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本實用新型涉及一種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，所述光譜采集裝置進一步包括：循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環氣路；氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環氣路和...該專利屬于聚光科技（杭州）股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過聚光科技（杭州）股份有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種真空紫外光譜采集裝置，包括測量光室，所述光譜采集裝置進一步包括：循環單元，所述循環單元與測量光室相連通，并與所述測量光室構成循環氣路；氣路選擇單元，所述氣路選擇單元設置在所述循環氣路上，使所述測量光室選擇性地連通循環氣路和...