進行如下工序：準備形成有由微晶硅構成的籽晶區域的被處理基板，其中，在位于柵極布線的上方的區域的非晶硅膜上設定有改性預定區域，在所述改性預定區域的、相對于所述柵極布線而言位于與該柵極布線的長度方向正交的方向上的外側，形成有所述籽晶區域；進...

能夠防止反射器的共振而防止偽缺陷的產生。在對被檢查對象的掩模沿大致鉛垂方向進行保持的大致框狀的框架的側面設置的保持構件具有：中空的棒狀構件，其沿水平方向延伸設置；第一安裝部，其將棒狀構件安裝于框架；以及第二安裝部，其設置有反射器。為了使...

激光退火裝置具備：光源部，其具備射出激光束的半導體激光器；均勻化元件，其具有光入射面和與該光入射面對置的光出射面，從半導體激光器直接射出的激光束向光入射面入射，從光出射面射出均勻化了的激光束；以及出射側成像系統，其將該均勻化元件的光出射...

提供一種激光退火方法，其是對非晶硅膜的要進行改性的改性預定區域照射激光來使所述改性預定區域改性為晶化硅膜的激光退火方法，其中，所述激光退火方法包括：第一照射工序，在該第一照射工序中，對所述改性預定區域的外側的所述非晶硅膜進行用于形成由微...

提供一種激光退火裝置，其對非晶硅膜的要進行改性的改性預定區域照射激光來使所述改性預定區域生長為晶化硅膜以進行改性，其中，所述激光退火裝置具備：第一照射部，其對所述非晶硅膜進行用于形成籽晶區域的第一激光的照射；以及第二照射部，其進行第二激...

本發明提供一種修復用單元，該修復用單元是用作缺陷單元的替代品的修復用單元(21a)，具備：微型LED(3)，其發出從紫外至藍色波段中的具有特定的光譜的光，在彼此相對的面中的一個面上具有用于發光的電極(31a、31b)，在另一個面形成有將...

本實用新型涉及激光退火裝置。激光退火裝置具備：光源，其射出連續振蕩的激光；以及光學頭，其將從光源射出的各個激光加工成為收斂的激光束，激光束能夠對應地投影到位于柵極線的上方的改質預定區域內，光學頭在激光束中最收斂的點部位于改質預定區域的非...

本發明具備多個修復器件(3)并將多個修復器件(3)配置在支撐膜(2)上，多個修復器件(3)是在被遮光壁(6)包圍的開口(7)內具有用于修復全彩LED顯示面板的缺陷像素(21)的修復要素的結構。的結構。的結構。

一種在表面形成有被處理膜的被處理基板與沿著設定于所述被處理膜的處理預定區域照射激光的線束來進行退火處理的激光照射部能夠在掃描方向上相對地移動的激光退火裝置，在所述激光退火裝置中，所述處理預定區域設定為沿著所述掃描方向延伸的帶狀的區域，所...

本發明是一種在以矩陣狀配置多個LED的LED陣列基板(1)上，包圍LED(4)地設置有遮光壁(3)的LED顯示面板的制造方法，包含：在透明基板(14)上涂覆透明感光性樹脂，通過光刻法將感光性樹脂曝光以及顯影以形成分隔壁(7)后，在分隔壁...

本發明提供一種研磨裝置，其課題在于能夠減少誤檢測并能夠精度良好地檢測滑出。對晶片從研磨頭的飛出(滑出)進行檢測的滑出傳感器是靜電電容型的接近傳感器，設置于研磨頭的外側且設置于與研磨頭的外周面相鄰的位置中的平臺的旋轉方向下游側。

本發明涉及激光退火裝置及激光退火方法。激光退火裝置具備：光源，其射出連續振蕩的激光；以及光學頭，其將從光源射出的各個激光加工成為收斂的激光束，激光束能夠對應地投影到位于柵極線的上方的改質預定區域內，光學頭在激光束中最收斂的點部位于改質預...

本發明具備：激光光學系統(1)，其生成線光束(Lb)；蔭罩(2)，其配置在上述激光光學系統(1)的光行進方向下游側，與在掩模用構件(9)上激光加工的多個開口圖案對應地設置有多個開口窗；投影透鏡(3)，其將上述蔭罩(2)的像投影到上述掩模...

提供能夠實現電極間隔窄的電子部件的安裝的基板安裝方法。是向布線基板(4)安裝電子部件(3)的方法，包括：在與所述電子部件的觸點(5)對應地設置于所述布線基板的電極焊盤(6)上圖案形成出導電性的彈性突起部(7)的工序；在所述布線基板上形成...

本實用新型提供一種研磨裝置，其課題在于能夠減少誤檢測并能夠精度良好地檢測滑出。對晶片從研磨頭的飛出(滑出)進行檢測的滑出傳感器是靜電電容型的接近傳感器，設置于研磨頭的外側且設置于與研磨頭的外周面相鄰的位置中的平臺的旋轉方向下游側。中的平...

能夠準確地進行光照射部的高度調整。驅動旋轉驅動部而使小齒輪(161b)旋轉，從而使設置有與小齒輪(161b)嚙合的齒條(161a)的支承部(15a)沿高度方向移動。另外，在具有永久磁鐵和電磁鐵的永久電磁鐵(163)所具有的電磁鐵的線圈流...

能夠將半導體元件高精度地轉印于電路基板，并且減輕從藍寶石基板剝離半導體元件的工序中的工時以及設備負擔。一種半導體元件形成藍寶石基板(12)，在藍寶石基板(12)上排列形成有氮化鎵系半導體元件，其特征在于，在所述藍寶石基板(11)與所述半...

提供一種能夠準確地評價向基板照射的激光的激光能量測定裝置。本發明的激光能量測定裝置具備：第一分束器，其在照明光學系統的內部或外部，將激光通過P偏振反射及S偏振反射中的一方進行反射；第二分束器，其針對由第一分束器反射了的第一反射光實施P偏...

本發明提供一種將散射光照射到被曝光面的光照射裝置，能夠根據感光性材料的波長依賴性照射適當波長的光。光照射裝置具備：光源部，朝向被曝光面射出散射光；及光學濾波器，使從光源部射出的光透射，光源部射出截止了在光學濾波器中設定的選擇波長的短波長...

本發明提供一種石平臺的溫度調整裝置以及具備其的檢査裝置。該石平臺的溫度調整裝置具備配置在設置地板面上的下表面調溫面板以及對下表面調溫面板的溫度進行控制的溫度控制部，溫度控制部對下表面調溫面板的溫度進行控制，以使得石平臺的上表面與下表面調...