本發明涉及成膜掩模、成膜裝置、成膜方法以及觸摸面板基板。本發明為具備：第一掩模(2)，其形成有與在基板上成膜的薄膜圖案相同的形狀尺寸的多個第一開口圖案(4)；以及第二掩模(3)，其形成內含上述多個第一開口圖案(4)中的至少一個的大小的第...

本發明提供觸摸面板的制造方法。在包括金屬膜、絕緣膜以及透明電極膜的觸摸面板的制造方法中，金屬膜以及絕緣膜的圖形化包括使用印刷用掩膜印刷形成光致抗蝕劑的圖案的工序(S4、S5、S10、S11)、以及將光致抗蝕劑的圖案作為掩膜進行濕式蝕刻從...

本發明涉及成膜掩膜、成膜掩膜的制造方法以及觸摸面板的制造方法，該成膜掩膜具備：片狀的遮蔽部件(2)，其與被形成于被成膜基板(8)上的薄膜圖案對應地具有開口部(5)；以及網孔(3)，其在與所述遮蔽部件(2)的一面(2b)之間設置有間隙并在...

在使多個光束的射束之間微小偏轉的射束曝光裝置中均勻地進行多個光束的微小偏轉。射束曝光裝置(1)具備：光出射部(2)，從多個光出射位置(2a)射出光束(Lb)；掃描部(3)；聚光光學系統(4)，將光束(Lb)的光斑聚光于被曝光面(Ex)；...

本發明涉及光束整形掩模、激光加工裝置以及激光加工方法。其為具有與被激光加工于薄膜(15)的開口圖案(20)的形狀相似的形狀的開口(4)的光束整形掩模(1)，開口(4)被形成為該開口(4)內的光透射率從中央部向周緣部遞減、并且即使在周緣部...

本發明提供成膜掩膜的制造方法以及成膜掩膜。成膜掩膜的制造方法制造將設有預先決定的規定形狀的開口圖案(4)的樹脂制的薄膜層(1)和設有能夠包含上述開口圖案(4)的大小的縫隙(7)的磁性金屬材料層(2)相層疊的構造的成膜掩膜，上述開口圖案(...

本發明提供成膜掩膜的制造方法，向樹脂制的膜片(20)照射激光(L)而形成俯視下呈多邊形的開口圖案(4)，通過將使用光束整形用掩膜(10)進行整形的激光(L)向上述膜片(20)照射，來形成具有以開口從上述膜片(20)的與上述激光(L)的照...

本發明是在基板具有多個細長狀的開口的掩模，具備在上述基板的單面側與上述開口的長邊方向交叉地形成為橋梁狀，且比上述基板的厚度薄的多個加強部、和在位于上述加強部的側方側的開口周邊的區域沿上述長邊方向設置臺階而形成的挖掘部。由此，不增加掩模本...

本發明提供成膜掩模以及觸摸面板基板。本發明構成為具備樹脂掩模(5)與磁性金屬部件的金屬掩模(11)，其中，所述樹脂掩模(5)與成膜于基板上的薄膜圖案相對應地形成有開口圖案(4)，所述金屬掩模(11)形成有尺寸為內包上述開口圖案(4)的尺...

本發明提供圖案形成方法以及使用該方法的觸摸面板的制造方法。圖案形成方法的特征在于，使用具有對形成于對象物面上的圖案進行了分割的開口圖案的多個濺射用掩膜進行多次濺射成膜(S3、S5)，并且合成通過多個濺射用掩膜分別成膜的圖案形成單一的圖案...

本發明為一種濺射成膜裝置，其對陰極電極施加高電壓的陰極電壓而在靶(10)與基板(12)之間生成等離子體，經由掩膜(11)在基板(12)成膜，該濺射成膜裝置具備脈沖偏壓電源(6)，其在向上述基板(12)的成膜過程中，能夠對上述掩膜(11)...

本發明提供一種印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法。印刷用掩膜具備：掩膜基材(4)，其具有形成于印刷面側并與待印刷的圖案相對應的印刷槽圖案(4a)、與貫通于該印刷槽圖案的底面且內徑小于其底面寬度的貫通孔(4b)；以及保持部件(3)，其層疊...

本發明提供一種受光元件及其制造方法，其通過解決伴隨受限于帶隙的材料選擇而產生的各種問題，簡單地獲得對紅外線等長波長光具有靈敏度的受光元件。本發明的受光元件(1)具備具有pn接合部(10j)的半導體層(10)、及夾持pn接合部(10j)的...

本發明包括：樹脂薄片(1)，其中形成多個貫通開口圖案(4)，在一面(1a)設有具有可內置多個開口圖案(4)大小的開口的框狀金屬薄膜(5)；金屬掩模(2)，其在薄片(1)的一面(1a)側與薄片(1)分離而獨立地設于與金屬薄膜(5)的開口對...

本實用新型提供一種激光修復裝置及顯示裝置，其通過對形成有不同種類的多層膜的基板上的特定膜照射激光而實施修復處理，本實用新型的激光修復裝置(1)中具備：激光源(3)，以規定的振蕩波長(λs)進行輸出；波長轉換部(4)，將從激光源(3)射出...

本實用新型提供一種搬運裝置，即便支承構件的高度存在偏差，也能夠穩定地搬運較薄的板狀體。在使板狀體從大致矩形形狀的板狀的支承構件的上表面浮起并沿著搬運方向搬運板狀體時，在第一區域或者第二區域中向所述支承構件的方向抽吸板狀體的力，與在第三區...

本發明提供一種曝光裝置，該曝光裝置(1)具備：支承部(2S、3S)，分別支承沿一軸方向厚度不均勻的基板(3)和掩模(2)；掃描曝光機構(10)，使配置于掩模(2)與基板(3)間的微透鏡陣列(12)相對于基板(3)及掩模(2)進行相對移動...

本發明涉及通過利用微透鏡陣列將掩模上的圖案成像在基板上而曝光基板的曝光裝置等，并使射出曝光光的照明單元小型化。微透鏡陣列(30)具有包含朝向與移動方向(A)相交的方向的排列且以二維方式配置的多個微透鏡(31)，照明單元具有：排列有多個激...

本實用新型提供一種形狀測定裝置，其通過簡單的結構而以維持高分辨的狀態加大景深，所述形狀測定裝置包括：照明光學系統，其包含能夠調節從光源射出的光的量的照明系統光圈，并且在被測物一側為遠心；以及成像光學系統，其包含成像系統光圈，所述成像系統...

本發明是成膜掩模(1)，成膜掩模(1)具有使樹脂制的膜(3)與片狀的磁性金屬構件(2)的一面緊密接觸而形成的結構，磁性金屬構件(2)具有并列排列的狹縫狀的多個貫通孔(5)，成膜掩模(1)設有在上述各貫通孔(5)內的上述膜(3)的部分貫通...