本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，包括第一轉(zhuǎn)軸、儲(chǔ)液盤、上基盤、上固結(jié)磨料磨盤、支撐筒、第二轉(zhuǎn)軸和下基盤，儲(chǔ)液盤內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)液槽，支撐架上設(shè)有若干輸液管，上基盤頂部設(shè)有法蘭盤，法蘭盤上設(shè)有若干支撐柱，上基盤與儲(chǔ)液盤之間設(shè)有若干導(dǎo)液管，上固結(jié)磨料磨盤上設(shè)有若干通孔，第二轉(zhuǎn)軸外設(shè)有外齒輪，第二轉(zhuǎn)軸外設(shè)有支撐座，支撐座上設(shè)有若干下基盤支撐，下基盤底部設(shè)有若干凹槽，下基盤上設(shè)有下固結(jié)磨料磨盤，支撐筒上設(shè)有若干內(nèi)齒；本實(shí)用新型專利技術(shù)利于降低生產(chǎn)成本，減少晶片劃痕，提高晶片質(zhì)量和加工效率。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，屬于藍(lán)寶石窗口片生產(chǎn)加工
技術(shù)介紹
藍(lán)寶石（Sapphire）晶體具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料、各種光學(xué)元器件、掃描儀窗口材料。藍(lán)寶石窗口片用于光學(xué)窗口領(lǐng)域具有以下幾個(gè)優(yōu)良特征：1.高光學(xué)透射率，藍(lán)寶石晶體有很好的透光性能，其透光范圍為0.15～7.5微米，覆蓋了紫外、可見、近紅外、中紅外等波段；2.高耐磨性，膨脹系數(shù)僅為5X10-6/度，熔點(diǎn)為2050°C，工作溫度可達(dá)1900°C，具有優(yōu)秀的耐熱沖擊和耐高溫性能；3.很好的機(jī)械性能，其硬度可達(dá)莫氏9級(jí)，同時(shí)還有很好的抗壓強(qiáng)度、壓縮強(qiáng)度和彎曲強(qiáng)度，同時(shí)具有抗電磁干擾、電磁兼容性能，抗輻射性能、電絕緣性能；隨著藍(lán)寶石應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展，對(duì)藍(lán)寶石研磨厚度去除效率、外觀等要求也越來(lái)越嚴(yán)格。傳統(tǒng)的藍(lán)寶石減薄加工采用球墨鑄鐵配合碳化硼研磨液加工，由于球墨鑄鐵材質(zhì)硬，碳化硼顆粒在研磨過(guò)程中菱角容易磨損，存在加工效率低、晶片外觀劃痕多、返修多、研磨液用量多成本高等不足。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，利于降低生產(chǎn)成本，減少晶片劃痕，提高晶片質(zhì)量和加工效率。本技術(shù)是通過(guò)如下的技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的：一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，包括第一轉(zhuǎn)軸、儲(chǔ)液盤、上基盤、上固結(jié)磨料磨盤、支撐筒、第二轉(zhuǎn)軸和下基盤，其中，所述儲(chǔ)液盤內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)液槽，所述第一轉(zhuǎn)軸底部與儲(chǔ)液盤相連，所述第一轉(zhuǎn)軸外設(shè)有支撐架，所述支撐架上設(shè)有若干輸液管，所述若干輸液管底部置于儲(chǔ)液槽內(nèi)，且繞儲(chǔ)液盤一周均勻間隔設(shè)置，所述輸液管上設(shè)有截流閥；所述上基盤頂部設(shè)有法蘭盤，所述法蘭盤上設(shè)有若干支撐柱，所述若干支撐柱繞法蘭盤一周均勻間隔設(shè)置，且頂部與儲(chǔ)液盤相連，所述上基盤與儲(chǔ)液盤之間設(shè)有若干導(dǎo)液管，所述導(dǎo)液管與儲(chǔ)液槽連通，所述上固結(jié)磨料磨盤頂部與上基盤底部相連，所述上固結(jié)磨料磨盤和上基盤中心均設(shè)有軸孔，所述上固結(jié)磨料磨盤上設(shè)有若干通孔，所述若干通孔與導(dǎo)液管對(duì)應(yīng)連通；所述第二轉(zhuǎn)軸置于支撐筒中心，且與軸孔相對(duì)設(shè)置，所述第二轉(zhuǎn)軸外設(shè)有外齒輪，所述第二轉(zhuǎn)軸外設(shè)有支撐座，所述支撐座上設(shè)有若干下基盤支撐，所述下基盤底部設(shè)有若干凹槽，所述凹槽與下基盤支撐配合，所述下基盤上設(shè)有下固結(jié)磨料磨盤，所述支撐筒上設(shè)有若干內(nèi)齒，所述若干內(nèi)齒與外齒輪在同一水平面上。上述一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，其中，所述若干通孔呈多層環(huán)形相互交錯(cuò)設(shè)置。上述一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，其中，所述支撐座頂部呈圓錐形，所述下基盤支撐包括支撐凸起和支撐面板。本技術(shù)的有益效果為：將切割后的藍(lán)寶石工件薄片置于下固結(jié)磨料磨盤上，通過(guò)從輸液管內(nèi)輸送濃度為20%研磨液，通過(guò)截流閥控制流量5L/min，至儲(chǔ)液槽內(nèi)，并從導(dǎo)液管流至上固結(jié)磨料磨盤通孔，控制第一轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)下固結(jié)磨料磨盤旋轉(zhuǎn)，控制第二轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)與外齒輪配合的藍(lán)寶石工件，在支撐筒內(nèi)齒上旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)上固結(jié)磨料磨盤和下固結(jié)磨料磨盤對(duì)藍(lán)寶石減薄加工。本技術(shù)采用固結(jié)磨料磨盤，硬度較低，表面分布的研磨通孔有利于過(guò)程中研磨液碳化硼顆?？梢澡偳对诒砻妫行У臏p少碳化硼顆粒菱角磨損，減少晶片劃痕，利于提升晶片外觀質(zhì)量本技術(shù)相較傳統(tǒng)球墨鑄鐵加工方法的30%研磨液，流量15L/min，大大減少了研磨液用量，提高裝置使用壽命，降低成本，同時(shí)提高研磨效率。附圖說(shuō)明圖1為本技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本技術(shù)上固結(jié)磨料磨盤俯視圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明。一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，包括第一轉(zhuǎn)軸1、儲(chǔ)液盤2、上基盤3、上固結(jié)磨料磨盤4、支撐筒5、第二轉(zhuǎn)軸6和下基盤7，其中，所述儲(chǔ)液盤2內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)液槽8，所述第一轉(zhuǎn)軸1底部與儲(chǔ)液盤2相連，所述第一轉(zhuǎn)軸1外設(shè)有支撐架9，所述支撐架9上設(shè)有若干輸液管10，所述若干輸液管10底部置于儲(chǔ)液槽8內(nèi)，且繞儲(chǔ)液盤2一周均勻間隔設(shè)置，所述輸液管10上設(shè)有截流閥12；所述上基盤3頂部設(shè)有法蘭盤13，所述法蘭盤13上設(shè)有若干支撐柱14，所述若干支撐柱14繞法蘭盤13一周均勻間隔設(shè)置，且頂部與儲(chǔ)液盤2相連，所述上基盤3與儲(chǔ)液盤2之間設(shè)有若干導(dǎo)液管15，所述導(dǎo)液管15與儲(chǔ)液槽8連通；所述上固結(jié)磨料磨盤4頂部與上基盤3底部相連，所述上固結(jié)磨料磨盤4和上基盤3中心均設(shè)有軸孔16，所述上固結(jié)磨料磨盤4上設(shè)有若干通孔17，所述若干通孔17與導(dǎo)液管15對(duì)應(yīng)連通，所述若干通孔17呈多層環(huán)形相互交錯(cuò)設(shè)置；所述第二轉(zhuǎn)軸6置于支撐筒5中心，且與軸孔16相對(duì)設(shè)置，所述第二轉(zhuǎn)軸6外設(shè)有外齒輪18，所述第二轉(zhuǎn)軸6外設(shè)有支撐座19，所述支撐座19上設(shè)有若干下基盤支撐20，所述支撐座19頂部呈圓錐形，所述下基盤支撐20包括支撐凸起21和支撐面板22；所述下基盤7底部設(shè)有若干凹槽23，所述凹槽23與下基盤支撐20配合，所述下基盤7上設(shè)有下固結(jié)磨料磨盤24，所述支撐筒5上設(shè)有若干內(nèi)齒25，所述若干內(nèi)齒25與外齒輪18在同一水平面上。本技術(shù)的工作方式為：將切割后的藍(lán)寶石工件薄片置于下固結(jié)磨料磨盤上，通過(guò)從輸液管內(nèi)輸送濃度為20%研磨液，通過(guò)截流閥控制流量5L/min，至儲(chǔ)液槽內(nèi)，并從導(dǎo)液管流至上固結(jié)磨料磨盤通孔，控制第一轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)下固結(jié)磨料磨盤旋轉(zhuǎn)，控制第二轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)與外齒輪配合的藍(lán)寶石工件，在支撐筒內(nèi)齒上旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)上固結(jié)磨料磨盤和下固結(jié)磨料磨盤對(duì)藍(lán)寶石減薄加工。以上所述，僅為本技術(shù)較佳的具體實(shí)施方式，但本技術(shù)的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術(shù)人員在本技術(shù)揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本技術(shù)的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本技術(shù)的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，包括第一轉(zhuǎn)軸、儲(chǔ)液盤、上基盤、上固結(jié)磨料磨盤、支撐筒、第二轉(zhuǎn)軸和下基盤，其特征為，所述儲(chǔ)液盤內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)液槽，所述第一轉(zhuǎn)軸底部與儲(chǔ)液盤相連，所述第一轉(zhuǎn)軸外設(shè)有支撐架，所述支撐架上設(shè)有若干輸液管，所述若干輸液管底部置于儲(chǔ)液槽內(nèi)，且繞儲(chǔ)液盤一周均勻間隔設(shè)置，所述輸液管上設(shè)有截流閥；所述上基盤頂部設(shè)有法蘭盤，所述法蘭盤上設(shè)有若干支撐柱，所述若干支撐柱繞法蘭盤一周均勻間隔設(shè)置，且頂部與儲(chǔ)液盤相連，所述上基盤與儲(chǔ)液盤之間設(shè)有若干導(dǎo)液管，所述導(dǎo)液管與儲(chǔ)液槽連通，所述上固結(jié)磨料磨盤頂部與上基盤底部相連，所述上固結(jié)磨料磨盤和上基盤中心均設(shè)有軸孔，所述上固結(jié)磨料磨盤上設(shè)有若干通孔，所述若干通孔與導(dǎo)液管對(duì)應(yīng)連通；所述第二轉(zhuǎn)軸置于支撐筒中心，且與軸孔相對(duì)設(shè)置，所述第二轉(zhuǎn)軸外設(shè)有外齒輪，所述第二轉(zhuǎn)軸外設(shè)有支撐座，所述支撐座上設(shè)有若干下基盤支撐，所述下基盤底部設(shè)有若干凹槽，所述凹槽與下基盤支撐配合，所述下基盤上設(shè)有下固結(jié)磨料磨盤，所述支撐筒上設(shè)有若干內(nèi)齒，所述若干內(nèi)齒與外齒輪在同一水平面上。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種藍(lán)寶石減薄加工用雙面固結(jié)磨料研磨機(jī)構(gòu)，包括第一轉(zhuǎn)軸、儲(chǔ)液盤、上基盤、上固結(jié)磨料磨盤、支撐筒、第二轉(zhuǎn)軸和下基盤，其特征為，所述儲(chǔ)液盤內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)液槽，所述第一轉(zhuǎn)軸底部與儲(chǔ)液盤相連，所述第一轉(zhuǎn)軸外設(shè)有支撐架，所述支撐架上設(shè)有若干輸液管，所述若干輸液管底部置于儲(chǔ)液槽內(nèi)，且繞儲(chǔ)液盤一周均勻間隔設(shè)置，所述輸液管上設(shè)有截流閥；所述上基盤頂部設(shè)有法蘭盤，所述法蘭盤上設(shè)有若干支撐柱，所述若干支撐柱繞法蘭盤一周均勻間隔設(shè)置，且頂部與儲(chǔ)液盤相連，所述上基盤與儲(chǔ)液盤之間設(shè)有若干導(dǎo)液管，所述導(dǎo)液管與儲(chǔ)液槽連通，所述上固結(jié)磨料磨盤頂部與上基盤底部相連，所述上固結(jié)磨料磨盤和上基盤中心均設(shè)有軸孔，所述...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：胡孔林，王祿寶，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：江蘇吉星新材料有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：江蘇;32
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