距離調節裝置(11)包括距離調節組件，所述距離調節組件固定安裝在所述安裝板上，所述距離調節組件上通過滑軌連接有滑塊，所述滑塊的一端固定連接在夾持組件(10)的下端面板上。6.根據權利要求1所述的一種...
【專利技術屬性】
技術研發人員：楊杰，蔣君，
申請(專利權)人：拓思精工科技蘇州有限公司，
類型：發明
國別省市：
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