一種真空鍍膜襯底底座制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種真空鍍膜襯底底座，包括襯底托盤、轉(zhuǎn)軸和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述襯底托盤通過設(shè)置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)軸相連，所述襯底托盤底部設(shè)置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽，所述襯底托盤底部還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)桿，所述角度調(diào)節(jié)桿一端固定在設(shè)備底座上，另一端為接觸球端，所述接觸球端可在圓環(huán)形凹槽內(nèi)滑動(dòng)。本實(shí)用新型專利技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)襯底底座的簡(jiǎn)單的類行星式轉(zhuǎn)動(dòng)，以使襯底底座在加工過程中能夠旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)，達(dá)到改善真空鍍膜工藝對(duì)非平面結(jié)構(gòu)的臺(tái)階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種真空鍍膜襯底底座
本技術(shù)涉及一種真空鍍膜襯底底座，屬于真空鍍膜裝置

技術(shù)介紹
真空鍍膜裝置被廣泛應(yīng)用于各種平面鍍膜領(lǐng)域，但是對(duì)于立體異形結(jié)構(gòu)的鍍膜，往往需要復(fù)雜的襯底旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)等復(fù)雜機(jī)構(gòu)的支持，現(xiàn)有的真空鍍膜襯底底座難以實(shí)現(xiàn)這一要求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種真空鍍膜襯底底座，可使襯底底座在加工過程中能夠旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)，達(dá)到改善真空鍍膜工藝對(duì)非平面結(jié)構(gòu)的臺(tái)階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。為解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供一種真空鍍膜襯底底座，包括襯底托盤、轉(zhuǎn)軸和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述襯底托盤通過設(shè)置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)軸相連，所述襯底托盤底部設(shè)置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽，所述襯底托盤底部還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)桿，所述角度調(diào)節(jié)桿一端固定在設(shè)備底座上，另一端為接觸球端，所述接觸球端可在圓環(huán)形凹槽內(nèi)滑動(dòng)。所述傳動(dòng)軸包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接軸和關(guān)節(jié)蓋帽，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接軸的末端為關(guān)節(jié)球體，所述關(guān)節(jié)球體被球關(guān)節(jié)蓋帽包合，所述球關(guān)節(jié)蓋帽與轉(zhuǎn)軸相連。所述轉(zhuǎn)軸包括結(jié)構(gòu)連接螺釘，所述結(jié)構(gòu)連接螺釘一端與襯底托盤固定連接，另一端與傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。所述結(jié)構(gòu)連接螺釘通過固定螺釘固定在襯底托盤的底部。所述襯底托盤圓心處設(shè)置有螺釘沉孔，所述固定螺釘安裝于螺釘沉孔內(nèi)。所述襯底托盤的邊緣設(shè)置有樣品限位環(huán)。所述球關(guān)節(jié)蓋帽包括上蓋帽和下蓋帽，所述上蓋帽上設(shè)置有容納轉(zhuǎn)軸的凹孔。本技術(shù)所達(dá)到的有益效果：1.真空鍍膜進(jìn)行時(shí)，傳動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接并不斷旋轉(zhuǎn)，放于襯底托盤上的樣品以傳動(dòng)軸為中心對(duì)稱軸在俯視平面內(nèi)做圓周運(yùn)動(dòng)，另一方面，由于襯底托盤與角度調(diào)節(jié)桿滑動(dòng)接觸，從而使襯底托盤在角度調(diào)節(jié)桿限位作用下，將圓周運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)為在其所在的平面內(nèi)做自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)改善真空鍍膜工藝對(duì)非平面結(jié)構(gòu)的臺(tái)階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。2.角度調(diào)節(jié)桿上接觸球端的接觸角度可隨著調(diào)節(jié)桿的彎折和高度而變化，進(jìn)而對(duì)襯底托盤的傾斜角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空鍍膜工藝中不同孔徑比的樣品的均勻鍍膜。因此，本技術(shù)所提供的一種真空鍍膜襯底底座，可以實(shí)現(xiàn)襯底底座的簡(jiǎn)單的類行星式轉(zhuǎn)動(dòng)，以使襯底底座在加工過程中能夠旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)，達(dá)到改善真空鍍膜工藝對(duì)非平面結(jié)構(gòu)的臺(tái)階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。附圖說明圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本技術(shù)的技術(shù)方案，而不能以此來限制本技術(shù)的保護(hù)范圍。如圖1所示的一種真空鍍膜襯底底座，包括襯底托盤1、轉(zhuǎn)軸和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述襯底托盤1通過設(shè)置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)軸相連，所述襯底托盤1底部設(shè)置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽1-3，所述襯底托盤底部還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)桿5，所述角度調(diào)節(jié)桿5一端固定在設(shè)備底座上，另一端為接觸球端5-1，所述接觸球端5-1可在圓環(huán)形凹槽1-3內(nèi)滑動(dòng)。所述傳動(dòng)軸包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接軸4和關(guān)節(jié)蓋帽3，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接軸4的末端為關(guān)節(jié)球體4-1，所述關(guān)節(jié)球體4-1被球關(guān)節(jié)蓋帽3包合，所述球關(guān)節(jié)蓋帽3與轉(zhuǎn)軸相連。所述轉(zhuǎn)軸包括結(jié)構(gòu)連接螺釘2，所述結(jié)構(gòu)連接螺釘2一端與襯底托盤1固定連接，另一端與傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。所述結(jié)構(gòu)連接螺釘2通過固定螺釘1-4固定在襯底托盤1的底部。所述襯底托盤1圓心處設(shè)置有螺釘沉孔1-1，所述固定螺釘1-4安裝于螺釘沉孔1-1內(nèi)，以避免固定螺釘1-4安裝后高于襯底托盤1表面，使真空鍍膜的樣品被頂起。所述襯底托盤1的邊緣設(shè)置有樣品限位環(huán)1-2，防止在旋轉(zhuǎn)過程中樣品被甩出襯底托盤1。所述球關(guān)節(jié)蓋帽3包括上蓋帽3-1和下蓋帽3-2，所述上蓋帽3-1上設(shè)置有容納轉(zhuǎn)軸的凹孔，由于球關(guān)節(jié)蓋帽3在轉(zhuǎn)動(dòng)中容易發(fā)生磨損。這一結(jié)構(gòu)使球關(guān)節(jié)蓋帽3易于安裝拆卸，便于維護(hù)更換。以上所述僅是本技術(shù)的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本
的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本技術(shù)技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變形，這些改進(jìn)和變形也應(yīng)視為本技術(shù)的保護(hù)范圍。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種真空鍍膜襯底底座，其特征在于，包括襯底托盤、轉(zhuǎn)軸和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述襯底托盤通過設(shè)置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)軸相連，所述襯底托盤底部設(shè)置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽，所述襯底托盤底部還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)桿，所述角度調(diào)節(jié)桿一端固定在設(shè)備底座上，另一端為接觸球端，所述接觸球端可在圓環(huán)形凹槽內(nèi)滑動(dòng)。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種真空鍍膜襯底底座，其特征在于，包括襯底托盤、轉(zhuǎn)軸和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述襯底托盤通過設(shè)置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)軸相連，所述襯底托盤底部設(shè)置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽，所述襯底托盤底部還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)桿，所述角度調(diào)節(jié)桿一端固定在設(shè)備底座上，另一端為接觸球端，所述接觸球端可在圓環(huán)形凹槽內(nèi)滑動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜襯底底座，其特征在于，所述傳動(dòng)軸包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接軸和關(guān)節(jié)蓋帽，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接軸的末端為關(guān)節(jié)球體，所述關(guān)節(jié)球體被球關(guān)節(jié)蓋帽包合，所述球關(guān)節(jié)蓋帽與轉(zhuǎn)軸相連。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜襯底底座，...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：馮斌，任高潮，顧為民，金浩，王德苗，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州求是真空電子有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：江蘇,32