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本發(fā)明公開了一種晶圓雙面刷洗裝置，包括容器框架，容器框架上設(shè)置有圓周旋轉(zhuǎn)裝置、吹氣清洗裝置和檢測裝置，所述容器框架的一側(cè)設(shè)置有毛刷清洗裝置，所述毛刷清洗裝置包括固定設(shè)置于晶圓下方的下部清理毛刷和移動設(shè)置于晶圓上方的上部清理毛刷，所述下部清理...該專利屬于拓思精工科技（蘇州）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過拓思精工科技（蘇州）有限公司授權(quán)不得商用。