真空紫外光譜采集裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及一種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，所述光譜采集裝置進一步包括：循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環氣路；氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環氣路和/或恒壓單元；恒壓單元，所述恒壓單元設置在與所述循環氣路相連的氣體支路上；壓力傳感器，所述壓力傳感器用于監測測量光室的壓力；控制單元，所述控制單元根據所述測量光室的壓力變化調節所述氣路選擇單元。本實用新型專利技術具有成本低、裝置穩定、測量準確、自動恒壓等優點。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及光譜采集，特別涉及測量光室的壓力自動控制的真空紫外光譜的采集裝置。
技術介紹
真空紫外波段的光譜(波長200nm以下)在空氣中傳播時，會被空氣中的氧氣、水蒸氣等物質吸收而無法傳播，其采集、測量必須在真空系統或惰性氣體環境下進行。采用真空系統的方式對光譜進行采集、測量，需要將系統抽真空，這就使得光譜儀必須具有很高的結構強度，且還會帶來功耗、噪音等諸多不便之處。若采用惰性氣體環境，一般采用吹掃或循環的方式，吹掃是在光譜儀工作過程中一直用惰性氣體吹掃光路空間，此方式需要大量的惰性氣體，浪費多、成本高，吹掃時間長，啟動慢；循環是在光室內部充滿惰性氣體并使之循環，但此方式容易引起壓力變化，進而引起折射率的變化，導致儀器光譜漂移嚴重，穩定性降低，測量結果準確性降低。為解決儀器內部壓力變化問題，一般采用壓力補償方式，即當內部壓力下降時，補充外部氣源；當內部壓強升高時，打開泄壓閥，排出多余氣體。此種方式受制于外部氣源且外所述外部氣源極易受到污染。
技術實現思路
為了解決上述現有技術方案中的不足，本技術提供了一種成本低、裝置穩定、測量準確、自動恒壓的真空紫外光譜采集裝置。本技術的目的是通過以下技術方案實現的：一種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，所述光譜采集裝置進一步包括：循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環氣路；氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環氣路和/或恒壓單元；恒壓單元，所述恒壓單元設置在與所述循環氣路相連的氣體支路上；壓力傳感器，所述壓力傳感器用于監測測量光室的壓力；控制單元，所述控制單元根據所述測量光室的壓力變化調節所述氣路選擇單元。根據上述的光譜采集裝置，優選地，所述循環單元為輸送部件。根據上述的光譜采集裝置，優選地，所述光譜采集裝置還包括：吸附劑，所述吸附劑設置在所述循環氣路上。根據上述的光譜采集裝置，可選地，所述吸附劑通過自密封快速接頭設置在所述循環氣路上。根據上述的光譜采集裝置，可選地，所述恒壓單元為緩沖腔體。根據上述的光譜采集裝置，優選地，所述恒壓單元的壓力高于所述測量光室內的壓力。與現有技術相比，本技術具有的有益效果為：1、本技術采用惰性氣體環境實現真空紫外光譜的采集，惰性氣體用量少、成本低、啟動快。2、本技術采用氣體循環和壓力自動調節的方式，排除容易吸收真空紫外波段光譜的氧氣、水蒸氣等物質的干擾，同時無需借助外力，自動實現測量光室的壓力恒定，防止光譜漂移，保證測量結果的準確性。3、本技術在儀器內部自動實現壓力恒定，無需引入外部氣源或與外部環境進行氣體交換，有效避免了外部干擾氣體的引入，提高吸附劑的使用壽命。附圖說明參照附圖，本技術的公開內容將變得更易理解。本領域技術人員容易理解的是：這些附圖僅僅用于舉例說明本技術的技術方案，而并非意在對本技術的保護范圍構成限制。圖中：圖1是本技術實施例1的真空紫外光譜采集裝置的結構示意圖。具體實施方式圖1和以下說明描述了本技術的可選實施方式以教導本領域技術人員如何實施和再現本技術。為了教導本技術技術方案，已簡化或省略了一些常規方面。本領域技術人員應該理解源自這些實施方式的變型或替換將在本技術的范圍內。本領域技術人員應該理解下述特征能夠以各種方式組合以形成本技術的多個變型。由此，本技術并不局限于下述可實施方式，而僅由權利要求和它們的等同物限定。實施例1圖1示意性地給出了本實施例的真空紫外光譜采集裝置的結構示意圖，如圖1所示，所述真空紫外光譜采集裝置包括測量光室，所述光譜采集裝置進一步包括：循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環氣路；氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環氣路和/或恒壓單元；恒壓單元，所述恒壓單元設置在與所述循環氣路相連的氣體支路上；壓力傳感器(圖中未示出)，所述壓力傳感器用于監測測量光室的壓力，并將壓力信息傳送到控制單元；控制單元，所述控制單元根據所述測量光室的壓力變化調節所述氣路選擇單元。進一步的，所述循環單元為輸送部件，帶動惰性氣體循環流動。為了排除惰性氣體中可能含有的氧氣、水蒸氣等物質吸收真空紫外波段光譜而影響光譜的采集、測量，故:進一步地,所述光譜采集裝置還包括吸附劑，所述吸附劑設置在所述循環氣路上，氣體循環流動的同時通過吸附劑吸附除去易吸收真空紫外光譜的物質。光譜采集裝置在使用過程中，氣體的少量泄漏、溫度變化、與外界環境的氣體交換等因素均會引起壓力變化而導致光譜漂移，為了保證裝置的氣密性，排除裝置與外界環境的氣體交換，故：進一步地，所述恒壓單元為緩沖腔體，腔體內為惰性氣體，避免裝置與外界環境的氣體交換。為了保證恒壓單元內的惰性氣體順利進入測量光室，故：進一步地，所述恒壓單元的壓力高于所述測量光室內的壓力。本實施例還提供一種真空紫外光譜采集方法，所述光譜采集方法包含以下步驟：(A1)提供本實施的真空紫外光譜采集裝置；(A2)向測量光室內充入惰性氣體(不吸收紫外光譜的氣體，如氮氣、氬氣等)，循環單元帶動惰性氣體在循環單元、測量光室間循環流動，形成循環氣路，惰性氣體中易吸收紫外波的物質在循環過程中被吸附；(A3)控制單元接收到測量光室的壓力變化，通過氣路選擇單元的切換使恒壓單元連通所述循環氣路，恒壓單元與測量光室間的惰性氣體定向流動；(A4)測量光室的壓力恢復正常值，通過氣路選擇單元的切換斷開恒壓單元與所述循環氣路的連接，惰性氣體在循環氣路上循環流動。壓力傳感器監測所述測量光室的壓力，控制單元根據測量光室的壓力變化對氣路選擇單元進行調節，故：進一步地，步驟(A3)包括：若控制單元接收到測量光室的壓力升高，調節氣路選擇單元，斷開循環氣路，連通測量光室與恒壓單元的氣路，測量光室內的惰性氣體在輸送部件的作用下進入所述恒壓單元；若控制單元接收到測量光室的壓力降低，調節氣路選擇單元，恒壓單元連通所述循環氣路，恒壓單元內的惰性氣體因壓差作用進入所述測量光室。實施例2本技術實施例1的真空紫外光譜采集裝置及方法的應用。在該應用例中，循環單元為隔膜泵，吸附劑通過自密封快速接頭設置在循環氣路上，本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，其特征在于：所述光譜采集裝置進一步包括：循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環氣路；氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環氣路和/或恒壓單元；恒壓單元，所述恒壓單元設置在與所述循環氣路相連的氣體支路上；壓力傳感器，所述壓力傳感器用于監測測量光室的壓力；控制單元，所述控制單元根據所述測量光室的壓力變化調節所述氣路選擇單元。

【技術特征摘要】
1.一種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，其特征在于：所述光譜采
集裝置進一步包括：
循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環
氣路；
氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光
室選擇性地連通循環氣路和/或恒壓單元；
恒壓單元，所述恒壓單元設置在與所述循環氣路相連的氣體支路上；
壓力傳感器，所述壓力傳感器用于監測測量光室的壓力；
控制單元，所述控制單元根據所述測量光室的壓力變化調節所述氣路選擇
單元。
2.根據...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王慶祥，呂全超，洪波，吳鋒明，俞曉峰，胡建坤，喻正寧，韓雙來，
申請(專利權)人：聚光科技杭州股份有限公司，
類型：新型
國別省市：浙江;33